本实用新型专利技术涉及一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置，属于半导体设备技术领域，包括有提拉板，提拉板位于静电卡盘组件正上方，提拉板的下表面设置有防护软垫；提拉板上开设有两个对准孔和三个螺栓连接孔，螺栓连接孔中穿入有提拉螺栓；提拉螺栓的下端与静电卡盘组件的螺丝通孔相对应地螺纹连接；半导体设备的腔室底板上开设有与静电卡盘组件的螺丝通孔相对应的螺丝盲孔，其中位于两侧的两个螺丝盲孔中螺纹连接有对准柱；对准柱的上端穿过螺丝通孔及对准孔后露出于提拉板的上方；提拉板在上方两侧的位置设置有把手，把手与对准孔一一对应地相邻。本方案在搬运过程中连接稳定，且便于进行观察，保证放入位置对准，显著提高安装效率及一致性。高安装效率及一致性。高安装效率及一致性。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置
[0001]本技术属于半导体设备
，具体地涉及一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置。
技术介绍
[0002]静电卡盘组件是半导体设备中常用的部件，例如在一种现有的化学气相沉积设备中，设备腔体内部的底面上开设有六个安装孔，静电卡盘组件底面上开设有与其一一对应的六个定位孔，进而通过专用的螺栓将静电卡盘组件与腔体底面紧固连接。目前市面上尚无用于此类静电卡盘组件的辅助安装用具。
[0003]现有专利例如授权公告号为CN212740376U的中国技术专利，其提供一种静电吸盘移除工具，能够避免徒手施力易导致吸盘底部的零部件在移除过程中受到损坏的问题，但其无法应用于安装过程。在安装静电卡盘组件时，要将静电卡盘组件搬运放入设备腔体中，并使定位孔与安装孔对齐，实际操作中经常出现无法对齐、安装效率低、安装一致性差的问题。
[0004]此外，本技术所尤其针对的静电卡盘组件与上述现有专利的单独的静电吸盘不同，其上还具有诸多其他部件、形成为一个整体的组件，重约25kg，通常需要至少两人搬运，在放入腔体进行安装的过程中，其安装方位很难控制，极容易产生磕碰，划伤腔体侧壁及底面，造成硬件表面损坏及密封失效的问题。上述现有专利仅通过中间一根提升杆连接静电吸盘，不便于进行稳定的搬运。
技术实现思路
[0005]基于现有技术存在的技术问题，本技术提供一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置，解决较重的静电卡盘组件不便于安装、易产生磕碰损坏等问题，实现便于进行安装孔的对准以及平稳的搬运。
[0006]依据本技术的技术方案，本技术提供了一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置，包括有提拉板，提拉板位于静电卡盘组件正上方，提拉板的下表面设置有防护软垫；提拉板上开设有两个对准孔和三个螺栓连接孔，螺栓连接孔中穿入有提拉螺栓；提拉螺栓的下端与静电卡盘组件的螺丝通孔相对应地螺纹连接；半导体设备的腔室底板上开设有与静电卡盘组件的螺丝通孔相对应的螺丝盲孔，其中位于两侧的两个螺丝盲孔中螺纹连接有对准柱；对准柱的上端穿过螺丝通孔及对准孔后露出于提拉板的上方；提拉板在上方两侧的位置设置有把手，把手与对准孔一一对应地相邻。
[0007]进一步地，把手通过螺栓方式固定于提拉板，把手呈向上拱起的桥形。
[0008]优选地，把手和提拉板的连接处与对准孔相邻。
[0009]优选地，提拉螺栓包括有螺柱和端部螺母；螺柱的下端具有下端外螺纹并与螺丝通孔相匹配地螺纹连接，螺柱的上端具有上端外螺纹并与端部螺母相匹配地螺纹连接并焊接固定；端部螺母的上方具有圆环部。
[0010]进一步地，在螺柱的中部设置有环形突起，端部螺母的下表面和环形突起的上表面分别位于提拉板的上下两侧。
[0011]优选地，在螺柱上还螺纹连接有限位螺母，端部螺母的下表面和限位螺母的上表面分别位于提拉板的上下两侧。
[0012]优选地，在螺柱上还螺纹连接有锁紧螺母，锁紧螺母紧贴地位于限位螺母的下方。
[0013]优选地，提拉螺栓为吊环螺栓，提拉螺栓上套设有环形垫片，环形垫片位于提拉螺栓上方的吊环与提拉板之间。
[0014]优选地，对准柱的上端为便于旋拧的旋拧部
[0015]优选地，三个螺栓连接孔的位置构成锐角三角形或直角三角形的三个顶点。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益技术效果如下：
[0017]1、本技术的半导体设备静电卡盘组件安装对准装置采用提拉板，以及三根提拉螺栓，与静电卡盘组件的形状特点相匹配地连接，从而在搬运过程中连接稳定；通过两组对准柱和对准孔相配合实现安装时保证放入的静电卡盘组件位置对准，可显著提高安装效率以及一致性；此外，采用在两侧设置把手，且把手与对准孔及对准柱相对应，便于安装过程中进行观察，进一步提升安装的便捷性和准确性。
[0018]2、本技术的半导体设备静电卡盘组件安装对准装置在提拉板下方设置有防护软垫，起到保护作用，确保静电卡盘组件上方的工作面不会被摩擦、损坏，并且可以选择直接将防护软垫与静电卡盘组件相接触，更加便于安装连接。
[0019]3、本技术的半导体设备静电卡盘组件安装对准装置充分利用现有静电卡盘组件及半导体设备腔室的结构，从而实现装置结构简单、使用方便并且生产成本低，具有极强的实用价值。
附图说明
[0020]图1是本技术一实施例的结构示意图。
[0021]图2是图1所示实施例的立体结构示意图。
[0022]图3是本技术适用的一种现有半导体设备腔室的俯视结构示意图。
[0023]附图中的附图标记说明：
[0024]1、提拉板；
[0025]2、防护软垫；
[0026]3、对准孔；
[0027]4、螺栓连接孔；
[0028]5、提拉螺栓；
[0029]6、对准柱；
[0030]7、把手；
[0031]8、螺柱；
[0032]9、端部螺母；
[0033]10、圆环部；
[0034]11、限位螺母；
[0035]12、锁紧螺母；
[0036]13、旋拧部；
[0037]14、环形垫片；
[0038]E、静电卡盘组件；
[0039]E1、螺丝通孔；
[0040]C、腔室底板；
[0041]C1、螺丝盲孔。
具体实施方式
[0042]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0043]另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关技术相关的部分。在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0044]需要注意，本技术中提及的“第一”、“第二”等概念仅用于对不同的装置、模块或单元进行区分，并非用于限定这些装置、模块或单元所执行的功能的顺序或者相互依存关系。
[0045]需要注意，本技术中提及的“一个”、“多个”的修饰是示意性而非限制性的，本领域技术人员应当理解，除非在上下文另有明确指出，否则应该理解为“一个或多个”。
[0046]本技术提供一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置，属于半导体设备
，包括有提拉板，提拉板位于静电卡盘组件正上方，提拉板的下表面设置有防护软垫；提拉板上开设有两个对准孔和三个螺栓连接孔，螺栓连接孔中穿入有提拉螺栓；提拉螺栓的下端与静电卡盘组件的螺丝通孔相对应地螺纹连接；半导体设备的腔室底板上开设有与静电卡盘组件的螺丝通孔相对应的螺丝盲孔，其中位于两侧的两个螺丝盲孔中螺纹连接有对准柱；对准柱的上端穿过螺丝通孔及对准孔后露出本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体设备静电卡盘组件安装对准装置，其特征在于，包括有提拉板(1)，所述提拉板(1)位于所述静电卡盘组件(E)正上方，所述提拉板(1)的下表面设置有防护软垫(2)；所述提拉板(1)上开设有两个对准孔(3)和三个螺栓连接孔(4)，所述螺栓连接孔(4)中穿入有提拉螺栓(5)；所述提拉螺栓(5)的下端与所述静电卡盘组件(E)的螺丝通孔(E1)相对应地螺纹连接；所述半导体设备的腔室底板(C)上开设有与所述静电卡盘组件(E)的螺丝通孔(E1)相对应的螺丝盲孔(C1)，其中位于两侧的两个所述螺丝盲孔(C1)中螺纹连接有对准柱(6)；所述对准柱(6)的上端穿过所述螺丝通孔(E1)及所述对准孔(3)后露出于所述提拉板(1)的上方；所述提拉板(1)在上方两侧的位置设置有把手(7)，所述把手(7)与所述对准孔(3)一一对应地相邻。2.如权利要求1所述的半导体设备静电卡盘组件安装对准装置，其特征在于，所述把手(7)通过螺栓方式固定于所述提拉板(1)，所述把手(7)呈向上拱起的桥形。3.如权利要求2所述的半导体设备静电卡盘组件安装对准装置，其特征在于，所述把手(7)和所述提拉板(1)的连接处与所述对准孔(3)相邻。4.如权利要求1所述的半导体设备静电卡盘组件安装对准装置，其特征在于，所述提拉螺栓(5)包括有螺柱(8)和端部螺母(9)；所述螺柱(8)的下端具有下端外螺纹并与所述螺丝通孔(E1)相匹配地螺纹连接，所述螺柱(8)的上端具有上端外螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓晨，张建，苏宇，郭鑫，李伟阳，赵云超，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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