一种具有朝下扩片功能的扩片器制造技术

技术编号:39010579 阅读:7 留言:0更新日期:2023-10-07 10:56
本实用新型专利技术公开了一种具有朝下扩片功能的扩片器,属于半导体加工技术领域,包括支撑箱,所述支撑箱的顶部设置有两个支撑架,两个所述支撑架的外侧均固定安装有伺服电机。本实用新型专利技术中,通过伺服电机、支撑框、第二电动推杆、阶梯固定销、下固定孔和上固定孔的配合使用,当需要朝下扩片时,利用第二电动推杆带动阶梯固定销脱离下固定孔的内腔解除对支撑框的固定,启动伺服电机带动支撑框转动一百八十度,此时对支撑框上的扩片装置倒转方向,并启动第二电动推杆带动阶梯固定销伸进上固定孔的内腔对支撑框进行固定,实现了利用支撑框上的扩片装置对粘有晶片的翻晶膜进行向下扩片的功能。的功能。的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种具有朝下扩片功能的扩片器


[0001]本技术涉及半导体加工
,更具体地说,涉及一种具有朝下扩片功能的扩片器。

技术介绍

[0002]扩晶机也叫晶片扩张机或扩片机,被广泛应用于发光二极管、中小功率三极管、背光源、LED、集成电路和一些特殊半导体器件生产中的晶粒扩张工序,它是将排列紧密的LED晶片均匀分开,使之更好地植入焊接工件上,它利用LED薄膜的加热可塑性,将单张LED晶片均匀地向四周扩散,达到满意的晶片间隙后自动成型,膜片紧绷不变形。
[0003]经检索,公告号为CN207690769U的技术专利公开了一种扩片机,所述扩片机包括底板、固定装置、下压模、顶出块、液压缸、驱动装置和上压模,所述固定装置和液压缸设置于所述底板上,所述固定装置设置于所述液压缸的一侧,所述下压模的底部与所述液压缸相连,所述顶出块设置于所述下压模的顶部,且所述顶出块与所述下压模固定连接,所述上压模设置于所述下压模的正上方,所述驱动装置与所述上压模相连,所述上压模的底部设有用于容置所述顶出块的压槽;所述顶出块内设有相连的安装腔和出线孔,所述安装腔通过所述出线孔与外部连通,所述安装腔内设有蛇形结构的电加热丝;该专利具有结构简单,使用方便等特点。但上述专利存在以下不足:对翻晶膜进行扩片的方向单一,只能向上进行扩片。为此我们提出了一种具有朝下扩片功能的扩片器。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题,本技术的目的在于提供一种具有朝下扩片功能的扩片器。
[0005]为解决上述问题,本技术采用如下的技术方案
[0006]一种具有朝下扩片功能的扩片器,包括支撑箱,所述支撑箱的顶部设置有两个支撑架,两个所述支撑架的外侧均固定安装有伺服电机,两个所述伺服电机的输出轴延伸至支撑架的内侧且固定连接有支撑框,所述支撑箱上设置有固定机构,所述支撑框的顶部设置有切割机构,所述支撑箱的内腔设置有固定板,所述固定板上开设有下通孔,所述支撑架的内壁固定连接有两个安装架,两个所述安装架上均固定安装有第一电动推杆,所述第一电动推杆的输出端固定连接有上挤压板,所述上挤压板上开设有上通孔,所述支撑框的底部固定安装有第一电动液压杆,所述第一电动液压杆的输出端固定连接有顶块。
[0007]作为本技术的一种优选方案,所述支撑框的顶部开设有上固定孔,所述支撑框的底部开设有下固定孔,所述固定机构包括固定安装在支撑箱内腔顶部的第二电动推杆,所述第二电动推杆的输出端延伸至支撑箱的顶部且固定连接有阶梯固定销,所述阶梯固定销的端部延伸至下固定孔的内腔。
[0008]作为本技术的一种优选方案,所述切割机构包括固定安装在支撑框顶部的第二电动液压杆,所述第二电动液压杆的输出端延伸至支撑框的内腔且固定连接有升降盘,
所述升降盘的底面设置有切割环,所述切割环的内径与顶块的外径相等,所述升降盘、上通孔、下通孔以及顶块从上至下共轴排列。
[0009]作为本技术的一种优选方案,所述顶块的内部设置有电热盘。
[0010]作为本技术的一种优选方案,所述支撑箱的正面铰接有箱门,所述箱门的正面固定安装有控制面板。
[0011]作为本技术的一种优选方案,所述阶梯固定销的外径与下固定孔的内径、上固定孔的内径相等。
[0012]相比于现有技术,本技术的优点在于:
[0013]本技术中,通过伺服电机、支撑框、第二电动推杆、阶梯固定销、下固定孔和上固定孔的配合使用,当需要朝下扩片时,利用第二电动推杆带动阶梯固定销脱离下固定孔的内腔解除对支撑框的固定,启动伺服电机带动支撑框转动一百八十度,此时对支撑框上的扩片装置倒转方向,并启动第二电动推杆带动阶梯固定销伸进上固定孔的内腔对支撑框进行固定,实现了利用支撑框上的扩片装置对粘有晶片的翻晶膜进行向下扩片的功能。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构示意图;
[0015]图2为本技术支撑箱的内部示意图;
[0016]图3为本技术支撑框的剖视示意图;
[0017]图4为本技术图3中的A处放大示意图。
[0018]图中标号说明:
[0019]1、支撑箱;2、支撑架;3、伺服电机;4、支撑框;5、切割机构;6、固定机构;7、固定板;8、安装架;9、第一电动推杆;10、上挤压板;11、上通孔;12、下通孔;13、第一电动液压杆;14、顶块;15、下固定孔;16、上固定孔;17、第二电动液压杆;18、升降盘;19、切割环;20、第二电动推杆;21、阶梯固定销;22、箱门;23、控制面板;24、电热盘。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0022]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可
以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]实施例:
[0024]请参阅图1

4,一种具有朝下扩片功能的扩片器,包括支撑箱1,支撑箱1的顶部设置有两个支撑架2,两个支撑架2的外侧均固定安装有伺服电机3,两个伺服电机3的输出轴延伸至支撑架2的内侧且固定连接有支撑框4,支撑箱1上设置有固定机构6,支撑框4的顶部设置有切割机构5,支撑箱1的内腔设置有固定板7,固定板7上开设有下通孔12,支撑架2的内壁固定连接有两个安装架8,两个安装架8上均固定安装有第一电动推杆9,第一电动推杆9的输出端固定连接有上挤压板10,上挤压板10上开设有上通孔11,支撑框4的底部固定安装有第一电动液压杆13,第一电动液压杆13的输出端固定连接有顶块14。
[0025]具体的,请参阅图2和图3,支撑框4的顶部开设有上固定孔16,支撑框4的底部开设有下固定孔15,固定机构6包括固定安装在支撑箱1内腔顶部的第二电动推杆20,第二电动推杆20的输出端延伸至支撑箱1的顶部且固定连接有阶梯固定销21,阶梯固定销21的端部延伸至本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有朝下扩片功能的扩片器,包括支撑箱(1),其特征在于:所述支撑箱(1)的顶部设置有两个支撑架(2),两个所述支撑架(2)的外侧均固定安装有伺服电机(3),两个所述伺服电机(3)的输出轴延伸至支撑架(2)的内侧且固定连接有支撑框(4),所述支撑箱(1)上设置有固定机构(6),所述支撑框(4)的顶部设置有切割机构(5),所述支撑箱(1)的内腔设置有固定板(7),所述固定板(7)上开设有下通孔(12),所述支撑架(2)的内壁固定连接有两个安装架(8),两个所述安装架(8)上均固定安装有第一电动推杆(9),所述第一电动推杆(9)的输出端固定连接有上挤压板(10),所述上挤压板(10)上开设有上通孔(11),所述支撑框(4)的底部固定安装有第一电动液压杆(13),所述第一电动液压杆(13)的输出端固定连接有顶块(14)。2.根据权利要求1所述的一种具有朝下扩片功能的扩片器,其特征在于:所述支撑框(4)的顶部开设有上固定孔(16),所述支撑框(4)的底部开设有下固定孔(15),所述固定机构(6)包括固定安装在支撑箱(1)内腔顶部的第二电动推杆(20),所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员:李丰赵旭梅杨文龙
申请(专利权)人:沈阳芯嘉科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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