一种用于晶圆平台的调节机构制造技术

本实用新型专利技术公开的一种用于晶圆平台的调节机构，包括水平滑轨与竖直滑轨；水平滑轨顶部配合连接有水平滑块，水平滑块顶部设置有下楔块；竖直滑轨一侧配合连接有上楔块，上楔块能够沿竖直滑轨滑动；上楔块设置在下楔块的上方；本申请通过设置水平滑轨与竖直滑轨，带动下楔块沿水平方向滑动，同时下楔块沿竖直方向滑动，通过下楔块顶部的倾斜面设置，实现上楔块精准的沿竖直方向移动，调节精度较高。调节精度较高。调节精度较高。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆平台的调节机构


[0001]本技术涉及晶圆平台调节领域，更具体的，涉及一种用于晶圆平台的调节机构。

技术介绍

[0002]随着自动化产业的不断普及，越来越多的生产形式变化为自动化生产，目前急需一款结构简单、调节精度高、使用方便的可以自动化调节把移动的精度通过斜块角度细分，转换为更高级别的精度等级的机构,现有技术实现机构调节精度不够高，结构较为复杂，尺寸较大,调节精度不高，结构复杂，有的场合不能实现自动化调节，此外现有的调节机构不是通过上楔块与下楔块配合，并通过设置顶部带有斜面的下楔块进行调整上楔块的高度，调节精度较差。

技术实现思路

[0003]为了解决上述至少一个技术问题，本技术提出了一种用于晶圆平台的调节机构。
[0004]本技术第一方面提供了一种用于晶圆平台的调节机构，包括：水平滑轨与竖直滑轨；
[0005]所述水平滑轨顶部配合连接有水平滑块，所述水平滑块顶部设置有下楔块；
[0006]所述竖直滑轨一侧配合连接有上楔块，所述上楔块能够沿竖直滑轨滑动；
[0007]所述上楔块设置在所述下楔块的上方。
[0008]本技术一个较佳实施例中，所述下楔块为T型结构，所述下楔块包括第一端部与第二端部，所述第一端部的高度小于所述第二端部的高度。
[0009]本技术一个较佳实施例中，所述水平滑轨一端设置有电机。
[0010]本技术一个较佳实施例中，所述水平滑轨一侧通过电线连接有插头。
[0011]本技术一个较佳实施例中，所述水平滑轨底部设置有底座。
[0012]本技术一个较佳实施例中，所述竖直滑轨一侧设置有安装板，所述安装板底部设置有固定板。
[0013]本技术一个较佳实施例中，所述安装板与所述固定板垂直设置，所述安装板的四角均设置有固定孔。
[0014]本技术一个较佳实施例中，所述上楔块为L型结构。
[0015]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0016]本申请通过设置水平滑轨与竖直滑轨，带动下楔块沿水平方向滑动，同时下楔块沿竖直方向滑动，通过下楔块顶部的倾斜面设置，实现上楔块精准的沿竖直方向移动，调节精度较高。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的一些附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本技术实施例调节机构立体结构示意图；
[0019]图2是本技术实施例调节机构另一角度示意图；
[0020]图3是本技术实施例调节机构侧视图。
[0021]图中，1、安装板，2、上楔块，3、下楔块，4、水平滑块，5、底座，6、插头，7、电机，8、水平滑轨，9、竖直滑轨，10、电线，11、固定板，12、固定孔。
具体实施方式
[0022]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合具体实施方式对本技术进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0023]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
[0024]实施例一
[0025]参见图1
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3所示，本技术提出了一种用于晶圆平台的调节机构，包括：水平滑轨8与竖直滑轨9；
[0026]水平滑轨8顶部配合连接有水平滑块4，水平滑块4顶部设置有下楔块3水平滑块4能够沿水平方向滑动，水平滑块4滑动过程中带动顶部的下楔块3滑动；
[0027]竖直滑轨9一侧配合连接有上楔块2，上楔块2能够沿竖直滑轨9滑动；
[0028]上楔块2设置在下楔块3的上方。
[0029]具体的，晶圆平台设置在上楔块2的顶部，晶圆平台底部可以设置多个调节机构，上楔块2的下表面贴合在下楔块3的上表面，下楔块3滑动过程中能够顶升上楔块2沿竖直方向移动，进而实现上楔块2顶部的晶圆平台升降调节。
[0030]根据本技术实施例，下楔块3为T型结构，下楔块3包括第一端部与第二端部，第一端部的高度小于第二端部的高度。
[0031]可以理解的是，上楔块2的竖直移动行程量可以根据第一端部与第二端部的高度差进行设置，即更换不同倾斜角度的上楔块2。
[0032]根据本技术实施例，水平滑轨8一端设置有电机7。
[0033]根据本技术实施例，水平滑轨8一侧通过电线10连接有插头6。
[0034]根据本技术实施例，水平滑轨8底部设置有底座5。
[0035]根据本技术实施例，竖直滑轨9一侧设置有安装板1，安装板1底部设置有固定板11，安装板1与固定板11垂直设置，安装板1的四角均设置有固定孔12。
[0036]根据本技术实施例，上楔块2为L型结构。
[0037]综上所述，本申请通过设置水平滑轨8与竖直滑轨9，带动下楔块3沿水平方向滑
动，同时下楔块3沿竖直方向滑动，通过下楔块3顶部的倾斜面设置，实现上楔块2精准的沿竖直方向移动，调节精度较高。
[0038]以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0039]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对上述实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的上述实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
[0040]以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆平台的调节机构，其特征在于，包括：水平滑轨与竖直滑轨；所述水平滑轨顶部配合连接有水平滑块，所述水平滑块顶部设置有下楔块；所述竖直滑轨一侧配合连接有上楔块，所述上楔块能够沿竖直滑轨滑动；所述上楔块设置在所述下楔块的上方。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆平台的调节机构，其特征在于，所述下楔块为T型结构，所述下楔块包括第一端部与第二端部，所述第一端部的高度小于所述第二端部的高度。3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆平台的调节机构，其特征在于，所述水平滑轨一端设置有电机。4.根据权利要求3所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘曜轩，李军岗，余岱璟，
申请(专利权)人：苏州威达智科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：