一种全自动尺寸检测设备制造技术

本技术公开的一种全自动尺寸检测设备，包括平台以及设置在平台上的顶部导向组件与底部导向组件；顶部导向组件上配合连接有顶部检测组件，顶部检测组件能够沿顶部导向组件水平滑动；平台顶部位于顶部导向组件的一侧设置有支撑框架，支撑框架顶部设置有产品治具组件，支撑框架顶部设置有治具滑轨，产品治具组件能够沿治具滑轨滑动，产品治具组件上设置有晶圆；顶部检测组件对晶圆的顶部进行拍照检测；底部导向组件设置在顶部导向组件的下方，底部导向组件上设置有底部检测组件，底部检测组件用于对晶圆的底部进行拍照检测。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及产品尺寸检测领域，更具体的，涉及一种全自动尺寸检测设备。

技术介绍

1、目前，尺寸检测已成为3c、新能源、半导体等领域不可缺少的品质管控手段和制程能力检验方式，在新技术层出不穷的当下，ccd视觉检测技术已日益成熟并被普遍应用，在3c领域，多数ccd视觉检测设备为了满足多尺寸高精度的检测要求时，会尽量减少产品的移动和轴系的数量及简化轴系和量测单元的机构等，现有的检测设备无法通过顶部导向组件与底部导向组件分别对顶部检测相机与底部检测相机进行移动，难以同步对治具平台上的晶圆进行顶面与底面进行尺寸检测，检测自动化程度较低，此外，现有的检测设备无法交替对两个治具平台上的晶圆进行检测，检测设备的检测速度较差，检测设备空机运行时间长。

技术实现思路

1、为了解决上述至少一个技术问题，本技术提出了一种全自动尺寸检测设备。

2、本技术第一方面提供了一种全自动尺寸检测设备，包括：平台以及设置在平台上的顶部导向组件与底部导向组件；

3、所述顶部导向组件上配合连接有顶部检测组件，所述顶部检测组件能够本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种全自动尺寸检测设备，包括：平台以及设置在平台上的顶部导向组件与底部导向组件；其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述顶部导向组件包括固定安装在平台上的两个导向支座，所述导向支座顶部设置有横梁，两个所述导向支座分别固定安装在所述横梁的底部两端，所述横梁顶部设置有顶部导向横轨，所述顶部横向导轨上配合连接有顶部导向滑台，所述顶部导向滑台能够沿顶部导向横轨移动。

3.根据权利要求2所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述横梁靠近所述支撑框架的一侧设置有顶部导向侧轨，所述顶部导向滑台底部一端连接有顶部导向侧板，所述顶部导向...

【技术特征摘要】

1.一种全自动尺寸检测设备，包括：平台以及设置在平台上的顶部导向组件与底部导向组件；其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述顶部导向组件包括固定安装在平台上的两个导向支座，所述导向支座顶部设置有横梁，两个所述导向支座分别固定安装在所述横梁的底部两端，所述横梁顶部设置有顶部导向横轨，所述顶部横向导轨上配合连接有顶部导向滑台，所述顶部导向滑台能够沿顶部导向横轨移动。

3.根据权利要求2所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述横梁靠近所述支撑框架的一侧设置有顶部导向侧轨，所述顶部导向滑台底部一端连接有顶部导向侧板，所述顶部导向侧板与所述顶部导向滑台垂直设置，所述顶部导向侧板一侧设置有顶部导向安装架，所述顶部检测组件固定安装在顶部导向滑台与顶部导向安装架上。

4.根据权利要求3所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述横梁顶部位于所述顶部导向横轨的两端均设置有第一减震机构，所述横梁一侧位于所述顶部导向侧轨的两端均设置有第二减震机构，所述顶部导向滑台两侧对称设置有顶部导向限位块。

5.根据权利要求4所述的一种全自动尺寸检测设备，其特征在于，所述顶部检测组件包括两个顶部检测底板，两个所述顶部检测底板并列设置在所述顶部导向滑台与顶部导向安装架上，两个所述顶部检测底板之间设置有间隙，所述顶部检测底板上设置有顶部检测导轨，所述顶部检测导轨上配合连接有顶部检测滑座，所述顶部检测滑座上并列设置有顶部检测立板与顶部检测线排，所述顶部检测立板一侧设置有顶部检测相机。

6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘曜轩，马纪飞，赵洪，巩宏昌，
申请(专利权)人：苏州威达智科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：