【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体与光伏产业涂膜,具体为一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构。
技术介绍
1、高精密涂布机是一种通过涂布刀头的直线运动,将基片表面的功能性胶液通过刀片的推力以及液膜自身张力平展为均匀的液膜。该类设备广泛应用于半导体光刻前道工序、太阳能电池和锂电池制造、显示器面板等行业,现有技术中的涂布刀头驱动机构能够满足一般使用要求,但其在现实的使用过程中还存在以下不足之处:
2、1.现有技术中的涂布刀头驱动机构,高精密涂布机的刀头一般是安装在固定刀座上由直线或是旋转机构驱动,在运行过程中,刀头会因为运动机构的运动产生与基底相对位置的偏差,从而影响液膜的厚度均匀性,导致最终的成品效果不佳;
3、2.现有技术中的涂布刀头驱动机构,高精密涂布机的刀头一般是安装在固定刀座上由直线或是旋转机构驱动,在运行过程中,刀头会因为定位精度不足产生与基底相对位置的偏差,从而影响液膜的厚度均匀性,导致最终的成品效果不佳。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,包括固定支撑组件,所述固定支撑组件包括固定安装板,且在固定安装板右上端垂直固定连接有支撑顶板,所述固定安装板与支撑顶板的侧面固定设有支撑侧板,所述支撑顶板的中间并且在支撑侧板的侧面固定安装有升降支撑组件,所述升降支撑组件的侧面固定连接有翻转支撑组件,且在翻
3、优选的,所述支撑顶板的中间开设有安装槽,所述升降支撑组件包括在安装槽下端口处并且安装在支撑侧板侧面的升降支撑侧板,且在升降支撑侧板的侧面并且在支撑侧板的中间固定安装有槽体结构的升降支撑座,所述升降支撑座槽体的上下两端面中间通过轴承套配有升降螺杆,所述升降螺杆的轴端并且在升降支撑座的上端固定安装有电机安装座,所述电机安装座的上端固定安装有升降驱动电机,所述升降驱动电机的主轴与升降支撑座的轴端在电机安装座的中间通过联轴器相固定连接。
4、优选的,所述升降支撑座的上下两端面之间设有升降滑移座,所述升降滑移座与升降螺杆相螺接,所述升降支撑座槽体的前后两端内侧对称开设有滑移导槽,所述升降滑移座的前后两端外侧设有与滑移导槽相滑配的导向滑块,所述升降滑移座的左端固定连接有侧连接座,所述翻转支撑组件与侧连接座相固定连接。
5、优选的,所述翻转支撑组件包括c型槽体板状结构的翻转支撑座,且在翻转支撑座的侧面固定连接有固定连接板,所述固定连接板与侧连接座的左端通过螺栓相固定连接,所述翻转支撑座的前端固定安装有翻转电机安装座。
6、优选的,所述翻转驱动组件包括翻转轴,所述翻转轴的前后两端分别与翻转支撑座的前后两端壁体通过轴承相套配,所述翻转电机安装座的前端固定安装有翻转驱动电机,所述翻转驱动电机的主轴与翻转轴的终端在翻转电机安装座的中间通过联轴器相固定连接。
7、优选的,所述刀座组件包括在翻转支撑座的中间与翻转轴相固定套配的翻转臂,且在翻转臂的下端向外固定连接有刀座,所述刀座的上端向刀座的左端开设有刀槽,且在刀槽内扣设有刀片,所述刀座的上端扣设有压板,且在压板的下端开设有压槽,所述压槽内嵌配有弹压滚柱,所述弹压滚柱的下端与刀片的上端相压合,所述压板的上端向刀座的上端螺接有限位螺钉,所述压板的上端并且在限位螺钉的侧面螺接有调压螺钉。
8、与现有技术相比,本技术的有益效果是:本技术结构设置合理,功能性强,具有以下优点:
9、1.本技术中,升降滑移座在升降支撑座槽体中间与升降螺杆螺接传动,升降滑移座在升降过程中,其两侧的导向滑块沿滑移导槽导向移动,提高升降传动的稳定性,且升降螺杆与升降滑移座的传动为滚珠丝杠螺接传动,提高了升降传动的精度;
10、2.本技术中,通过翻转驱动电机主轴带动翻转轴与翻转臂翻转,翻转驱动电机为数控电机,可精确控制翻转轴的转角,进而可以满足翻转臂下端刀片的多角度刮涂工艺要求,且翻转轴的两端与翻转支撑座两侧中间通过轴承套配,提高转角传动的稳定性;
11、3.本技术中,刀片在刀槽槽体内,通过压板下端的弹压滚柱压紧,通过调压螺钉调节弹压滚柱相对刀片上端的压紧程度,这种弹性压紧方式,避免刀片发生刚性断裂,并且便于刀片的更换与维护。
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1.一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,包括固定支撑组件(1),其特征在于:所述固定支撑组件(1)包括固定安装板(101),且在固定安装板(101)右上端垂直固定连接有支撑顶板(102),所述固定安装板(101)与支撑顶板(102)的侧面固定设有支撑侧板(103),所述支撑顶板(102)的中间并且在支撑侧板(103)的侧面固定安装有升降支撑组件(2),所述升降支撑组件(2)的侧面固定连接有翻转支撑组件(3),且在翻转支撑组件(3)的侧面设有翻转驱动组件(4),所述翻转驱动组件(4)的侧面固定穿配有刀座组件(5)。
2.根据权利要求1所述的一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,其特征在于:所述支撑顶板(102)的中间开设有安装槽,所述升降支撑组件(2)包括在安装槽下端口处并且安装在支撑侧板(103)侧面的升降支撑侧板(201),且在升降支撑侧板(201)的侧面并且在支撑侧板(103)的中间固定安装有槽体结构的升降支撑座(202),所述升降支撑座(202)槽体的上下两端面中间通过轴承套配有升降螺杆(205),所述升降螺杆(205)的轴端并且在升降支撑座(202)的上
3.根据权利要求2所述的一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,其特征在于:所述升降支撑座(202)的上下两端面之间设有升降滑移座(206),所述升降滑移座(206)与升降螺杆(205)相螺接,所述升降支撑座(202)槽体的前后两端内侧对称开设有滑移导槽(207),所述升降滑移座(206)的前后两端外侧设有与滑移导槽(207)相滑配的导向滑块(208),所述升降滑移座(206)的左端固定连接有侧连接座(209),所述翻转支撑组件(3)与侧连接座(209)相固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,其特征在于:所述翻转支撑组件(3)包括C型槽体板状结构的翻转支撑座(302),且在翻转支撑座(302)的侧面固定连接有固定连接板(301),所述固定连接板(301)与侧连接座(209)的左端通过螺栓相固定连接,所述翻转支撑座(302)的前端固定安装有翻转电机安装座(303)。
5.根据权利要求4所述的一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,其特征在于:所述翻转驱动组件(4)包括翻转轴(401),所述翻转轴(401)的前后两端分别与翻转支撑座(302)的前后两端壁体通过轴承相套配,所述翻转电机安装座(303)的前端固定安装有翻转驱动电机(402),所述翻转驱动电机(402)的主轴与翻转轴(401)的终端在翻转电机安装座(303)的中间通过联轴器相固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,其特征在于:所述刀座组件(5)包括在翻转支撑座(302)的中间与翻转轴(401)相固定套配的翻转臂(501),且在翻转臂(501)的下端向外固定连接有刀座(502),所述刀座(502)的上端向刀座(502)的左端开设有刀槽(503),且在刀槽(503)内扣设有刀片(504),所述刀座(502)的上端扣设有压板(505),且在压板(505)的下端开设有压槽(506),所述压槽(506)内嵌配有弹压滚柱(507),所述弹压滚柱(507)的下端与刀片(504)的上端相压合,所述压板(505)的上端向刀座(502)的上端螺接有限位螺钉(508),所述压板(505)的上端并且在限位螺钉(508)的侧面螺接有调压螺钉(509)。
...【技术特征摘要】
1.一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,包括固定支撑组件(1),其特征在于:所述固定支撑组件(1)包括固定安装板(101),且在固定安装板(101)右上端垂直固定连接有支撑顶板(102),所述固定安装板(101)与支撑顶板(102)的侧面固定设有支撑侧板(103),所述支撑顶板(102)的中间并且在支撑侧板(103)的侧面固定安装有升降支撑组件(2),所述升降支撑组件(2)的侧面固定连接有翻转支撑组件(3),且在翻转支撑组件(3)的侧面设有翻转驱动组件(4),所述翻转驱动组件(4)的侧面固定穿配有刀座组件(5)。
2.根据权利要求1所述的一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,其特征在于:所述支撑顶板(102)的中间开设有安装槽,所述升降支撑组件(2)包括在安装槽下端口处并且安装在支撑侧板(103)侧面的升降支撑侧板(201),且在升降支撑侧板(201)的侧面并且在支撑侧板(103)的中间固定安装有槽体结构的升降支撑座(202),所述升降支撑座(202)槽体的上下两端面中间通过轴承套配有升降螺杆(205),所述升降螺杆(205)的轴端并且在升降支撑座(202)的上端固定安装有电机安装座(203),所述电机安装座(203)的上端固定安装有升降驱动电机(204),所述升降驱动电机(204)的主轴与升降支撑座(202)的轴端在电机安装座(203)的中间通过联轴器相固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种高精密涂布机用刀头精密升降旋转结构,其特征在于:所述升降支撑座(202)的上下两端面之间设有升降滑移座(206),所述升降滑移座(206)与升降螺杆(205)相螺接,所述升降支撑座(202)槽体的前后两端内侧对称开设有滑移导槽(207),所述升降滑移座(206)的前后两端外侧设有与滑移导槽(207)相滑配的导向滑块(208)...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙杭州,尚博,孙斌,李晓刚,梁舰,
申请(专利权)人:江阴市纪泽万家科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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