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本技术公开的一种晶圆搬运机器人，包括两个并列设置的支架以及配合连接在支架上的水平导轨；水平导轨一侧配合连接有旋转控制台，旋转控制台内部设置有升降导轨，升降导轨一侧配合连接有竖直滑动座，竖直滑动座顶部设置有旋转轴，旋转轴顶部设置有升降机构，旋...
该专利属于苏州威达智科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州威达智科技股份有限公司授权不得商用。

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