【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于捕获翘曲工件的卡盘
[0001]本专利技术涉及用于保持工件的卡盘
。
更特别地,本专利技术涉及一种可操作用于捕获翘曲工件的卡盘
。
技术介绍
[0002]许多类型的工业或其他过程需要操纵各种类型的工件
。
典型地,卡盘用于捕获工件并且用于操纵工件以进行各种类型的加工
。
在工件足够薄或轻的情况下,卡盘可以通过向工件施加吸力来操作,以便在加工期间将工件保持在精确限定的位置处
。
[0003]例如,半导体工业需要操纵硅晶圆
(silicon wafers)
,例如用于生产电子器件
。
真空卡盘可以捕获这种晶圆并且在进行诸如涂覆
、
切割
、
机加工
、
蚀刻
、
抛光
、
检查或其他加工等的加工期间保持该晶圆
。
技术实现思路
[0004]因此,根据本专利技术的实施例,提供了一种卡盘,该卡盘包括:卡盘表面;多个真空端口,分布在卡盘表面上,其中,真空端口中的每个真空端口通向能够连接到抽吸源的多个导管中的导管,抽吸源能够操作以向该真空端口施加吸力;以及限流器,位于多个导管中的每个导管内并且特征为提供流动阻力,多个导管中的至少一个导管中的限流器的流动阻力小于多个导管中的至少一个其他导管中的限流器的流动阻力
。
[0005]此外,根据本专利技术的实施例,卡盘表面被分成多个连续区域,在通向每个连续区域中的真 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种卡盘,包括:卡盘表面;多个真空端口,分布在所述卡盘表面上,其中,所述真空端口中的每个真空端口通向能够连接到抽吸源的多个导管中的一导管,所述抽吸源能够操作以向所述真空端口施加吸力;以及限流器,位于多个所述导管中的每个导管内并且提供流动阻力,其中,多个所述导管中的至少一个导管中的所述限流器的流动阻力小于多个所述导管中的至少一个其他导管中的所述限流器的流动阻力
。2.
根据权利要求1所述的卡盘,其中,所述卡盘表面被分成多个连续区域,并且其中,在通向每个连续区域中的所述真空端口的导管中的所述限流器的流动阻力基本上相等
。3.
根据权利要求2所述的卡盘,其中,所述多个连续区域包括多个同心圆形带
。4.
根据权利要求3所述的卡盘,其中,在通向内同心圆中的所述真空端口的导管中的每个导管中的所述限流器的流动阻力小于在通向外同心圆中的所述真空端口的导管中的每个导管中的所述限流器的流动阻力
。5.
根据权利要求3所述的卡盘,其中,在通向外同心圆中的所述真空端口的导管中的每个导管中的所述限流器的流动阻力小于在通向内同心圆中的所述真空端口的导管中的每个导管中的所述限流器的流动阻力
。6.
根据权利要求2所述的卡盘,其中,所述多个连续区域包括多个圆形扇区
。7.
根据权利要求1至6中的任一项所述的卡盘,其中,所述限流器选自由收缩部
、
挡板和自适应分段孔口
(SASO)
组成的一组限流器
。8.
根据权利要求1至7中的任一项所述的卡盘,其中,所述真空端口中的每个真空端口由脊部围绕
。9.
根据权利要求1至8中的任一项所述的卡盘,其中,所述卡盘表面还包括与所述真空端口穿插布置的多个突起
。10.
根据权利要求1至9中的任一项所述的卡盘,其中,所述多个真空端口中的真空端口包括可延伸管,所述可延伸管的远端配置成在与工件接触时形成密封,并且所述可延伸管配置成在形成所述密封之后能够通过所述吸力被压缩
。11.
根据权利要求
10
所述的卡盘,其中,所述可延伸管呈具有手风琴式折叠部的波纹管的形式
。12.
一种卡盘,包括:卡盘表面;多个真空端口,分布在所述卡盘表面上;多个导管,每个导管通向多个所述真空端口中的至少一个真空端口并且能够连接到抽吸源,所述...
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