一种三路一体式喷射管及其制作方法技术

一种三路一体式喷射管，包括喷射管组和承载接头，承载接头设有沿竖向设置的第一凸台、第二凸台和第三凸台，承载接头内设有第一孔路、第二孔路和第三孔路；喷射管组包括第一管段、第二管段和第三管段，第一管段、第二管段和第三管段的下端平齐且总长度逐个增加以使得喷射管组的左侧壁形成阶梯状结构，第一管段、第二管段和第三管段均设有排气通孔。上述方案通过将第一管段、第二管段和第三管段并排相连以形成三路一体式结构，而承载接头的第一孔路、第二孔路和第三孔路的气体经第一管段、第二管段和第三管段的不同高度的排气通孔更为均匀地排至炉体，从而有效提升了喷射管组的结构强度与使用寿命。本公开还提供一种三路一体式喷射管的制作方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及喷射管的，具体涉及一种三路一体式喷射管，以及一种三路一体式喷射管的制作方法。

技术介绍

1、在集成电路的制造过程中，其中一道关键步骤是在反应炉内进行各种化学处理，例如薄膜沉积及高温退火。反应炉的炉管位置往往配备有喷射管，喷射管用于将各类反应气体均匀地送入反应炉炉管的各个不同高度的位置上。

2、现有的喷射管都是采用圆管的结构，由于喷射管的长度大而直径小，这种细长装的结构特征不仅导致喷射管的加工困难，而且也造成了强度低、易碎裂的问题。现有技术中部分设计采用了多段依次同轴拼接式的结构，但由于管段与管段之间存在缝隙，喷射管本身又是薄壁结构，随着使用时间的增加往往会在沉积到一定厚度后断裂。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是解决现有技术中的喷射管结构强度低、易碎裂，导致加工困难、使用寿命短的相关问题。

2、为解决上述问题，本专利技术提供一种三路一体式喷射管，包括喷射管组和承载接头，所述承载接头的前侧壁为用于配合至炉体的弧形内凹面且后侧壁为弧形外凸面；

<p>3、所述承载接头本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种三路一体式喷射管，其特征在于，包括喷射管组(1)和承载接头(2)，所述承载接头(2)的前侧壁为用于配合至炉体的弧形内凹面且后侧壁为弧形外凸面；

2.根据权利要求1所述的一种三路一体式喷射管，其特征在于，所述承载接头(2)的弧形外凸面设有沿横向设置的第一圆凸管(27)、第二圆凸管(28)和第三圆凸管(29)，且第一圆凸管(27)和第三圆凸管(29)分别位于第二圆凸管(28)的左侧和右侧，所述第一孔路(24)、第二孔路(25)和第三孔路(26)均包括相互连通的横孔段和竖孔段，所述第一孔路(24)的竖孔段贯通至第一凸台(21)的上端面的左部且横孔段贯通至第一圆凸管(27)，...

【技术特征摘要】

1.一种三路一体式喷射管，其特征在于，包括喷射管组(1)和承载接头(2)，所述承载接头(2)的前侧壁为用于配合至炉体的弧形内凹面且后侧壁为弧形外凸面；

2.根据权利要求1所述的一种三路一体式喷射管，其特征在于，所述承载接头(2)的弧形外凸面设有沿横向设置的第一圆凸管(27)、第二圆凸管(28)和第三圆凸管(29)，且第一圆凸管(27)和第三圆凸管(29)分别位于第二圆凸管(28)的左侧和右侧，所述第一孔路(24)、第二孔路(25)和第三孔路(26)均包括相互连通的横孔段和竖孔段，所述第一孔路(24)的竖孔段贯通至第一凸台(21)的上端面的左部且横孔段贯通至第一圆凸管(27)，所述第二孔路(25)的竖孔段贯穿至第二凸台(22)的上端面的中部且横孔段贯通至第二圆凸管(28)，所述第三孔路(26)的竖孔段贯通至第三凸台(23)的上端面的右部且横孔段贯通至第三圆凸管(29)。

3.根据权利要求1所述的一种三路一体式喷射管，其特征在于，所述第一管段(11)的左侧壁的上部和下部均至少有一个排气通孔(14)，所述第二管段(12)的左侧壁的上部和下部均至少有一个排气通孔(14)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩颖超，艾武超，范荣，李士昌，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：