分类装置、传送系统以及分类识别方法制造方法及图纸

本申请提供了一种分类装置、传送系统以及分类识别方法，分类装置用于对晶圆承载结构进行检测和分类操作，分类装置包括：检测结构，检测结构用于检测晶圆承载结构的类型；拾取结构，与检测结构通过电信号连接，拾取结构根据检测结构检测到的类型拾取对应的分类塞并进行转移；驱动结构，包括驱动部和承载部，承载部用于与拾取结构配合以对转移的分类塞进行支撑，驱动部与承载部驱动连接，以通过驱动部将承载部上的分类塞塞入至晶圆承载结构上对应的分类孔内。通过本申请提供的技术方案，能够解决现有技术中的晶圆承载结构的分类操作的人工操作量大的技术问题。人工操作量大的技术问题。人工操作量大的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
分类装置、传送系统以及分类识别方法


[0001]本申请涉及晶圆承载结构的检测分类
，具体而言，涉及一种分类装置、传送系统以及分类识别方法。

技术介绍

[0002]目前，在半导体生产过程中需要用于到大量的晶圆承载盒，晶圆承载盒是在生产过程中装载晶圆的载体。一般而言，不同类型的晶圆需要采用不同类型的晶圆承载盒进行装载，现有技术中使用比较普遍的是Cu或Non
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Cu两种类型，区别方法就是使用分类塞塞入至对应的分类孔中加以区分。
[0003]然而，现有技术中的分类塞的装配和拆卸均是通过人员手动来完成的，这样容易导致分类类型出错，并且耗费人力，也有可能造成晶圆承载盒受到损伤。

技术实现思路

[0004]本申请的主要目的在于提供一种分类装置、传送系统以及分类识别方法，以解决现有技术中的晶圆承载结构的分类操作的人工操作量大的技术问题。
[0005]为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种分类装置，分类装置用于对晶圆承载结构进行检测和分类操作，分类装置包括：检测结构，检测结构用于检测晶圆承载结构的类型；拾取结构，与检测结构通过电信号连接，拾取结构根据检测结构检测到的类型拾取对应的分类塞并进行转移；驱动结构，包括驱动部和承载部，承载部用于与拾取结构配合以对转移的分类塞进行支撑，驱动部与承载部驱动连接，以通过驱动部将承载部上的分类塞塞入至晶圆承载结构上对应的分类孔内。
[0006]进一步地，拾取结构包括：夹取部，夹取部与分类塞相适配，以通过夹取部夹取分类塞；转移部，与夹取部连接，以通过转移部对夹取部进行转移。
[0007]进一步地，夹取部包括：第一夹取件和第二夹取件，第一夹取件和第二夹取件间隔设置，第一夹取件和第二夹取件中的至少一个位置可调节地设置，以通过改变第一夹取件和第二夹取件之间的距离实现对分类塞的夹取或松开。
[0008]进一步地，第一夹取件远离第二夹取件的一端形成第一夹取端，第二夹取件远离第一夹取件的一端形成第二夹取端，第一夹取件和第二夹取件均沿相互靠近或远离的方向移动。
[0009]进一步地，夹取部还包括：连杆组件，连杆组件设置在第一夹取件和第二夹取件之间，连杆组件具有第一铰接驱动端和第二铰接驱动端，第一铰接驱动端与第一夹取件连接，第二铰接驱动端与第二夹取件连接。
[0010]进一步地，连杆组件包括驱动连杆、第一连杆和第二连杆，驱动连杆可摆动地设置，驱动连杆具有相对设置的第一摆动端和第二摆动端；第一连杆与第一摆动端铰接，第一连杆远离驱动连杆的一端形成第一铰接驱动端；第二连杆与第二摆动端铰接，第二连杆远离驱动连杆的一端形成第二铰接驱动端。
[0011]进一步地，拾取结构还包括：推动部，推动部沿竖直方向可移动地设置在第一夹取件和第二夹取件之间，当第一夹取件和第二夹取件松开分类塞时，推动部将分类塞推出。
[0012]进一步地，分类装置包括操作台，操作台上设置有取放通孔，取放通孔处设置有分类塞，夹取部可移动地设置在操作台的上方，以夹取取放通孔处的分类塞。
[0013]进一步地，操作台上还设置有第一推动通孔，第一推动通孔与取放通孔间隔设置，承载部可升降地设置在第一推动通孔处。
[0014]进一步地，操作台上设置有沿第一预设方向延伸的导向槽，转移部的至少部分位于导向槽内并沿第一预设方向可移动地设置。
[0015]进一步地，分类装置还包括：支撑台，安装在操作台的上方，支撑台用于支撑晶圆承载结构；支撑台上设置有第二推动通孔，第二推动通孔与第一推动通孔相对设置，第二推动通孔与晶圆承载结构的分类孔相对设置，以使承载部推动分类塞穿过第一推动通孔和第二推动通孔后进入至分类孔内。
[0016]进一步地，分类装置还包括扫描仪，扫描仪安装在操作台上，支撑台上设置有第一避让孔，晶圆承载结构上的待扫描部与第一避让孔相对设置，第一避让孔与扫描仪相对设置。
[0017]进一步地，检测结构包括信息读取件，信息读取件安装在操作台上，支撑台上设置有第二避让孔，晶圆承载结构上的标签与第二避让孔相对设置，第二避让孔与信息读取件相对设置，信息读取件与扫描仪通过电信号连接。
[0018]进一步地，分类装置还包括控制结构，信息读取件和扫描仪均与控制结构通过电信号连接，控制结构根据信息读取件读取的编码号与扫描仪扫描得到的编码号的比对结果对标签存储的信息进行修改。
[0019]进一步地，驱动部包括：驱动杆，驱动杆可升降地设置；滑动块，驱动杆推动滑动块运动，滑动块具有驱动斜面，驱动斜面与承载部抵接，以通过驱动斜面推动承载部运动；导向杆，导向杆倾斜设置，滑动块穿设在导向杆上，以在驱动杆推动滑动块运动时引导滑动块向靠近承载部的方向滑动。
[0020]进一步地，驱动杆的杆体沿竖直方向延伸，滑动块位于驱动杆的上方；驱动结构还包括：推动板，设置在驱动杆和滑动块之间，滑动块可滑动地设置在推动板上，推动板上设置有限位凸台，限位凸台与滑动块抵接以限制滑动块的滑动距离；和/或，限位板，设置在滑动块的上方，限位板与滑动块抵接以限制滑动块的升起高度。
[0021]进一步地，承载部包括相互连接的承载杆和承载板，承载杆上设置有第一限位凸缘；驱动部还包括：轴套，套设在承载杆的至少部分上，轴套上设置有第二限位凸缘，第二限位凸缘与第一限位凸缘间隔设置；复位件，套设在承载杆上，复位件的第一端抵接在第一限位凸缘上，复位件的第二端抵接在第二限位凸缘上。
[0022]进一步地，驱动结构还包括：位移检测件，设置在驱动杆上，位移检测件用于检测驱动杆的位移；和/或，位置检测件，设置在推动板上，位置检测件用于检测承载部上的分类塞是否进入分类孔内。
[0023]进一步地，分类装置还包括：储存部，储存部具有储存腔，储存腔内存放有分类塞，储存部上设置有与储存腔连通的出料口，以使分类塞经出料口排出；储存部包括顶出部，顶出部的顶出端可升降地设置在储存腔内，以通过顶出部将分类塞顶出。
[0024]根据本申请的另一方面，提供了一种传送系统，传送系统包括：上述提供的分类装置；传送装置，传送装置用于对晶圆承载结构进行传送并转移至分类装置上。
[0025]根据本申请的另一方面，提供了一种分类识别方法，分类识别方法采用上述提供的分类装置，分类识别方法用于对晶圆承载结构进行分类和识别，分类识别方法包括：利用分类装置的检测结构对晶圆承载结构的类型进行检测；利用分类装置的拾取结构拾取与检测到的晶圆承载结构的类型相适配的分类塞，并将分类塞转移至分类装置的驱动结构的承载部上；利用驱动结构的驱动部驱动承载部运动，以将承载部上的分类塞塞入至晶圆承载结构的对应的分类孔内。
[0026]进一步地，分类识别方法采用上述提供的分类装置，分类识别方法还包括：利用分类装置的扫描仪对晶圆承载结构的待扫描部进行扫描以获取晶圆承载结构的第一产品信息；利用分类装置的信息读取件对晶圆承载结构的标签进行读取以获取晶圆承载结构的第二产品信息；将获取的第二产品信息与获取的第一产品信息进行比对，当本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分类装置，其特征在于，所述分类装置用于对晶圆承载结构(10)进行检测和分类操作，所述分类装置包括：检测结构(20)，所述检测结构(20)用于检测所述晶圆承载结构(10)的类型；拾取结构(30)，与所述检测结构(20)通过电信号连接，所述拾取结构(30)根据所述检测结构(20)检测到的类型拾取对应的分类塞(40)并进行转移；驱动结构(50)，包括驱动部(51)和承载部(52)，所述承载部(52)用于与所述拾取结构(30)配合以对转移的所述分类塞(40)进行支撑，所述驱动部(51)与所述承载部(52)驱动连接，以通过所述驱动部(51)将所述承载部(52)上的所述分类塞(40)塞入至所述晶圆承载结构(10)上对应的分类孔(11)内。2.根据权利要求1所述的分类装置，其特征在于，所述拾取结构(30)包括：夹取部(31)，所述夹取部(31)与所述分类塞(40)相适配，以通过所述夹取部(31)夹取所述分类塞(40)；转移部(32)，与所述夹取部(31)连接，以通过所述转移部(32)对所述夹取部(31)进行转移。3.根据权利要求2所述的分类装置，其特征在于，所述夹取部(31)包括：第一夹取件(311)和第二夹取件(312)，所述第一夹取件(311)和所述第二夹取件(312)间隔设置，所述第一夹取件(311)和所述第二夹取件(312)中的至少一个位置可调节地设置，以通过改变所述第一夹取件(311)和所述第二夹取件(312)之间的距离实现对所述分类塞(40)的夹取或松开；所述第一夹取件(311)远离所述第二夹取件(312)的一端形成第一夹取端，所述第二夹取件(312)远离所述第一夹取件(311)的一端形成第二夹取端，所述第一夹取件(311)和所述第二夹取件(312)均沿相互靠近或远离的方向移动；连杆组件(313)，所述连杆组件(313)设置在所述第一夹取件(311)和所述第二夹取件(312)之间，所述连杆组件(313)具有第一铰接驱动端和第二铰接驱动端，所述第一铰接驱动端与所述第一夹取件(311)连接，所述第二铰接驱动端与所述第二夹取件(312)连接；所述连杆组件(313)包括驱动连杆(3131)、第一连杆(3132)和第二连杆(3133)，所述驱动连杆(3131)可摆动地设置，所述驱动连杆(3131)具有相对设置的第一摆动端和第二摆动端；所述第一连杆(3132)与所述第一摆动端铰接，所述第一连杆(3132)远离所述驱动连杆(3131)的一端形成所述第一铰接驱动端；所述第二连杆(3133)与所述第二摆动端铰接，所述第二连杆(3133)远离所述驱动连杆(3131)的一端形成所述第二铰接驱动端。4.根据权利要求3所述的分类装置，其特征在于，所述拾取结构(30)还包括：推动部(33)，所述推动部(33)沿竖直方向可移动地设置在所述第一夹取件(311)和所述第二夹取件(312)之间，当所述第一夹取件(311)和所述第二夹取件(312)松开所述分类塞(40)时，所述推动部(33)将所述分类塞(40)推出。5.根据权利要求2所述的分类装置，其特征在于，所述分类装置包括操作台(60)，所述操作台(60)上设置有取放通孔(61)，所述取放通孔(61)处设置有所述分类塞(40)，所述夹取部(31)可移动地设置在所述操作台(60)的上方，以夹取所述取放通孔(61)处的所述分类塞(40)；所述操作台(60)上还设置有第一推动通孔(62)，所述第一推动通孔(62)与所述取放通
孔(61)间隔设置，所述承载部(52)可升降地设置在所述第一推动通孔(62)处；和/或，所述操作台(60)上设置有沿第一预设方向延伸的导向槽(63)，所述转移部(32)的至少部分位于所述导向槽(63)内并沿所述第一预设方向可移动地设置。6.根据权利要求5所述的分类装置，其特征在于，所述分类装置还包括：支撑台(70)，安装在所述操作台(60)的上方，所述支撑台(70)用于支撑所述晶圆承载结构(10)；所述支撑台(70)上设置有第二推动通孔(71)，所述第二推动通孔(71)与所述第一推动通孔(62)相对设置，所述第二推动通孔(71)与所述晶圆承载结构(10)的分类孔(11)相对设置，以使所述承载部(52)推动所述分类塞(40)穿过所述第一推动通孔(62)和所述第二推动通孔(71)后进入至所述分类孔(11)内。7.根据权利要求6所述的分类装置，其特征在于，所述分类装置还包括扫描仪(80)，扫描仪(80)安装在所述操作台(60)上，所述支撑台(70)上设置有第一避让孔(73)，所述晶圆承载结构(10)上的待扫描部与所述第一避让孔(73)相对设置，所述第一避让孔(73)与所述扫描仪(80)相对设置；所述检测结构(20)包括信息读取件，所述信息读取件安装在所述操作台(60)上，所述支撑台...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈天柱，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：