用于翘曲工件的抽吸夹具制造技术

一种用于夹持工件的夹具，包括具有平坦夹具表面的主体。夹具表面包括分布在夹具表面上的多个开口，每个开口可连接到抽吸源。至少一个限流器位于该多个开口和夹具到抽吸源的连接器之间，以限制通过该多个开口中的每个开口的流入。当对该多个开口施加抽吸，工件表面的一部分覆盖该多个开口中的至少一个开口并且这些开口中的另一个保持未被覆盖时，被覆盖的开口处的抽吸力足够强以夹持工件表面。开口处的抽吸力足够强以夹持工件表面。开口处的抽吸力足够强以夹持工件表面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于翘曲工件的抽吸夹具


[0001]本专利技术涉及晶片处理。更具体地，本专利技术涉及一种适于夹持翘曲工件(warped workpiece)的抽吸夹具。

技术介绍

[0002]许多应用需要夹持和操纵平坦的薄工件。例如，在半导体装置(例如集成电路和其他电子部件)的制造中，必须操纵通常为晶片形式的半导体衬底，以便对衬底施加处理步骤，或者检查衬底。可以操纵夹持衬底的臂以将衬底运送到所需位置以便进行处理或检查。
[0003]用于夹持半导体衬底的典型夹具臂可以施加吸力以将衬底保持在臂上。通常，需要在平坦衬底的表面上的三个不同的点处施加吸力，以便在诸如衬底的平移、旋转或倾斜的操纵期间，臂可以牢固且稳定地夹持衬底。

技术实现思路

[0004]因此，根据本专利技术的实施方式，提供了一种用于夹持工件的夹具，该夹具包括：具有平坦夹具表面的主体，该夹具表面包括分布在夹具表面上的多个开口，每个开口可连接到抽吸源；以及至少一个限流器，其位于该多个开口和夹具到抽吸源的连接器之间，以限制通过该多个开口中的每个开口的流入，使得当对该多个开口施加抽吸，工件表面的一部分覆盖该多个开口中的至少一个开口并且这些开口中的另一个保持未被覆盖时，被覆盖的开口处的抽吸力足够强以夹持工件表面。
[0005]此外，根据本专利技术的实施方式，主体包括从单个基座延伸的多个臂。
[0006]此外，根据本专利技术的实施方式，从连接器到该多个开口中的一个开口的管道沿着该多个臂中的一个臂延伸。
[0007]此外，根据本专利技术的实施方式，夹具表面是连续的。
[0008]此外，根据本专利技术的实施方式，该至少一个限流器位于该多个开口中的一个开口与管道之间，该管道在开口和连接器之间形成流体连接。
[0009]此外，根据本专利技术的实施方式，限流器包括多个挡板。
[0010]此外，根据本专利技术的实施方式，限流器包括自适应分段孔口(SASO)，其具有安装在内部的交错相对的翅片。
[0011]此外，根据本专利技术的实施方式，限流器包括收缩部。
[0012]此外，根据本专利技术的实施方式，限流器包括针阀。
[0013]此外，根据本专利技术的实施方式，该多个开口中的一个开口包括弹性密封结构，该弹性密封结构配置为当工件表面与弹性密封结构接触时，当对该开口施加抽吸时，在开口和工件表面之间形成密封。
[0014]此外，根据本专利技术的实施方式，弹性密封结构包括弹性杯。
[0015]此外，根据本专利技术的实施方式，弹性密封结构包括衬垫或垫圈。
[0016]此外，根据本专利技术的实施方式，弹性密封结构包括聚合物。
[0017]此外，根据本专利技术的实施方式，聚合物包括硅树脂。
[0018]此外，根据本专利技术的实施方式，弹性密封结构可经由杆连接到夹具表面，该杆可插入到该多个开口中的该开口中。
[0019]此外，根据本专利技术的实施方式，杆是柱体的形式，该柱体被侧向截断以形成平坦的侧面。
[0020]此外，根据本专利技术的实施方式，该至少一个限流器位于侧面和围绕杆的柱体表面之间的空间中。
[0021]此外，根据本专利技术的实施方式，该多个开口中的一个开口包括延伸机构，以使该开口从夹具表面朝向工件表面向外延伸。
[0022]此外，根据本专利技术的实施方式，延伸机构配置为当开口不与工件表面接触时使开口向外延伸。
[0023]此外，根据本专利技术的实施方式，延伸机构配置为使得当对开口施加抽吸并且开口与工件的表面接触时，能够产生抽吸力以将开口吸向夹具表面。
附图说明
[0024]为了更好地理解本专利技术并认识到其实际应用，提供以下附图并在后文中参考。应注意，附图仅作为实例给出，而不以任何方式限制本专利技术的范围。相同的部件由相同的附图标记表示。
[0025]图1是根据本专利技术的实施方式的具有配置为夹持翘曲工件的臂的工件夹具的示意性顶视图。
[0026]图2是图1所示的具有连续的夹具表面的工件夹具的变型的示意性顶视图。
[0027]图3是图1所示的工件夹具的抽吸夹具的示意性截面。
[0028]图4A示意性地示出了图3所示的抽吸夹具的变型。
[0029]图4B是图4A所示的抽吸夹具的示意性截面。
[0030]图5是抽吸夹具的变型的示意性侧视图，其中抽吸夹具可从工件夹具延伸。
具体实施方式
[0031]在以下详细描述中，阐述了许多具体细节以便提供对本专利技术的透彻理解。然而，本领域普通技术人员将理解，本专利技术可以在没有这些具体细节的情况下实施。在其他实例中，没有详细描述公知的方法，过程，部件，模块，单元和/或电路，以免使本专利技术变得模糊。
[0032]尽管本专利技术的实施方式不限于这一点，但是利用诸如“处理”、“计算”、“运算”、“确定”、“建立”、“分析”、“检查”等术语的讨论可以指计算机，计算平台，计算系统或其他电子计算装置的操作和/或过程，其将表示为计算机的寄存器和/或存储器内的物理(例如，电子)量的数据操纵和/或变换成类似地表示为计算机的寄存器和/或存储器或者可以存储指令以执行操作和/或过程的其他信息非瞬态存储介质(例如，存储器)内的物理量的其他数据。尽管本专利技术的实施方式不限于这一点，但是如本文使用的术语“多个”和“多个”可以包括例如“多个”或“两个或更多个”。术语“多个”或“多个”可以在整个说明书中用来描述两个或更多个部件，装置，元件，单元，参数等。除非明确说明，否则本文描述的方法实施方式不限于特定次序或顺序。另外，一些所述方法实施方式或其元素可以同时，在相同时间点或同
时地发生或执行。除非另有说明，否则如本文使用的连词“或”应理解为包括性的(所述选项中的任一个或全部)。
[0033]根据本专利技术的实施方式，用于夹持工件的夹具包括具有平坦夹具表面的夹具主体，在该夹具表面上分布有多个抽吸开口。在一些实例中，可以将夹具主体分成一个或多个单独的臂，例如，从单个基座延伸或分支的臂，或其他的臂。
[0034]每个抽吸开口可经由管道连接到抽吸源。例如，抽吸源可以包括鼓风机，真空泵或其他抽吸源。每个抽吸开口可以经由一个或多个连接器连接到抽吸源。当对与工件的表面接触的抽吸开口提供抽吸时，抽吸力可以将工件保持到该抽吸开口。
[0035]一个或多个限流器位于每个抽吸开口和抽吸源之间的流体路径中。限流器配置为例如当抽吸开口不与工件的表面接触时限制通过每个抽吸开口的流入速率。由于限流器的作用，即使当一些开口不与工件表面接触时(例如，由于工件表面的翘曲或倾斜)，与工件表面接触的夹具表面上的抽吸开口也可以牢固地夹持翘曲工件的非平面表面。典型的工件可以包括薄且名义上平坦的半导体衬底或晶片、玻璃窗格或理想地平坦但可能在例如一个或多个处理步骤期间变得翘曲的另一类型的工件。
[0036]在一些实例中，足够数量的开口可以分布在平坦夹持表面上，使得可能至少两个开口(优选地至少三个)能够将工件表面的一部分吸到开口，以便在开口处将工件表面的该部分保持到臂(例如，由于抽吸和在工件表面与臂的夹持表本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于夹持工件的夹具，所述夹具包括：主体，具有平坦的夹具表面，所述夹具表面包括分布在所述夹具表面上的多个开口，每个所述开口能连接到抽吸源；以及至少一个限流器，位于所述多个开口和所述夹具到所述抽吸源的连接器之间，以限制通过所述多个开口中的每个开口的流入，使得当对所述多个开口施加抽吸，工件表面的一部分覆盖所述多个开口中的至少一个开口并且所述开口中的另一个保持未被覆盖时，被覆盖的开口处的抽吸力足够强以夹持所述工件表面。2.根据权利要求1所述的夹具，其中，所述主体包括从单个基座延伸的多个臂。3.根据权利要求2所述的夹具，其中，从所述连接器到所述多个开口中的一个开口的管道沿着所述多个臂中的一个臂延伸。4.根据权利要求1所述的夹具，其中，所述夹具表面是连续的。5.根据权利要求1至4中任一项所述的夹具，其中，所述至少一个限流器位于所述多个开口中的一个开口与管道之间，所述管道在所述开口和所述连接器之间形成流体连接。6.根据权利要求1至5中任一项所述的夹具，其中，所述限流器包括多个挡板。7.根据权利要求6所述的夹具，其中，所述限流器包括自适应分段孔口(SASO)，所述自适应分段孔口具有安装在内部的交错相对的翅片。8.根据权利要求1至5中任一项所述的夹具，其中，所述限流器包括收缩部。9.根据权利要求8所述的夹具，其中，所述限流器包括针阀。10.根据权利要求1至9中任一项所述的夹具，其中，所述多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗伊，
申请(专利权)人：科福罗有限公司，
类型：发明
国别省市：