带有分开的接触表面和真空表面的真空轮制造技术

一种用于运送基板的真空轮，包括：固定管道，其能连接到抽吸源。位于真空轮的外周上的真空表面包括围绕外周分布的真空开口，使得轮的转动引起真空开口相继流体地连接到固定管道。当抽吸施加到固定管道时，抽吸施加到实时流体地连接到固定管道的一个或多个真空开口。位于真空轮的外周上的至少一个接触表面邻近真空表面并且向外延伸超过真空表面。当抽吸施加到真空开口时，基板被朝向真空表面吸引，使得基板接触该接触表面而不接触真空表面，以当轮转动时产生能够运送基板的摩擦力。

Vacuum wheel with separate contact surface and vacuum surface

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有分开的接触表面和真空表面的真空轮
本专利技术涉及真空轮(vacuumwheel)。更具体地说，本专利技术涉及带有分开的接触表面和真空表面的真空轮。
技术介绍
多种制造和测试工艺需要将薄基板从设施的一个区域传递到另一个区域。例如，薄基板可包括平的屏幕显示器中所包含的玻璃薄板。由于基板可能是易碎的，可在由无接触支撑平台支撑的同时加工和传输基板。例如，无接触支撑台可引起空气或另一种流体流动，以这种方式来产生空气或另一种流体的缓冲垫，基板被支撑在缓冲垫上。因此，可将基板支撑在距离无接触支撑平台足够的距离处，以便防止基板与平台的任何物理结构接触。薄基板可能翘曲或扭曲。薄基板还可能略有柔性使得当被不平稳地支撑时或当遭受不均匀的力时弯曲。为了沿着无接触支撑平台运送薄基板，提供一种机构来侧向地推进基板。例如，推进机构可包括轮，该轮构造成切向地接触基板。轮与基板之间的摩擦可足够使得轮的转动可将基板在切点的运动方向上推进。可施加抽吸以将基板保持到轮，以便确保基板与轮之间具有足够的摩擦。
技术实现思路
因此，根据本专利技术的实施例，提供有一种用于运送基板的真空轮，该真空轮包括：固定管道，其能连接到抽吸源；至少一个真空表面，其位于真空轮的外周上，该真空表面包括围绕外周分布的多个真空开口，使得轮的转动引起多个真空开口中的这些真空开口相继流体地连接到固定管道，使得当抽吸通过抽吸源施加到固定管道时，抽吸施加到多个真空开口中的实时流体地连接到固定管道的一个或多个真空开口；以及至少一个接触表面，其位于真空轮的外周上，至少一个接触表面邻近真空表面并且向外延伸超过真空表面，使得当抽吸施加到多个真空开口中的一个或多个真空开口时，基板被朝向真空表面吸引，以接触至少一个接触表面而不接触真空表面，并且使得当轮转动时在至少一个接触表面与基板之间施加摩擦力从而运送基板。此外，根据本专利技术的实施例，多个真空开口以单排布置。此外，根据本专利技术的实施例，多个真空开口中相邻的一对真空开口之间的距离基本上恒定。此外，根据本专利技术的实施例，每个真空开口经由真空管道连接到真空轮的边沿的内表面。此外，根据本专利技术的实施例，固定管道的方位角延伸度(azimuthalextent)长于固定管道在轴向方向上的宽度。此外，根据本专利技术的实施例，固定管道的方位角延伸度足够使得真空轮转动时，至少一个真空开口总是流体地连接到固定管道。此外，根据本专利技术的实施例，至少一个接触表面包括两个接触表面，其中，两个接触表面位于真空表面的相对的侧部上。此外，根据本专利技术的实施例，两个接触表面距离真空表面的真空开口等距。此外，根据本专利技术的实施例，多个接触表面中的接触表面是可置换的。此外，根据本专利技术的实施例，可置换的接触表面包括O形圈。此外，根据本专利技术的实施例，真空轮的边沿包括用于将可置换的接触表面保持在位的保持结构。此外，根据本专利技术的实施例，保持结构包括凹槽。此外，根据本专利技术的实施例，真空轮包括用于转动真空轮的马达。根据本专利技术的实施例，还提供一种用于支撑和运送基板的无接触支撑台，该台包括：多个压力端口，其横跨台的表面分布；多个真空轮，每个真空轮安装到台使得每个真空轮的端部延伸超过台表面，每个真空轮包括：固定管道，其能连接到抽吸源；至少一个真空表面，其位于真空轮的外周上，该真空表面包括围绕外周分布的多个真空开口，使得轮的转动引起多个真空开口中的这些真空开口相继流体地连接到固定管道，使得当抽吸通过抽吸源施加到固定管道时，抽吸施加到多个真空开口中的实时流体地连接到固定管道的一个或多个真空开口；以及至少一个接触表面，其位于真空轮的外周上，至少一个接触表面邻近真空表面并且向外延伸超过真空表面，使得当抽吸施加到多个真空开口中的一个或多个真空开口时，基板被朝向真空表面吸引，接触至少一个接触表面而不接触真空表面，并且使得当轮转动时在至少一个接触表面与基板之间施加摩擦力从而运送基板。此外，根据本专利技术的实施例，台包括多个轮开口，并且每个真空轮的端部穿过多个轮开口中的一个轮开口延伸超过台表面。此外，根据本专利技术的实施例，多个真空轮中的这些真空轮布置成邻近台表面。此外，根据本专利技术的实施例，无接触支撑台包括多个怠轮。此外，根据本专利技术的实施例，多个真空轮中的真空轮的转动方向彼此平行。此外，根据本专利技术的实施例，在多个真空轮中的这些真空轮的布置中，所布置的每个真空轮相对于所布置的相邻的真空轮侧向地旋转。根据本专利技术的实施例，还提供一种用于支撑和运送基板的支撑系统，该系统包括：多个怠轮，其旋转轴线彼此平行；多个真空轮，其旋转轴线平行于怠轮的旋转轴线，每个真空轮包括：固定管道，其能连接到抽吸源；至少一个真空表面，其位于真空轮的外周上，该真空表面包括围绕外周分布的多个真空开口，使得轮的转动引起多个真空开口中的这些真空开口相继流体地连接到固定管道，使得当抽吸通过抽吸源施加到固定管道时，抽吸施加到多个真空开口中的实时流体地连接到固定管道的一个或多个真空开口；以及至少一个接触表面，其位于真空轮的外周上，至少一个接触表面邻近真空表面并且向外延伸超过真空表面，使得当抽吸施加到多个真空开口中的一个或多个真空开口时，基板被朝向真空表面吸引，接触至少一个接触表面而不接触真空表面，并且使得当轮转动时在至少一个接触表面与基板之间施加摩擦力从而运送基板。附图说明为了更好地理解本专利技术以及领会其实际应用，下文提供并参考以下附图。应当注意的是附图仅作为示例给出，并且其不限制本专利技术的范围。相似的部件由相似的标号表示。图1A示意性地示出了根据本专利技术的实施例的带有分开的接触表面和真空表面的真空轮。图1B是图1A所示的真空轮的示意性前视图。图2A是图1B所示的真空轮的示意性截面图。图2B示意性地示出了图1A所示的真空轮的内部结构。图2C示意性地示出了图2B所示的真空轮的两个真空管道，这两个真空管道同时流体地连接到固定真空管道。图3示出了放大的图2A所示的真空轮的截面，其带有被运送的柔性基板。图4示意性地示出了无接触支撑台，其包括图1A所示的真空轮。图5A示意性地示出了无接触支撑台，其包括图1A所示的真空轮和怠轮(idlerwheel)。图5B示意性地示出了无接触支撑台，图1A所示的真空轮位于台旁边。图5C示意性地示出了图5B所示的无接触支撑台，怠轮位于台的一侧。图6示意性地示出了无接触支撑台，其带有图1A所示的真空轮，这些真空轮布置成使基板转动。图7示意性地示出了根据本专利技术的实施例的基板运送系统，其带有真空轮和怠轮。具体实施方式在以下详细描述中，陈述了多个具体细节以便提供对本专利技术的透彻理解。然而，本领域技术人员将理解的是可在没有这些具体细节的情况下实践本专利技术。在其他例子中，为了不使本专利技术变得模糊，没有详细描述众所周知的方法、步骤、部件、模块、单元和/或线路。尽管本专利技术的实施例不在这方面受限制，本文本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于运送基板的真空轮，所述真空轮包括：/n固定管道，能连接到抽吸源；/n至少一个真空表面，位于所述真空轮的外周上，所述真空表面包括围绕所述外周分布的多个真空开口，使得所述真空轮的转动引起所述多个真空开口中的这些真空开口相继流体地连接到所述固定管道，使得当通过所述抽吸源将抽吸施加到所述固定管道时，抽吸施加到所述多个真空开口中的实时流体地连接到所述固定管道的一个或多个真空开口；以及/n至少一个接触表面，位于所述真空轮的所述外周上，所述至少一个接触表面邻近所述真空表面并且向外延伸超过所述真空表面，使得当抽吸施加到所述多个真空开口中的所述一个或多个真空开口时，所述基板被朝向所述真空表面吸引，以接触所述至少一个接触表面而不接触所述真空表面，并且使得当所述真空轮转动时在所述至少一个接触表面与所述基板之间施加摩擦力，从而运送所述基板。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170815 US 15/678,1071.一种用于运送基板的真空轮，所述真空轮包括：
固定管道，能连接到抽吸源；
至少一个真空表面，位于所述真空轮的外周上，所述真空表面包括围绕所述外周分布的多个真空开口，使得所述真空轮的转动引起所述多个真空开口中的这些真空开口相继流体地连接到所述固定管道，使得当通过所述抽吸源将抽吸施加到所述固定管道时，抽吸施加到所述多个真空开口中的实时流体地连接到所述固定管道的一个或多个真空开口；以及
至少一个接触表面，位于所述真空轮的所述外周上，所述至少一个接触表面邻近所述真空表面并且向外延伸超过所述真空表面，使得当抽吸施加到所述多个真空开口中的所述一个或多个真空开口时，所述基板被朝向所述真空表面吸引，以接触所述至少一个接触表面而不接触所述真空表面，并且使得当所述真空轮转动时在所述至少一个接触表面与所述基板之间施加摩擦力，从而运送所述基板。


2.根据权利要求1所述的真空轮，其中，所述多个真空开口以单排布置。


3.根据权利要求2所述的真空轮，其中，所述多个真空开口中相邻的一对真空开口之间的距离基本上恒定。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的真空轮，其中，所述多个真空开口中的每个经由真空管道连接到所述真空轮的边沿的内表面。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空轮，其中，所述固定管道的方位角延伸度长于所述固定管道在轴向方向上的宽度。


6.根据权利要求5所述的真空轮，其中，所述固定管道的所述方位角延伸度足够使得所述真空轮转动时，所述多个真空开口中的至少一个总是流体地连接到所述固定管道。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空轮，其中，所述至少一个接触表面包括两个接触表面，其中，这两个接触表面位于所述真空表面的相对的侧部上。


8.根据权利要求7所述的真空轮，其中，所述两个接触表面距离所述真空表面的所述真空开口等距。


9.根据权利要求1至8中任一项所述的真空轮，其中，所述多个接触表面中的一个接触表面是可置换接触表面。


10.根据权利要求9所述的真空轮，其中，所述可置换接触表面包括O形圈。


11.根据权利要求9或10所述的真空轮，其中，所述真空轮的边沿包括用于将所述可置换接触表面保持在位的保持结构。


12.根据权利要求11所述的真空轮，其中，所述保持结构包括凹槽。


13.根据权利要求1至12中任一项所述的真空轮，还包括用于转动所述真空轮的马达。


14.一种用于支撑和运送基板的无接触支撑台，所述无接触支撑台包括：
多个压力端口，横跨所述无接触支撑台的台...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿隆·西格尔，雅各布·莱格巴姆，
申请(专利权)人：科福罗有限公司，
类型：发明
国别省市：以色列;IL