一种塑封元器件化学开封装置及方法制造方法及图纸

本申请提供一种塑封元器件化学开封装置及方法，属于半导体技术领域，其中，装置包括器件夹持结构，包括用以夹取塑封元器件的第一夹取部以及沿水平方向延伸的第一导轨部，第一夹取部滑动连接至第一导轨部上；滴液夹持结构包括用于夹持吸管件的第二夹取部以及沿竖直方向延伸的第二导轨部，吸管件滑动连接至第二导轨部上，第二导轨部的下方设有装载酸液的容器

【技术实现步骤摘要】
一种塑封元器件化学开封装置及方法


[0001]本申请涉及塑封元器件开封
，尤其涉及一种塑封元器件化学开封装置及方法
。

技术介绍

[0002]在塑封器件的可靠性领域，很多试验项目需要对塑封器件的包封层进行开封，以暴露出内部芯片
、
键合丝及引线框架等信息，以便于进行后续的试验和分析
。
[0003]但是，目前对于塑封器件的开封方法一般为自动开封或手动滴酸开封，采用自动开封装置需要有合适的掩膜垫片，且喷出的酸雾腐蚀器件时，由于腐蚀的速度
、
腐蚀方向和可控性较低，开封的区域不能很好地控制，导致塑封器件开封过程中成功率较低
。
而采用手动滴酸时，由于芯片体积较小，滴酸位置精度要求较高，手动滴酸抖动容易导致滴酸偏差，影响开封效果；且在滴酸过程中，腐蚀性的酸液溅落也容易灼伤技术人员，产生安全隐患
。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的在于提出一种塑封元器件化学开封装置及方法，以解决
技术介绍
中提及的问题
。
[0005]基于上述目的，本申请提供了一种塑封元器件化学开封装置，包括：
[0006]器件夹持结构，包括用以夹取所述塑封元器件的第一夹取部以及沿水平方向延伸的第一导轨部，所述第一夹取部滑动连接至所述第一导轨部上；
[0007]滴液夹持结构，包括用于夹持吸管件的第二夹取部以及沿竖直方向延伸的第二导轨部，所述吸管件滑动连接至所述第二导轨部上，所述第二导轨部的下方设有装载试剂的容器；
[0008]其中，在外力驱动作用下，所述第二夹取部在所述第二导轨部上滑动以使所述吸管件抽取所述容器的试剂，所述第一夹取部在所述第一导轨部上滑动至所述第二夹取部的下方，所述吸管件将抽取的试剂滴落至所述第一夹取部的塑封元器件上
。
[0009]进一步地，还包括：
[0010]试验台，所述试验台用于装载固定所述器件夹持结构和所述滴液夹持结构，所述试验台外罩设有透明防护材料，所述试验台与外界通过通风净化结构连通
。
[0011]进一步地，还包括清洗结构，所述清洗结构设于所述第一导轨部远离所述第二导轨部的一端，并位于所述第一导轨部的下方，所述清洗结构用于清洗所述塑封元器件
。
[0012]进一步地，所述第二夹取部包括连接件及夹取件，所述连接件与所述第二导轨部的滑动端固定连接，所述夹取件与所述吸管件可拆卸连接，所述吸管件在所述夹取件上的角度可调
。
[0013]进一步地，所述夹取件包括两个铰接连接的夹取本体，其一所述夹取本体与所述连接件固定连接，两所述夹取本体之间夹设有弹性件，所述弹性件具有驱动两所述夹取本体夹紧所述吸管件的作用力
。
[0014]进一步地，所述连接件上设有用于穿设所述吸管件的穿孔，所述吸管件穿设所述连接件后被所述夹取件夹紧，在夹紧状态下，所述吸管件相对所述水平面倾斜布置
。
[0015]进一步地，位于所述第一夹取部上的所述塑封元器件相对所述水平面倾斜布置
。
[0016]进一步地，所述吸管件包括刚性的滴管及与所述滴管连接的弹性气囊，所述滴管上设有刻度标识，在外力驱动作用下，所述弹性气囊压缩使所述滴管处于负压的抽液状态；或，所述弹性气囊扩张使所述滴管处于充压的滴液状态
。
[0017]进一步地，还包括加热件，所述容器被放置于所述加热件上
。
[0018]基于同一专利技术构思，本申请还提供了一种塑封元器件的化学开封方法，适用于如上任一项所述的塑封元器件化学开封装置，所述方法包括：
[0019]在容器中放置预设温度下的试剂，将待开封的塑封元器件夹设至所述第二夹取部；
[0020]调节所述第二夹取部沿所述第二导轨部向下滑动，直至所述吸管件没入所述试剂，控制所述吸管件吸取所述容器中的试剂；调节所述第二夹取部沿所述第二导轨部向上滑动，直至所述吸管件脱离所述容器；
[0021]调节所述第一夹取部沿所述第一导轨部向靠近所述第二夹取部的方向滑动，直至所述塑封元器件位于所述吸管件的出端口下方；
[0022]控制所述吸管件向所述塑封元器件滴出试剂
。
[0023]从上面所述可以看出，本申请提供的塑封元器件化学开封装置，通过设置水平移动的第一夹取部和竖直移动的第二夹取部，第一夹取部夹取塑封元器件，第二夹取部夹取携带试剂的吸管件，在外力驱动下第一夹取部和第二夹取部均能进行精确位移，从而使吸管件的滴出试剂精准的落入塑封元器件的指定区域上，提升了化学开封过程中的滴酸精度；同时，整个过程中无需手动进行滴酸操作，而是通过操控吸管件
、
第一夹取部和第二夹取部进行相应动作，免去了技术人员直接接触化学滴酸开封过程，避免人工操作滴酸抖动导致开封位置出现偏差，同时也可避免化学试剂溅落产生隐患风险
。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0025]图1为本申请实施例的塑封元器件化学开封装置的立体图；
[0026]图2为本申请实施例中另一角度下塑封元器件化学开封装置的立体图；
[0027]图3为本申请实施例中第一导轨部和第二导轨部的布置位置示意图；
[0028]图4为本申请实施例中夹取件的结构示意图；
[0029]图5为本申请实施例中夹取件和连接件的装配示意图；
[0030]图6为本申请实施例中吸管件的结构示意图；
[0031]图7为本申请实施例中塑封元器件化学开封方法的步骤示意图
。
[0032]附图标记说明
[0033]1、
试验台；
2、
第一导轨部；
3、
第二导轨部；
4、
第一夹取部；
5、
第二夹取部；
[0034]51、
连接件；
52、
夹取件；
[0035]511、
第一连接板；
512、
第二连接板；
513、
弯折板；
514、
条形孔；
515、
穿孔；
[0036]521、
夹取本体；
522、
弹性件；
523、
连接杆；
524、
铰接点；
[0037]6、
吸管件；
61、
滴管；
62、
连接管；
63、
弹性气囊；
[0038]7、
出水管；
8、
加热件；
9、
驱动电机；
10、
容器
。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种塑封元器件化学开封装置，其特征在于，包括：器件夹持结构，包括用以夹取所述塑封元器件的第一夹取部以及沿水平方向延伸的第一导轨部，所述第一夹取部滑动连接至所述第一导轨部上；滴液夹持结构，包括用于夹持吸管件的第二夹取部以及沿竖直方向延伸的第二导轨部，所述吸管件滑动连接至所述第二导轨部上，所述第二导轨部的下方设有装载试剂的容器；其中，在外力驱动作用下，所述第二夹取部在所述第二导轨部上滑动以使所述吸管件抽取所述容器的试剂，所述第一夹取部在所述第一导轨部上滑动至所述第二夹取部的下方，所述吸管件将抽取的试剂滴落至所述第一夹取部的塑封元器件上
。2.
根据权利要求1所述的一种塑封元器件化学开封装置，其特征在于，还包括：试验台，所述试验台用于装载固定所述器件夹持结构和所述滴液夹持结构，所述试验台外罩设有透明防护材料，所述试验台与外界通过通风净化结构连通
。3.
根据权利要求1所述的一种塑封元器件化学开封装置，其特征在于，还包括清洗结构，所述清洗结构设于所述第一导轨部远离所述第二导轨部的一端，并位于所述第一导轨部的下方，所述清洗结构用于清洗所述塑封元器件
。4.
根据权利要求1所述的一种塑封元器件化学开封装置，其特征在于，所述第二夹取部包括连接件及夹取件，所述连接件与所述第二导轨部的滑动端固定连接，所述夹取件与所述吸管件可拆卸连接，所述吸管件在所述夹取件上的角度可调
。5.
根据权利要求4所述的一种塑封元器件化学开封装置，其特征在于，所述夹取件包括两个铰接连接的夹取本体，其一所述夹取本体与所述连接件固定连接，两所述夹取本体之间夹设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺洋，田乙杰，王坦，
申请(专利权)人：航天科工防御技术研究试验中心，
类型：发明
国别省市：