一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备制造技术

本发明专利技术涉及半导体以及光伏产业涂膜技术领域，具体公开了一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备,包括下支撑机构、上支撑机构与控制机构，下支撑机构包括下支撑组件与下支撑组件外侧罩设的下外防护组件，上支撑机构包括上支撑组件与上支撑组件外侧罩设的上外防护组件，控制机构包括温控组件；本发明专利技术中，采用较厚的加热板，使其增加强度，可以减少加热板因受热变形的变形量，起到热能均匀向表面传递的作用；加热板热辐射遇到热反射板下端面后会形成热反射，增加热量的各向传播角度，提高热传导的均匀性；下隔热槽板、下外隔热板、上隔热罩板、上外隔热板相对加热板起到一个隔热作用，降低整个设备的热损耗。降低整个设备的热损耗。降低整个设备的热损耗。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备


[0001]本专利技术涉及半导体以及光伏产业涂膜
，具体为一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备。

技术介绍

[0002]半导体以及光伏产业中涉及大量的金属膜制膜生产，金属膜一般通过涂膜烘烤热处理，现有技术中金属膜烘烤设备一般通过电热丝/管给比容热板加热，热板与设备外壳进行进行相固定，金属膜在热板上涂布后，进行加热烘烤热处理，通过加热使整个金属膜完成烘烤处理，这种装置可以满足一般的使用要求，但是其在实际的使用过程中仍存在以下缺点：
[0003]1.现有技术中的涂膜烘烤设备，热板在高温状态下容易变形，使用时受处理对象受此影响后往往达不到理论或者理想的退火要求；
[0004]2.现有技术中的涂膜烘烤设备，热板的底部加热温控性较差，且热板周围各个方向的热损失不同，因此热板在加热过程中各处的受热均衡程度较差，使用时受处理对象受此影响后往往达不到理论或者理想的退火要求。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备,包括下支撑机构、上支撑机构与控制机构，所述下支撑机构包括下支撑组件与下支撑组件外侧罩设的下外防护组件，所述上支撑机构包括上支撑组件与上支撑组件外侧罩设的上外防护组件，所述控制机构包括温控组件，所述上支撑组件与下支撑组件上端的一侧相铰接，所述下支撑组件包括槽体结构的下支撑槽板，所述上支撑组件包括槽体结构的上支撑罩板，所述上支撑罩板下端口的一侧与下支撑槽板上端口的一侧相铰接固定。
[0007]优选的，所述下支撑槽板的下端固通过螺栓固定连接有支撑底板，且在支撑底板下端的左右两侧固定连接有支撑脚，所述下支撑槽板的槽体侧环向固定设有下隔热槽板，且在下隔热槽板的内侧固定安装有加热板。
[0008]优选的，所述上支撑罩板槽体的内侧通过螺栓固定连接有热反射支撑板，且在热反射支撑板的上端固定搭接有热反射板，所述上支撑罩板与热反射板之间夹设有上隔热罩板。
[0009]优选的，所述加热板的下端向支撑底板的底部开设有引导口，且在该引导口的下端并且在支撑底板的底部固定安装有槽体结构的过线槽，且在过线槽的侧面固定连通有过线管接头。
[0010]优选的，所述下外防护组件包扩下支撑槽板外侧所设的下外支撑框板，且在下外支撑框板的外侧固定嵌配有下外隔热板，所述下支撑槽板与下外支撑框板通过螺栓相固定
连接。
[0011]优选的，所述上外防护组件包括上支撑罩板外侧所设的框体结构的上外支撑框板，且在上外支撑框板的外侧固定嵌配有上外隔热板，所述上外支撑框板与上支撑罩板通过螺栓相固定连接。
[0012]优选的，所述上外支撑框板在上支撑罩板的外侧呈三面环绕框体结构，且在上外支撑框板外侧的左右两侧固定连接有把手。
[0013]优选的，所述温控组件与加热板相电性连接，所述温控组件向加热板下端的过线槽内引有温控传感器触头。
[0014]优选的，所述热反射板的下端面为镜面反射结构，所述热反射板外侧的下端面与热反射支撑板的上端面贴合固定。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术结构设置合理，功能性强，具有以下优点：
[0016]1.本专利技术中，采用较厚的加热板，使其增加强度，可以减少加热板因受热变形的变形量，起到热能均匀向表面传递的作用；
[0017]2.本专利技术中，在加热板的上端罩设上支撑罩板，在上支撑罩板的下端固定设有热反射板，当加热板热辐射遇到热反射板下端面后会形成热反射，将热量向下反射，增加热量的各向传播角度，提高热传导的均匀性，提高加热的稳定性，提高热处理的质量；
[0018]3.本专利技术中，在热反射板上端设有上隔热罩板，在加热板的外侧环向设有下隔热槽板，在下支撑槽板与上支撑罩板的外侧绕套设有下外支撑框板与上外支撑框板，其中，上隔热罩板与下隔热槽板相对加热板与热反射板起到一个隔热保温的作用，减少整个设备的热损失，提高加热效率，而下外支撑框板外侧嵌配的下外隔热板与上外支撑框板外侧嵌配的上外隔热板进一步起到一个隔热保温作用；
[0019]4.本专利技术中，通过温控组件对加热板的加热进行温度控制，使其温度保持在一个相对稳定的范围内，提高处理的均衡性与稳定性，提高热处理的质量。
附图说明
[0020]图1为本专利技术整体结构轴侧视图；
[0021]图2为本专利技术整体结构主视图；
[0022]图3为图2中A
‑
A处剖面结构轴侧视图；
[0023]图4为图2中B
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B处剖面结构轴侧视图；
[0024]图5为图2中C
‑
C处剖面结构轴侧视图；
[0025]图6为图5中E处局部结构放大示意图；
[0026]图7为本专利技术整体结构仰视图；
[0027]图8为本专利技术整体结构左视图；
[0028]图9为图8中D
‑
D处剖面结构轴侧视图；
[0029]图10为图9中F处局部结构放大示意图。
[0030]图中：1、下支撑组件；2、下外防护组件；3、上支撑组件；4、上外防护组件；5、温控组件；101、支撑脚；102、支撑底板；103、过线槽；104、过线管接头；105、下支撑槽板；106、下隔热槽板；107、加热板；201、下外支撑框板；202、下外隔热板；301、上支撑罩板；302、上隔热罩
板；303、热反射板；304、热反射支撑板；401、上外支撑框板；402、上外隔热板；403、把手。
具体实施方式
[0031]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0032]请参阅图1至图10，本专利技术提供一种技术方案：一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备,包括下支撑机构、上支撑机构与控制机构，下支撑机构包括下支撑组件1与下支撑组件1外侧罩设的下外防护组件2，上支撑机构包括上支撑组件3与上支撑组件3外侧罩设的上外防护组件4，控制机构包括温控组件5，上支撑组件3与下支撑组件1上端的一侧相铰接，其中，下支撑组件1相对整机起到一个底部支撑与加热的作用，上支撑组件3相对下支撑组件1起到一个上端防护与热反射作用，下外防护组件2与上外防护组件4分别相对下支撑组件1与上支撑组件3起到一个隔热与外部防护的作用，温控组件5相对下支撑组件1起到一个温度控制作用。
[0033]下支撑组件1由支撑底板102、支撑底板102上端固定安装的下支撑槽板105、下支撑槽板105槽体内环向固定贴合的下隔热槽板106与下隔热槽板106中间固定安装的加热板107构成，其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备,其特征在于：包括下支撑机构、上支撑机构与控制机构，所述下支撑机构包括下支撑组件(1)与下支撑组件(1)外侧罩设的下外防护组件(2)，所述上支撑机构包括上支撑组件(3)与上支撑组件(3)外侧罩设的上外防护组件(4)，所述控制机构包括温控组件(5)，所述上支撑组件(3)与下支撑组件(1)上端的一侧相铰接，所述下支撑组件(1)包括槽体结构的下支撑槽板(105)，所述上支撑组件(3)包括槽体结构的上支撑罩板(301)，所述上支撑罩板(301)下端口的一侧与下支撑槽板(105)上端口的一侧相铰接固定。2.根据权利要求1所述的一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备，其特征在于：所述下支撑槽板(105)的下端固通过螺栓固定连接有支撑底板(102)，且在支撑底板(102)下端的左右两侧固定连接有支撑脚(101)，所述下支撑槽板(105)的槽体侧环向固定设有下隔热槽板(106)，且在下隔热槽板(106)的内侧固定安装有加热板(107)。3.根据权利要求1所述的一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备，其特征在于：所述上支撑罩板(301)槽体的内侧通过螺栓固定连接有热反射支撑板(304)，且在热反射支撑板(304)的上端固定搭接有热反射板(303)，所述上支撑罩板(301)与热反射板(303)之间夹设有上隔热罩板(302)。4.根据权利要求2所述的一种适用于纳米级制膜工艺的低温烘烤固化设备，其特征在于：所述加热板(107)的下端向支撑底板(102)的底部开设有引导口，且在该引导口的下端并且在支撑底...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙杭州，孙斌，尚博，梁舰，李晓刚，
申请(专利权)人：江阴市纪泽万家科技有限公司，
类型：发明
国别省市：