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一种用于运送基板的真空轮，包括：固定管道，其能连接到抽吸源。位于真空轮的外周上的真空表面包括围绕外周分布的真空开口，使得轮的转动引起真空开口相继流体地连接到固定管道。当抽吸施加到固定管道时，抽吸施加到实时流体地连接到固定管道的一个或多个真空...
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