用于非接触式支撑平台的端口布置制造技术

一种非接触式支撑平台系统，被配置为支撑工件并且包括散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个真空端口。这些端口沿多个列布置，使得压力端口与真空端口沿每列交替。这些列包括至少一个纵列，该纵列基本上平行于工件的运动方向定向。相互平行的旋转列各自与运动方向成斜角定向。至少一个过渡列位于纵列与其近侧旋转列之间，并且具有在与该过渡列相邻的两列之间的中间的取向。每个真空端口和压力端口位于一列与一行的交点处，该行基本上垂直于运动方向定向。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于非接触式支撑平台的端口布置
本专利技术涉及非接触式支撑平台。更具体地，本专利技术涉及用于在非接触式支撑平台的工作台上的空气流入和流出的端口的布置。
技术介绍
非接触式支撑平台在需要支撑和运输薄且通常易碎的工件的过程中是有用的，其中要避免工件与固体表面的接触。例如，薄工件可以包括薄玻璃板，例如，用于并入显示屏；或另一种薄材料。该过程可包括将物质或工具应用于工件，或检查工件。典型的非接触式支撑平台包括工作台，其水平顶表面被制成非常平坦。工作台顶部包括开口布置。一些开口(例如，大约一半的开口)是压力开口，空气从其中吹出以形成气垫，工件可在该气垫上支撑在工作台顶部上方。其余的开口是空气回流开口，空气可以通过这些开口从气垫流入工作台。当不需要精确控制工件和工作台顶部之间的距离时，空气回流开口可以打开至大气压力。然而，在工件和工作台顶部之间的距离需要精确控制的情况下，可以对空气回流开口应用真空。工作台顶部上方的各种空气开口分布的均匀性可有助于精确测量工件的高度。此外，此类均匀性还可以实现整个工件的均匀对流热传递，从而促进工件所有部分处的均匀温度。
技术实现思路
因此，根据本专利技术的实施例，提供了一种非接触式支撑平台系统，其被配置为支撑工件，该系统包括：散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个真空端口，每个压力端口被配置为连接到空气压力源以使得空气能够通过该压力端口流出，并且每个真空端口被配置为连接到抽吸源以使得空气能够通过该真空端口流入，压力端口和真空端口沿多个列布置，使得多个压力端口中的压力端口与多个真空端口中的真空端口沿多个列的每一列交替，其中，多个列包括：至少一个纵列，其被定向成基本上平行于工件在工作台上的运动方向；相互平行的多个旋转列，这些旋转列各自与运动方向成斜角定向；以及至少一个过渡列，该至少一个过渡列位于至少一个纵列和多个旋转列中的与所述至少一个纵列最接近的其近侧旋转列之间，该至少一个过渡列的每个过渡列被定向在这样的取向处：该取向是在多个列中的与该过渡列相邻的两列之间的中间，其中，每个真空端口和每个压力端口位于多个列中的一列与多个行中的一行的交点处，该多个行各自基本上垂直于运动方向定向，使得多个压力端口中的压力端口与多个真空端口中的真空端口沿着多个行中的每一行交替。此外，根据本专利技术的实施例，多个旋转列中的一对相邻旋转列之间的距离R基本上等于多个旋转列中的任何其它对相邻旋转列之间的距离。此外，根据本专利技术的实施例，至少一个纵列与多个行中的端行的交点与多个旋转列的近侧旋转列与该端行的交点之间的距离等于整数倍的距离R。此外，根据本专利技术的实施例，至少一个过渡列中的每个过渡列与多个行中的端行的交点和多个列中与该过渡列相邻的一列与该端行的交点之间的最小距离受到相邻端口之间的最小允许间距的限制。此外，根据本专利技术的实施例，多个旋转列位于至少一个纵列的两个边界纵列之间。此外，根据本专利技术的实施例，两个边界纵列中的一个边界纵列与多个旋转列中的其近侧旋转列之间的过渡列的数量等于另一个边界纵列与多个旋转列中的其近侧旋转列之间的过渡列的数量。此外，根据本专利技术的实施例，两个边界纵列中的一个边界纵列与多个旋转列中的其近侧旋转列之间的过渡列的数量不同于另一个边界纵列与多个旋转列中的其近侧旋转列之间的过渡列的数量。此外，根据本专利技术的实施例，多个行中的第一端行与两个边界纵列中的一个边界纵列的交点和第一端行与多个旋转列中靠近所述一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离等于多个行中的第二端行与两个边界纵列中的另一个边界纵列的交点和第二端行与多个旋转列中靠近另一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离。此外，根据本专利技术的实施例，多个行中的第一端行与两个边界纵列中的一个边界纵列的交点和第一端行与多个旋转列中靠近所述一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离不同于多个行中的第二端行与两个边界纵列中的另一个边界纵列的交点和第二端行与多个旋转列中靠近另一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离。此外，根据本专利技术的实施例，多个旋转列中的一些旋转列位于至少一个纵列中的一个纵列的一侧，并且多个旋转列中的其它旋转列位于该纵列的另一侧。此外，根据本专利技术的实施例，至少一个纵列包括多个相邻的纵列。根据本专利技术的实施例，还提供了一种用于设计非接触式支撑平台系统的方法，该系统被配置为支撑工件，该系统的工作台包括散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个真空端口，每个压力端口被配置为使得空气通过该压力端口流出，并且每个真空端口被配置为使得空气通过该真空端口流入，压力端口和真空端口沿着多个行布置，所述多个行各自基本上垂直于工件在工作台上方的运动方向，并且使得多个压力端口中的压力端口与多个真空端口中的真空端口沿着多个行中的每一行交替，该方法包括：确定多个列在工作台上的放置，使得每个真空端口和每个压力端口位于多个行中的一行与多个列中的一列的交点处，使得多个压力端口中的压力端口与多个真空端口中的真空端口沿着多个列的每一列交替，放置的确定包括：确定多个列中的至少一个纵列的放置，该至少一个纵列基本上平行于运动方向定向；确定相互平行的多个旋转列的每对旋转列之间的恒定列间距，所述多个旋转列各自与运动方向成斜角定向；确定沿着多个行中的端行的相邻压力端口和真空端口之间的最小间距；以及确定位于至少一个纵列和多个旋转列中的近侧旋转列之间的至少一个过渡列的放置，至少一个过渡列中的每个过渡列被定向成如下取向：该取向是在多个列中的与该过渡列相邻的两列之间的中间，其中，至少一个过渡列中的每个过渡列与多个行中的每一行的交点和多个列中的与该过渡列相邻的列与该行的交点之间的距离至少与已确定的最小间距一样大。此外，根据本专利技术的实施例，确定至少一个纵列的放置包括将至少一个纵列中的纵列定位在距工作台横向侧预定距离处。此外，根据本专利技术的实施例，确定至少一个纵列的放置包括将至少一个纵列中的纵列定位在工件的横向边缘的预期位置处。此外，根据本专利技术的实施例，确定至少一个纵列的放置包括定位该至少一个纵列中的纵列，使得至少一个纵列与多个行的端行的交点和多个旋转列中的近侧旋转列与该端行的交点之间的距离等于整数倍的恒定列间距。此外，根据本专利技术的实施例，确定至少一个纵列的放置包括将至少一个纵列中的两个纵列定位在多个旋转列的相对两侧上。此外，根据本专利技术的实施例，确定至少一个纵列的放置包括将至少一个纵列定位在多个旋转列中的旋转列之间。此外，根据本专利技术的实施例，确定至少一个纵列的放置包括将至少一个纵列中的多个纵列定位成彼此相邻。根据本专利技术的一个实施例，进一步提供了一种被配置为支撑工件的非接触式支撑平台系统，该系统包括：散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个抽空端口，每个压力端口被配置为连接到空气压力源以使得空气能够通过该压力端口流出，并且每个抽空端口被配置为打开至环境大气压力以使得空气能够通过该抽空端口流入，压力端口和抽空端口沿多个列布置，这样使得多个压力端口中的压力端口与多个抽空端口中的抽空端口沿每一列交替，每一个抽空端口和每一个压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非接触式支撑平台系统，被配置为支撑工件，所述系统包括：/n散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个真空端口，每个压力端口被配置为连接到空气压力源以使得空气能够通过该压力端口流出，并且每个真空端口被配置为连接到抽吸源以使得空气能够通过该真空端口流入，所述压力端口和所述真空端口沿多个列布置，使得所述多个压力端口中的压力端口与所述多个真空端口中的真空端口沿所述多个列的每一列交替，其中，所述多个列包括：/n至少一个纵列，基本上平行于所述工件在所述工作台上的运动方向定向；/n相互平行的多个旋转列，所述多个旋转列各自与所述运动方向成斜角定向；以及/n至少一个过渡列，所述至少一个过渡列位于所述至少一个纵列和所述多个旋转列中的近侧旋转列之间，所述至少一个过渡列中的每个过渡列被定向在这样的取向处：该取向是在所述多个列中的与该过渡列相邻的两列之间的中间；/n其中，所述真空端口中的每个真空端口和所述压力端口中的每个压力端口位于所述多个列中的一列与多个行中的一行的交点处，所述多个行各自基本上垂直于所述运动方向定向，这样使得所述多个压力端口中的压力端口与所述多个真空端口中的真空端口沿着所述多个行中的每一行交替。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181227 US 16/233,1401.一种非接触式支撑平台系统，被配置为支撑工件，所述系统包括：
散布在工作台的顶表面上的多个压力端口和多个真空端口，每个压力端口被配置为连接到空气压力源以使得空气能够通过该压力端口流出，并且每个真空端口被配置为连接到抽吸源以使得空气能够通过该真空端口流入，所述压力端口和所述真空端口沿多个列布置，使得所述多个压力端口中的压力端口与所述多个真空端口中的真空端口沿所述多个列的每一列交替，其中，所述多个列包括：
至少一个纵列，基本上平行于所述工件在所述工作台上的运动方向定向；
相互平行的多个旋转列，所述多个旋转列各自与所述运动方向成斜角定向；以及
至少一个过渡列，所述至少一个过渡列位于所述至少一个纵列和所述多个旋转列中的近侧旋转列之间，所述至少一个过渡列中的每个过渡列被定向在这样的取向处：该取向是在所述多个列中的与该过渡列相邻的两列之间的中间；
其中，所述真空端口中的每个真空端口和所述压力端口中的每个压力端口位于所述多个列中的一列与多个行中的一行的交点处，所述多个行各自基本上垂直于所述运动方向定向，这样使得所述多个压力端口中的压力端口与所述多个真空端口中的真空端口沿着所述多个行中的每一行交替。


2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述多个旋转列中的一对相邻旋转列之间的距离R基本上等于所述多个旋转列中的任何其它对相邻旋转列之间的距离。


3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述至少一个纵列与所述多个行中的端行的交点和所述多个旋转列中的近侧旋转列与该端行的交点之间的距离等于整数倍的所述距离R。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的系统，其中，所述至少一个过渡列中的每个过渡列与所述多个行中的端行的交点和所述多个列中与该过渡列相邻的一列与该端行的交点之间的最小距离受到相邻端口之间的最小允许间距的限制。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的系统，其中，所述多个旋转列位于所述至少一个纵列的两个边界纵列之间。


6.根据权利要求5所述的系统，其中，所述两个边界纵列中的一个边界纵列与所述多个旋转列中靠近该一个边界正交列的旋转列之间的所述过渡列的数量等于另一个边界纵列和所述多个旋转列中靠近另一个边界纵列的旋转列之间的所述过渡列的数量。


7.根据权利要求5所述的系统，其中，所述两个边界纵列中的一个边界纵列与所述多个旋转列中靠近该一个边界纵列的旋转列之间的所述过渡列的数量不同于另一个边界纵列和所述多个旋转列中靠近另一个边界正交列的旋转列之间的所述过渡列的数量。


8.根据权利要求5所述的系统，其中，所述多个行中的第一端行与所述两个边界纵列中的一个边界纵列的交点和所述第一端行与所述多个旋转列中靠近所述一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离等于所述多个行中的第二端行与所述两个边界纵列中的另一个边界纵列的交点和所述第二端行与所述多个旋转列中靠近另一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离。


9.根据权利要求5所述的系统，其中，所述多个行中的第一端行与所述两个边界纵列中的一个边界纵列的交点和所述第一端行与所述多个旋转列中靠近所述一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离不同于所述多个行中的第二端行与所述两个边界纵列中的另一个边界纵列的交点和所述第二端行与所述多个旋转列中靠近所述另一个边界纵列的旋转列的交点之间的距离。


10.根据权利要求1至9中任一项所述的系统，其中，所述多个旋转列中的一些旋转列位于所述至少一个纵列中的一个纵列的一侧，并且所述多个旋转列中的其它旋转列位于该纵列的另一侧。


11.根据权利要求1至10中任一项所述的系统，其中，所述至少一个纵列包括多个相邻的纵列。


12.一种用于设计被配置为支撑工件的非接触式支撑平台系统的方法，所述系统的工作台包括散布在所述工作台的顶表面上的多...

【专利技术属性】
技术研发人员：里纳·戈拉，
申请(专利权)人：科福罗有限公司，
类型：发明
国别省市：以色列;IL