【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆搬运领域，更具体的，涉及一种晶圆搬运机器人。
技术介绍
1、现有晶圆搬运机械手的整体单价高，单机的兼容性相对差，单套动作往复时间长，以及单臂的负载低，此外现有的晶圆搬运机器人无法通过伸出轴前端的拨叉对多种尺寸的晶圆进行搬运，搬运效率较低，且容易造成晶圆搬运过程中损坏。
技术实现思路
1、为了解决上述至少一个技术问题，本技术提出了一种晶圆搬运机器人。
2、本技术第一方面提供了一种晶圆搬运机器人，包括：两个并列设置的支架以及配合连接在支架上的水平导轨；
3、所述水平导轨一侧配合连接有旋转控制台，所述旋转控制台内部设置有升降导轨，所述升降导轨一侧配合连接有竖直滑动座，所述竖直滑动座顶部设置有旋转轴，所述旋转轴顶部设置有升降机构，所述旋转抽带动所述升降机构旋转；
4、所述升降机构内部设置有伸缩模组，所述伸缩模组上配合连接有第一机械臂与第二机械臂；
5、所述第一机械臂端部设置有第一吸附拨叉，所述第二机械臂端部设置有第二吸附拨叉，所述伸缩模...
【技术保护点】
1.一种晶圆搬运机器人，包括：两个并列设置的支架以及配合连接在支架上的水平导轨；其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机器人，其特征在于，两个所述支架内侧且位于所述水平导轨的下方设置有托架，所述托架上设置有电控线排。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆搬运机器人，其特征在于，所述托架一侧设置有电控箱，所述电控箱与所述电控线排电性连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆搬运机器人，其特征在于，所述支架顶部一侧设置有立板，所述水平导轨固定安装在立板的一侧，所述水平导轨端部设置有水平电机。
5.根据权利要求4所述的一...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬运机器人，包括：两个并列设置的支架以及配合连接在支架上的水平导轨；其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机器人，其特征在于，两个所述支架内侧且位于所述水平导轨的下方设置有托架，所述托架上设置有电控线排。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆搬运机器人，其特征在于，所述托架一侧设置有电控箱，所述电控箱与所述电控线排电性连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆搬运机器人，其特征在于，所述支架顶部一侧设置有立板，所述水平导轨固定安装在立板的一侧，所述水平导轨端部设置有水平电机。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆搬运机器人，其特征在于，所述伸缩模组包括并列设置第一伸缩导轨与第二伸缩导轨，所述第一机械臂配合连接在第一伸缩导轨上，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘曜轩，马纪飞，严锐权，王跃跃，
申请(专利权)人：苏州威达智科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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