一种具有扩张功能的真空吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有扩张功能的真空吸盘，属于真空吸盘技术领域，包括圆形吸附箱，所述圆形吸附箱的顶部设置有吸气管，所述圆形吸附箱的底部开设有多个内吸孔，所述圆形吸附箱的底部开设有多个中吸孔。本实用新型专利技术中，在圆形吸附箱的底面设置不同位置内吸孔、中吸孔以及外吸孔，同时利用外隔环和内隔环对圆形吸附箱内腔内吸孔、中吸孔、外吸孔上方的区域进行分隔，另外通过第一电动推杆和第二电动推杆带动内挡环块和外挡环块进行移动，利用内挡环块和外挡环块对中吸孔和外吸孔的上方进行封堵，从而调整吸盘下方的吸附区域，实现了对吸盘的吸力进行扩张的功能，以实现对不同尺寸的晶粒进行吸附转移的功能。尺寸的晶粒进行吸附转移的功能。尺寸的晶粒进行吸附转移的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种具有扩张功能的真空吸盘


[0001]本技术涉及真空吸盘
，更具体地说，涉及一种具有扩张功能的真空吸盘。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，需要将电路图移植到制造好的晶圆上，完成后的晶圆再送往下游的IC封测厂实施封装与测试，在封装前常需要将晶圆切割成一粒粒长方形的晶粒，然后把晶粒黏贴在PCB上，接着把晶粒的接角焊接到PCB上，其中，在移动晶粒时常需要利用转移机构，以使较小的晶粒转移至PCB上，一般对晶粒进行转移时需要使用到真空吸盘。
[0003]经检索，公告号为CN201455844U的技术专利公开了晶粒吸盘，包括吸盘体、气管和抽风机，吸盘体是一面具有多个小孔腔体，其它面具有连接气管的开口，吸盘体的开口连接气管，气管连接抽风机；抽风机抽气使吸盘体的腔中形成负压，晶粒就会附着在吸盘体具有小孔的面上，进而移动晶粒，使用方便。但上述专利存在以下不足：吸盘下方的多个小孔腔体固定，只能对一定大小尺寸的晶粒进行吸附转移。为此我们提出了一种具有扩张功能的真空吸盘。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种具有扩张功能的真空吸盘。
[0005]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案：
[0006]一种具有扩张功能的真空吸盘，包括圆形吸附箱，所述圆形吸附箱的顶部设置有吸气管，所述圆形吸附箱的底部开设有多个内吸孔，所述圆形吸附箱的底部开设有多个中吸孔，所述圆形吸附箱的底部开设有多个外吸孔，所述圆形吸附箱内腔的底部且位于内吸孔和中吸孔之间设置有内隔环，所述圆形吸附箱内腔的底部且位于中吸孔和外吸孔之间设置有外隔环，所述外隔环和内隔环之间设置有内吸气室，所述外隔环与圆形吸附箱内壁之间设置有外吸气室，所述圆形吸附箱的顶部设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆的输出端延伸至圆形吸附箱的内腔且固定连接有内挡环块，所述圆形吸附箱的顶部设置有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出端延伸至圆形吸附箱的内腔且固定连接有外挡环块。
[0007]作为本技术的一种优选方案，所述圆形吸附箱的底部设置有防滑垫，所述圆形吸附箱的底部固定安装有多个第一接触传感器，所述圆形吸附箱的底部固定安装有多个第二接触传感器，所述圆形吸附箱的底部固定安装有多个第三接触传感器，所述防滑垫上开设有多个避让孔，所述第一接触传感器、第二接触传感器以及第三接触传感器分别位于避让孔的内腔，所述防滑垫上开设有多个吸附孔，所述吸附孔的位置分别与内吸孔、中吸孔以及外吸孔相对应，所述防滑垫的底面分别与第一接触传感器、第二接触传感器以及第三接触传感器相平齐。
[0008]作为本技术的一种优选方案，所述外挡环块位于外吸气室内腔的正上方，所
述外挡环块的外形大小与外吸气室的内腔大小相适配。
[0009]作为本技术的一种优选方案，所述内挡环块位于内吸气室内腔的正上方，所述内挡环块的外形大小与内吸气室的内腔大小相适配。
[0010]作为本技术的一种优选方案，多个所述内吸孔以圆形吸附箱的圆心呈圆周排列，多个所述第一接触传感器以圆形吸附箱的圆心呈圆周排列，所述内吸孔和第一接触传感器位于同一个虚拟圆上。
[0011]作为本技术的一种优选方案，多个所述中吸孔以圆形吸附箱的圆心呈圆周排列，多个所述第二接触传感器以圆形吸附箱的圆心呈圆周排列，所述中吸孔和第二接触传感器位于同一个虚拟圆上。
[0012]作为本技术的一种优选方案，多个所述外吸孔以圆形吸附箱的圆心呈圆周排列，多个所述第三接触传感器以圆形吸附箱的圆心呈圆周排列，所述外吸孔和第三接触传感器位于同一个虚拟圆上。
[0013]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0014]本技术中，在圆形吸附箱的底面设置不同位置内吸孔、中吸孔以及外吸孔，同时利用外隔环和内隔环对圆形吸附箱内腔内吸孔、中吸孔、外吸孔上方的区域进行分隔，另外通过第一电动推杆和第二电动推杆带动内挡环块和外挡环块进行移动，利用内挡环块和外挡环块对中吸孔和外吸孔的上方进行封堵，从而调整吸盘下方的吸附区域，实现了对吸盘的吸力进行扩张的功能，从而实现对不同尺寸的晶粒进行吸附转移的功能。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术仰视的结构示意图；
[0017]图3为本技术圆形吸附箱的底部示意图；
[0018]图4为本技术圆形吸附箱的内部示意图；
[0019]图5为本技术内挡环块和外挡环块的结构示意图。
[0020]图中标号说明：
[0021]1、圆形吸附箱；2、吸气管；3、内吸孔；4、中吸孔；5、外吸孔；6、外隔环；7、内隔环；8、内吸气室；9、外吸气室；10、第一电动推杆；11、第二电动推杆；12、内挡环块；13、外挡环块；14、防滑垫；15、第一接触传感器；16、第二接触传感器；17、第三接触传感器；18、避让孔；19、吸附孔。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构
造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]实施例：
[0026]请参阅图1
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5，一种具有扩张功能的真空吸盘，包括圆形吸附箱1，所述圆形吸附箱1的顶部设置有吸气管2，所述圆形吸附箱1的底部开设有多个内吸孔3，所述圆形吸附箱1的底部开设有多个中吸孔4，所述圆形吸附箱1的底部开设有多个外吸孔5，所述圆形吸附箱1内腔的底部且位于内吸孔3和中吸孔4之间设置有内隔环7，所述圆形吸附箱1内腔的底部且位于中吸孔4和外吸孔5之间设置有外隔环6，所述外隔环6和内隔环7之间设置有内吸气室8，所述外隔环6与圆形吸附箱1内壁之间设置有外吸气室9，所述圆形吸附箱1的顶部设置有第一电动推杆10，所述第一电动推杆10的输出端延本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有扩张功能的真空吸盘，包括圆形吸附箱(1)，其特征在于：所述圆形吸附箱(1)的顶部设置有吸气管(2)，所述圆形吸附箱(1)的底部开设有多个内吸孔(3)，所述圆形吸附箱(1)的底部开设有多个中吸孔(4)，所述圆形吸附箱(1)的底部开设有多个外吸孔(5)，所述圆形吸附箱(1)内腔的底部且位于内吸孔(3)和中吸孔(4)之间设置有内隔环(7)，所述圆形吸附箱(1)内腔的底部且位于中吸孔(4)和外吸孔(5)之间设置有外隔环(6)，所述外隔环(6)和内隔环(7)之间设置有内吸气室(8)，所述外隔环(6)与圆形吸附箱(1)内壁之间设置有外吸气室(9)，所述圆形吸附箱(1)的顶部设置有第一电动推杆(10)，所述第一电动推杆(10)的输出端延伸至圆形吸附箱(1)的内腔且固定连接有内挡环块(12)，所述圆形吸附箱(1)的顶部设置有第二电动推杆(11)，所述第二电动推杆(11)的输出端延伸至圆形吸附箱(1)的内腔且固定连接有外挡环块(13)。2.根据权利要求1所述的一种具有扩张功能的真空吸盘，其特征在于：所述圆形吸附箱(1)的底部设置有防滑垫(14)，所述圆形吸附箱(1)的底部固定安装有多个第一接触传感器(15)，所述圆形吸附箱(1)的底部固定安装有多个第二接触传感器(16)，所述圆形吸附箱(1)的底部固定安装有多个第三接触传感器(17)，所述防滑垫(14)上开设有多个避让孔(18)，所述第一接触传感器(15)、第二接触传感器(16)以及第三接触传感器(17)分别位于避让孔(18)的内腔，所述防滑垫(14)上开设...

【专利技术属性】
技术研发人员：李丰，杨文龙，赵旭梅，
申请(专利权)人：沈阳芯嘉科技有限公司，
类型：新型
国别省市：