基板夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种基板夹具，用于太阳能电池制造过程中夹持和容置基板，其包括一框体，框体的一内壁上向外凸伸有至少两个第一凸块，垂直于所述内壁的另一内壁上向外凸伸有至少两个第二凸块，至少两个第一凸块与第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，至少两个第一凸块之间和第二凸块之间形成间隙，基板的两侧壁分别插入间隙。由于本发明专利技术的基板夹具的框体相互垂直的两内壁上的至少两个第一凸块和第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，且基板的两侧壁分别插入所述至少两个第一凸块和第二凸块之间形成的间隙，减少了传统的基板夹具大面积夹持所述基板而造成的污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池制造领域，更具体地涉及一种太阳能电池制造过程中的基板夹具。
技术介绍
随着人们对能源的需求量日益增大，太阳能电池作为新兴的环保资源，其应用越 来越广泛。相应地，太阳能电池制造产业也因其广阔的应用前景而不断发展壮大。在太阳能电池的制造过程中，经清洗后的基板在加热、沉积镀膜以及冷却过程中 都必须采用专门的基板夹具夹持，以防止被其他物质刮花。其中，在所述基板被加热后送进 等离子增强化学气相沉积炉中进行沉积镀膜过程中，基板将随着镀膜转盘高速旋转，因此， 为了固定所述基板，保证沉积镀膜的质量，一般需采用与所述基板尺寸严密配合的夹具。目 前，在太阳能电池制造过程中所用到的基板夹具一般包括上下重叠的两块基板以及固定装 置，两块所述基板之间形成缝隙以夹持所述基板。由于所述基板固定于所述基板夹具的两 块基板之间，因此所述基板与所述基板夹具之间的接触面积较大，这样会造成较大的污染， 影响了太阳能电池后续制造工艺，因而影响了太阳能电池的质量。另外，采用上述基板夹具 夹持所述基板时，需要先将所述基板放入所述基板夹具之间，再通过所述基板夹具的固定 装置将所述基板固定，操作比较复杂，工作效率较低。因此，有必要提供一种改进的基板夹具来克服上述缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种基板夹具，以减少太阳能电池制造过程中对基板的污 染，所述基板夹具操作简单，工作效率较高。为实现上述目的，本专利技术提供了一种基板夹具，用于太阳能电池制造过程中夹持 和容置基板。其中，所述基板夹具包括一框体，所述框体的一内壁上向外凸伸有至少两个第 一凸块，所述框体的垂直于所述内壁的另一内壁上向外凸伸有至少两个第二凸块，所述至 少两个第一凸块与第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，所述至少两个第一凸块之间和 第二凸块之间形成间隙，所述基板的两侧壁分别插入所述间隙。在本专利技术的一优选实施例中，所述第一凸块所在的内壁上还凸伸有至少一个第一 突起，所述第一突起与所述第一凸块在同一直线上，所述至少一个第一突起的排布方向垂 直于所述基板的厚度方向。在本专利技术的另一优选实施例中，所述第二凸块所在的另一内壁上还凸伸有至少一 个第二突起，所述第二突起与所述第二凸块在同一直线上，所述至少一个第二突起的排布 方向垂直于所述基板的厚度方向。具体地，所述第一凸块、第二凸块、第一突起和第二突起的顶端均呈曲线状。较佳地，所述至少两个第一凸块和第二凸块的顶端形成山脊状。较佳地，所述第一凸块、第二凸块、第一突起和第二突起均由具有伸缩性质的材料制成。较佳地，所述第一凸块、第二凸块、第一突起和第二突起均由硅橡胶制成。这样的 设计可以使得所述基板夹具满足不同形状和尺寸的基板的夹持要求，节省了传统的基板夹 具更换时所耗费的工时，提高了工作效率，且操作简单，成本低廉。与现有技术相比，由于本专利技术的基板夹具的框体相互垂直的两内壁上的至少两个 第一凸块和第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，且所述基板的两侧壁分别插入所述至 少两个第一凸块和第二凸块之间形成的间隙，减少了传统的基板夹具大面积夹持所述基板 而造成的污染。另外，所述基板夹具结构简单，操作方便，提高了工作效率，成本也比较低 廉MTv ο通过以下的描述并结合附图，本专利技术将变得更加清晰，这些附图用于解释本专利技术 的实施例。附图说明图1为本专利技术基板夹具的第一实施例的结构示意图。图2为图1所示基板夹具夹持基板的示意图。图3为本专利技术基板夹具的第二实施例的结构示意图。图4为图3所示基板夹具夹持基板的示意图。图5为本专利技术基板夹具第三实施例的结构示意图。图6为图5所示基板夹具夹持基板的示意图。具体实施例方式现在参考附图描述本专利技术的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。如 上所述，本专利技术提供了一种基板夹具，由于所述基板夹具的框体相互垂直的两内壁上的至 少两个第一凸块和第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，且所述基板的两侧壁分别插入 所述至少两个第一凸块和第二凸块之间形成的间隙，减少了传统的基板夹具大面积夹持所 述基板而造成的污染。另外，所述基板夹具结构简单，操作方便，提高了工作效率，成本也比 较低廉。请参考图1和图2，描述了本专利技术基板夹具的第一实施例。如图所示，所述基板夹 具100包括一框体10，所述框体10的一内壁101上向外凸伸有两个第一凸块20，所述框体 10的垂直于所述内壁101的另一内壁102上向外凸伸有两个第二凸块22，所述两个第一凸 块20与第二凸块22均沿所述基板30的厚度方向H排布，所述两个第一凸块20之间和第 二凸块22之间形成间隙21，所述基板30的两侧壁分别插入所述间隙21。具体地，所述第一凸块20和第二凸块22的顶端呈曲线状，且所述第一凸块20和 第二凸块22的顶端形成山脊状。具体地，所述第一凸块20和第二凸块22均由具有伸缩性质的材料制成。较佳地，所述第一凸块20和第二凸块22均由硅橡胶制成，以满足不同形状和尺寸的基板的要求，节省了传统的基板夹具更换时所耗费的工时，提高了工作效率，且操作简 单，成本低廉。在太阳能电池制造过程中，当所述基板30经清洗后需进行加热、镀膜以及冷却时，机械手将会把所述基板送入所述基板夹具100。如图2所示，所述基板30的两侧壁分 别插入所述两个第一凸块20之间和第二凸块22之间所形成的间隙21中，以被所述基板夹 具100夹持和容置。在本实施例中，所述基板夹具100只容置了一个基板30。由于所述基 板30仅与所述基板夹具100内壁上的第一凸块20和第二凸块22的间隙21接触，减少了 接触面积，因而减少了污染，且所述基板夹具100结构简单，操作方便，成本低廉。请参考图3和图4，描述了本专利技术基板夹具的第二实施例。如图所示，在本实施例 中，所述基板夹具100的框体10的一内壁101上向外凸伸有九个第一凸块20 (图示角度仅 有八个第一凸块20)，另一内壁102上向外凸伸有九个第二凸块22，所述九个第一凸块20 和第二凸块22均沿所述基板30的厚度方向H排布，所述九个第一凸块20之间和所述九个 第二凸块22之间形成七个间隙22，所述基板30的两侧壁分别插入所述七个间隙22中。如 图4所示，本实施例中的基板夹具100可容置七个基板30，提高了工作效率。可理解地，本实施例中的其它部件之间的连接关系以及工作原理与第一实施例相 同或类似，在此不做赘述。请参考图5，描述了本专利技术基板夹具的第三实施例。如图所示，在本实施例中，所述 基板夹具100的框体10的内壁101上向外凸伸有九个第一凸块20和九个第一突起24(图 示角度仅有六个第一凸块20和第一突起24)，另一 内壁102上向外凸伸有九个第二凸块22 和第二突起26 (图示角度仅有七个第二突起26)，所述九个第一凸块20和第二凸块20均沿 所述基板30的厚度方向H排布，每个所述第一突起24均与每个所述第一凸块20在同一直 线上，每个所述第二突起26均与每个所述第二凸块22在同一直线上，所述九个第一凸块20 和第二凸块22均沿所述基板30的厚度方向H排布，所述九个第一突起24和第二突起26 均沿垂直于所述基板的厚度方向排布。所述九个第一凸块20之间和所述九个第二凸块22 之间形成七个间隙22，所述九个第一突起24和所述九个第二突起之间也形成多个间隙，所 述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板夹具，用于太阳能电池制造过程中夹持和容置基板，其特征在于：所述基板夹具包括一框体，所述框体的一内壁上向外凸伸有至少两个第一凸块，所述框体的垂直于所述内壁的另一内壁上向外凸伸有至少两个第二凸块，所述至少两个第一凸块与第二凸块均沿所述基板的厚度方向排布，所述至少两个第一凸块之间和第二凸块之间形成间隙，所述基板的两侧壁分别插入所述间隙。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：范振华，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：发明
国别省市：44[中国|广东]