【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及锡球植球，尤其涉及一种网板清洁装置及方法。
技术介绍
1、随着科技的不断进步，对芯片的要求不断提升，锡球植球随之出现。因为锡球的纯度高，稳定性好，球高球径可控,被广泛引用。
2、在锡球植球前，通过刮刀在网板上印刷助焊剂等膏状物质，将物质转印在晶圆或基板上。在助焊剂等膏状物质进行印刷时，从印刷孔洞露出的物质可能会附着在网板上、未完全转印到晶圆、基板上的物质可能会残留在孔中发生污损。这种残留造成污损妨碍了后续晶圆、基板的正常印刷。所以必须清除网板上残余的物质。
3、现有技术仅通过无尘纸擦拭网板，进而清洁网板上残余的物质。该清洁方法仅适用于简单清洁，无法适用于难以擦拭的网板。此外，面对网孔规格小、网孔间距小的网板，清洁方法无法保证网板清洁的洁净度。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种网板清洁装置及方法，实现对网板进行有效清洁，提高植球工艺的良率以及产品的稳定性。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一方面，提供了一种网板清洁装置，包括固定机架和沿所述固定机架前后移动的活动机架，所述固定机架上置有网板，所述活动机架位于所述网板的下方；
4、所述固定机架上设有喷淋工位，且所述喷淋工位位于活动机架的上方；所述活动机架的顶部沿其前进方向依次横向设置有第一擦拭工位、第二擦拭工位和风干工位；
5、所述第一擦拭工位设有第一擦拭杆和用于所述第一擦拭杆升降的第一升降气缸，所述第一擦拭杆的上方设
6、作为专利技术进一步的方案：所述第一擦拭杆上设有与所述抽真空槽可拆卸连接的支撑杆，所述支撑杆的顶部突出于所述第一擦拭杆的顶部。
7、作为专利技术进一步的方案：所述第一升降气缸的升降端通过第一固定块与所述第一擦拭杆的底端连接，且所述第一固定块与所述第一擦拭杆之间设有若干第一缓冲弹簧。
8、作为专利技术进一步的方案：所述第一擦拭工位上还设有放卷轴和收卷轴，所述放卷轴、所述收卷轴和所述第一擦拭杆沿所述活动机架的前进方向自上而下依次分布，其中：
9、所述放卷轴的一端可转动地安装在所述活动机架上且装配有用于向所述放卷轴施加放卷阻力的阻尼器，其另一端通过轴承与第一装卸气缸伸缩端可拆卸的转动连接，所述阻尼器与所述第一装卸气缸均固定在所述活动机架上；
10、所述收卷轴的一端可转动地安装在所述活动机架上且装配有用于驱动所述收卷轴转动的驱动电机，其另一端通过轴承与第二装卸气缸伸缩端可拆卸的转动连接，所述驱动电机与所述第二装卸气缸均固定在所述活动机架上。
11、作为专利技术进一步的方案：所述第二擦拭工位包括第二擦拭杆和用于所述第二擦拭杆升降的第二升降气缸，所述第二擦拭杆的顶部沿其长度方向嵌设有橡胶条，所述橡胶条的顶部突出于所述第二擦拭杆的顶部。
12、作为专利技术进一步的方案：所述第二升降气缸的升降端通过第二固定块与所述第二擦拭杆的底端连接，且所述第二固定块与所述第二擦拭杆之间设有若干第二缓冲弹簧。
13、作为专利技术进一步的方案：所述活动机架的底部设有马达，所述固定机架的底部设有轨道，所述活动机架通过所述马达的驱动在所述轨道上前后移动。
14、作为专利技术进一步的方案：所述活动机架分为上部和下部，所述上部设置在所述下部的顶部且沿所述下部前后移动；所述下部的顶部固定有驱动气缸，所述驱动气缸的伸缩端与所述上部相连接，所述下部的底部设有所述马达；所述上部通过所述驱动气缸的驱动在所述下部的顶部进行前后移动。
15、另一方面，提供了一种网板清洁装置的网板清洁方法，包括以下步骤：
16、s1.所述活动机架沿所述固定机架移动至所述喷淋工位的正下方，所述喷淋工位对设置在所述第一擦拭杆上方的无尘布进行喷淋；
17、s2.待喷淋结束后，所述喷淋工位停止运转，所述活动机架进行复位；
18、s3.所述活动机架沿所述固定机架进行前后往复移动，同时所述第一擦拭工位支撑所述无尘布对所述网板的底部进行湿擦；
19、s4.待湿擦结束后，所述第一擦拭工位和所述活动机架依次进行复位；
20、s5.所述活动机架沿所述固定机架进行前后往复移动，同时所述风干工位对所述网板的底部进行吹风，且所述第二擦拭工位对所述网板的底部进行干擦；
21、s6.待干擦结束后，所述风干工位停止运转，所述第一擦拭工位和所述活动机架依次进行复位。
22、作为专利技术进一步的方案：所述s3中，所述第一擦拭工位支撑所述无尘布对所述网板的底部同时进行湿擦和真空吸附。
23、本专利技术的有益效果，通过喷淋工位、第一擦拭工位、风干工位和第二擦拭工位之间的配合，以实现网板的干湿分离擦拭，有效清洁网板，提高植球工艺的良率以及产品的稳定性；通过喷淋工位与无尘布之间的配合，实现第一擦拭工位的湿擦；通过抽真空槽与无尘布之间的配合，实现第一擦拭工位的真空擦拭。
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1.一种网板清洁装置，其特征在于，包括固定机架(10)和沿所述固定机架(10)前后移动的活动机架(20)，所述固定机架(10)上置有网板(30)，所述活动机架(20)位于所述网板(30)的下方；
2.根据权利要求1所述的网板清洁装置,其特征在于，所述第一擦拭杆(211)上设有与所述抽真空槽(212)可拆卸连接的支撑杆(214)，所述支撑杆(214)的顶部突出于所述第一擦拭杆(211)的顶部。
3.根据权利要求1所述的网板清洁装置，其特征在于，所述第一升降气缸(213)的升降端通过第一固定块(215)与所述第一擦拭杆(211)的底端连接，且所述第一固定块(215)与所述第一擦拭杆(211)之间设有若干第一缓冲弹簧(216)。
4.根据权利要求1所述的网板清洁装置，其特征在于，所述第一擦拭工位(21)上还设有放卷轴(217)和收卷轴(218)，所述放卷轴(217)、所述收卷轴(218)和所述第一擦拭杆(211)沿所述活动机架(20)的前进方向自上而下依次分布，其中：
5.根据权利要求1所述的网板清洁装置，其特征在于，所述第二擦拭工位(2
6.根据权利要求5所述的网板清洁装置，其特征在于，所述第二升降气缸(222)的升降端通过第二固定块(224)与所述第二擦拭杆(221)的底端连接，且所述第二固定块(224)与所述第二擦拭杆(221)之间设有若干第二缓冲弹簧(225)。
7.根据权利要求1所述的网板清洁装置，其特征在于，所述活动机架(20)的底部设有马达(24)，所述固定机架(10)的底部设有轨道，所述活动机架(20)通过所述马达(24)的驱动在所述轨道上前后移动。
8.根据权利要求7所述的网板清洁装置，其特征在于，所述活动机架(20)分为上部和下部，所述上部设置在所述下部的顶部且沿所述下部前后移动；所述下部的顶部固定有驱动气缸(25)，所述驱动气缸(25)的伸缩端与所述上部相连接，所述下部的底部设有所述马达(24)；所述上部通过所述驱动气缸(25)的驱动在所述下部的顶部进行前后移动。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的网板清洁装置的网板清洁方法，其特征在于，包括以下步骤：
10.根据权利要求9中所述的网板清洁装置的网板清洁方法，其特征在于：所述S3中，所述第一擦拭工位(21)支撑所述无尘布对所述网板(30)的底部同时进行湿擦和真空吸附。
...【技术特征摘要】
1.一种网板清洁装置，其特征在于，包括固定机架(10)和沿所述固定机架(10)前后移动的活动机架(20)，所述固定机架(10)上置有网板(30)，所述活动机架(20)位于所述网板(30)的下方；
2.根据权利要求1所述的网板清洁装置,其特征在于，所述第一擦拭杆(211)上设有与所述抽真空槽(212)可拆卸连接的支撑杆(214)，所述支撑杆(214)的顶部突出于所述第一擦拭杆(211)的顶部。
3.根据权利要求1所述的网板清洁装置，其特征在于，所述第一升降气缸(213)的升降端通过第一固定块(215)与所述第一擦拭杆(211)的底端连接，且所述第一固定块(215)与所述第一擦拭杆(211)之间设有若干第一缓冲弹簧(216)。
4.根据权利要求1所述的网板清洁装置，其特征在于，所述第一擦拭工位(21)上还设有放卷轴(217)和收卷轴(218)，所述放卷轴(217)、所述收卷轴(218)和所述第一擦拭杆(211)沿所述活动机架(20)的前进方向自上而下依次分布，其中：
5.根据权利要求1所述的网板清洁装置，其特征在于，所述第二擦拭工位(22)包括第二擦拭杆(221)和用于所述第二擦拭杆(221)升降的第二升降气缸(222)，所述第二擦拭杆(221)的顶部沿其长度方向嵌设有橡胶条(223)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：林海涛，赵凯，梁猛，何文斌，李彬，
申请(专利权)人：上海世禹精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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