【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及喷射管的，具体涉及一种硅扁管，以及一种硅扁管的制作方法。
技术介绍
1、在集成电路的制造过程中，其中一道关键步骤是在反应炉内进行各种化学处理。反应炉的炉管位置往往配备有喷射管，喷射管用于将各类反应气体均匀地送入反应炉炉管的各个不同高度的位置上。扁形喷射管相对于圆形喷射管具有更大的过流面积且能够更均匀地出气，因此获得了越来越广泛的应用。
2、然而，由于扁形喷射管的内孔的横截面为扁圆状，且内孔的孔深较大，导致加工较为困难。现有技术中的扁形喷射管大多是采用将管身一剖为二，即分别加工出两个u形的半管身，然后将两个半管身对接后用胶水进行粘接。这种采用拼接方式得到的扁形喷射管不仅加工繁琐，且良率低、周期长，而且用胶水进行粘接的方式导致喷射管的结构强度较低，容易因老化脱离而产生裂缝。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是解决现有技术中的拼接式的扁形喷射管加工繁琐、良率低、周期长，且容易因老化而产生裂缝的问题。
2、为解决上述问题，本专利技术提供一种硅扁管，包括转接管、喷射管、端盖、第一紧固件和第二紧固件，所述转接管包括用于配合安装至炉管的装配端和扁圆状的对接端，所述喷射管的横截面呈扁圆状，所述转接管的对接端套接或插接至所述喷射管的首端并实现转接管和喷射管相互连通，所述第一紧固件的两端分别可拆卸连接至喷射管的首端和转接管的对接端，所述端盖套接或插接至所述喷射管的尾端并实现对喷射管尾端的封闭，所述第二紧固件的两端分别可拆卸连接至喷射管的尾端和端盖，所述喷射管的侧
3、与现有技术相比，上述方案通过将喷射管设计为整体式的结构，而喷射管与转接管之间、喷射管与端盖之间均为套接或插接，从而保证了整体的密封性，且装配简单方便；同时，上述方案通过将第一紧固件连接于喷射管的首端和转接管的对接端之间，将第二紧固件连接于喷射管的尾端和端盖，从而实现了转接管、喷射管和端盖彼此间的稳定连接，避免了使用胶水粘贴的必要，消除了老化裂缝等不可控风险。
4、作为优选的，所述转接管、喷射管、端盖、第一紧固件和第二紧固件均由硅材料制成，从而能够与晶圆保持相似的性质。
5、作为优选的，所述第一紧固件为设有锥形的螺帽的螺栓；
6、所述转接管的对接端设有第一环形凸台，所述喷射管的首端设有第一环形嵌槽，所述第一环形凸台插接至所述第一环形嵌槽，所述第一环形凸台的侧壁设有第一螺孔，所述第一环形嵌槽的侧壁设有朝向第一螺孔设置的第一锥形沉头孔，所述第一紧固件的螺杆端连接至所述第一螺孔且螺帽配合抵接至所述第一锥形沉头孔；
7、或者，所述喷射管的首端设有第一环形凸台，所述转接管的对接端设有第一环形嵌槽，所述第一环形凸台插接至所述第一环形嵌槽，所述第一环形凸台的侧壁设有第一螺孔，所述第一环形嵌槽的侧壁设有朝向第一螺孔设置的第一锥形沉头孔，所述第一紧固件的螺杆端连接至所述第一螺孔且螺帽配合抵接至所述第一锥形沉头孔。第一环形凸台的设置能够使得转接管的对接端与喷射管的首端之间的连接更为稳固，且气密性更好，同时第一紧固件通过与第一锥形撑头孔和第一螺孔的配合连接即实现了喷射管与转接管之间的相对固定，又避免了对喷射管与转接管之间气密性的影响。
8、作为优选的，所述端盖朝向喷射管的一侧为封口端，所述封口端开设有与喷射管的尾端相连通的内腔室，所述端盖的侧壁设有连通内腔室和外界的第二通孔，从而喷射管内的反应气体不仅能从第一通孔排出至炉管，还能流入内腔室并经第二通孔排出至炉管，出气更为均匀。
9、作为优选的，所述第二紧固件为设有锥形的螺帽的螺栓；
10、所述喷射管的尾端设有第二环形凸台，所述端盖的内腔室设有第二环形嵌槽，所述第二环形凸台插接至所述第二环形嵌槽，所述第二环形凸台的侧壁设有第二螺孔，所述第二环形嵌槽的侧壁设有朝向第二螺孔设置的第二锥形沉头孔，所述第二紧固件的螺杆端连接至所述第二螺孔且螺帽配合抵接至所述第二锥形沉头孔；
11、或者，所述端盖的封口端设有第二环形凸台，所述喷射管的尾端设有第二环形嵌槽，所述第二环形凸台插接至所述第二环形嵌槽，所述第二环形凸台的侧壁设有第二螺孔，所述第二环形嵌槽的侧壁设有朝向第二螺孔设置的第二锥形沉头孔，所述第二紧固件的螺杆端连接至所述第二螺孔且螺帽配合抵接至所述第二锥形沉头孔。第二环形凸台的设置能够使得端盖的封口端与喷射管的尾端之间的连接更为稳固，且气密性更好，同时第二紧固件通过与第二锥形撑头孔和第二螺孔的配合连接即实现了喷射管与端盖之间的相对固定，又避免了对喷射管与端盖之间气密性的影响。
12、作为优选的，所述第一通孔位于喷射管的宽面与窄面的交界位置。
13、本专利技术还提供一种硅扁管的制作方法，应用于如上所述的硅扁管，其中喷射管的制作包括如下步骤：
14、s1、将原材料分割成方块状毛坯料，再对毛坯料进行平磨以得到长宽高与喷射管的设计尺寸相同的方块精料；
15、s2、将方块精料装夹到钻孔工作台上，钻孔工作台采用深孔钻头以磨削加工的方式对方块精料进行钻孔，钻孔方向沿方块精料的长边方向，直至得到沿长边方向具有贯通的粗孔的工件；
16、s3、将工件装夹到线切割工作台上，将切割线穿过工件的贯通孔，随后切割线运行以对工件进行线切割，使得粗孔被加工成横截面呈扁圆状的内孔；
17、s4、将工件再次装夹到钻机工作台上，钻机工作台采用超声波刀具，超声波刀具伸入粗孔并在超声波的作用下振动，以实现对内孔的精磨，直至内孔达到设计尺寸；
18、s5、以工件的内孔作为定位中心对工件进行装夹，随后在工件的外侧壁以磨削加工的方式加工出弧角，直至工件的横截面呈扁圆状，喷射管的外形加工完成。
19、上述方案先加工出方块精料，通过深孔钻头在方块精料上加工出贯通的粗孔，再通过线切割将粗孔加工为扁圆状的内孔，随后通过超声波刀具对内孔进行精磨，消除由于线切割的圆弧效应导致的内孔精度误差，使得内孔达到设计尺寸，最后再对工件的外侧壁加工弧角以得到外形加工完成的喷射管。上述方案实现了对喷射管内的扁圆状内孔的加工，从而使得喷射管能够形成一体式结构，避免了现有技术中拼接式喷射管的加工繁琐、良率低、周期长，且容易因老化而产生裂缝的问题。
20、作为优选的，上述喷射管的制作还包括步骤s6、对外形加工完成后的喷射管进行钻孔加工和端部加工；
21、所述钻孔加工步骤为，将喷射管通过斜面治具实现倾斜固定，随后由钻头对喷射管的侧壁进行多次打孔，使得喷射管的侧壁具有多个沿轴向分布的第一通孔；
22、所述端部加工步骤为，将喷射管固定后采用磨削加工的方式在喷射管的首端加工出第一环形凸台或第一环形嵌槽，在喷射管的尾端加工出第二环形凸台或第二环形嵌槽。
23、作为优选的，所述超声波刀具的横截面呈扁圆形，所述超声波刀具的刀头尺寸大于刀身尺寸，超声波刀具的刀头侧面设有环形的水槽，所述水槽的槽壁设有排水孔。
24、作为优选的，所述深本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硅扁管，其特征在于，包括转接管(2)、喷射管(1)、端盖(3)、第一紧固件(4)和第二紧固件(5)，所述转接管(2)包括用于配合安装至炉管的装配端(21)和扁圆状的对接端(22)，所述喷射管(1)的横截面及喷射管(1)内孔的横截面均呈扁圆状，所述转接管(2)的对接端(22)套接或插接至所述喷射管(1)的首端并实现转接管(2)和喷射管(1)相互连通，所述第一紧固件(4)的两端分别可拆卸连接至喷射管(1)的首端和转接管(2)的对接端(22)，所述端盖(3)套接或插接至所述喷射管(1)的尾端并实现对喷射管(1)尾端的封闭，所述第二紧固件(5)的两端分别可拆卸连接至喷射管(1)的尾端和端盖(3)，所述喷射管(1)的侧壁设有多个沿轴向分布的第一通孔(11)。
2.根据权利要求1所述的一种硅扁管，其特征在于，所述转接管(2)、喷射管(1)、端盖(3)、第一紧固件(4)和第二紧固件(5)均由硅材料制成。
3.根据权利要求1所述的一种硅扁管，其特征在于，所述第一紧固件(4)为设有锥形的螺帽的螺栓；
4.根据权利要求1所述的一种硅扁管，其特征在于，所述端
5.根据权利要求4所述的一种硅扁管，其特征在于，所述第二紧固件(5)为设有锥形的螺帽的螺栓；
6.根据权利要求1所述的一种硅扁管，其特征在于，所述第一通孔(11)位于喷射管(1)的宽面与窄面的交界位置。
7.一种硅扁管的制作方法，应用于如权利要求1-6任一所述的硅扁管，其特征在于，其中喷射管(1)的制作包括如下步骤：
8.据权利要求7所述的一种硅扁管的制作方法，其特征在于，还包括步骤S6、对外形加工完成后的喷射管(1)进行钻孔加工和端部加工；
9.根据权利要求7所述的一种硅扁管的制作方法，其特征在于，所述超声波刀具(100)的横截面呈扁圆形，所述超声波刀具(100)的刀头尺寸大于刀身尺寸，超声波刀具(100)的刀头侧面设有环形的水槽(101)，所述水槽(101)的槽壁设有排水孔(102)。
10.根据权利要求7所述的一种硅扁管的制作方法，其特征在于，所述深孔钻头(200)为圆柱状且深孔钻头(200)的侧壁设有沿轴向设置的排屑槽(210)，所述深孔钻头(200)的头部为金属金刚石粘结头，所述深孔钻头(200)的头部的中心设有出水孔(202)。
...【技术特征摘要】
1.一种硅扁管，其特征在于，包括转接管(2)、喷射管(1)、端盖(3)、第一紧固件(4)和第二紧固件(5)，所述转接管(2)包括用于配合安装至炉管的装配端(21)和扁圆状的对接端(22)，所述喷射管(1)的横截面及喷射管(1)内孔的横截面均呈扁圆状，所述转接管(2)的对接端(22)套接或插接至所述喷射管(1)的首端并实现转接管(2)和喷射管(1)相互连通，所述第一紧固件(4)的两端分别可拆卸连接至喷射管(1)的首端和转接管(2)的对接端(22)，所述端盖(3)套接或插接至所述喷射管(1)的尾端并实现对喷射管(1)尾端的封闭，所述第二紧固件(5)的两端分别可拆卸连接至喷射管(1)的尾端和端盖(3)，所述喷射管(1)的侧壁设有多个沿轴向分布的第一通孔(11)。
2.根据权利要求1所述的一种硅扁管，其特征在于，所述转接管(2)、喷射管(1)、端盖(3)、第一紧固件(4)和第二紧固件(5)均由硅材料制成。
3.根据权利要求1所述的一种硅扁管，其特征在于，所述第一紧固件(4)为设有锥形的螺帽的螺栓；
4.根据权利要求1所述的一种硅扁管，其特征在于，所述端盖(3)朝向喷射管(1)的一侧为封口端，所述封口端开设有与喷射管(1)的尾端相连通的内腔室，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩颖超，艾武超，范荣，李士昌，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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