本发明专利技术提供了一种晶圆腔盖快拆装置，晶圆腔盖快拆装置安装于晶圆刻蚀清洗装置的腔体内，晶圆腔盖快拆装置包括：底座；腔盖，腔盖套设于底座；第一快拆部，第一快拆部设于底座；第二快拆部，第二快拆部设于腔盖，且第二快拆部和第一快拆部相对设置；升降组件，升降组件连接第一快拆部，且升降组件至少部分设于底座；其中，第一快拆部和第二快拆部的至少部分弹性配合，使腔盖固定于底座，进而使升降组件升降时带动第一快拆部和腔盖一起升降。本发明专利技术提高了腔盖的安装效率。了腔盖的安装效率。了腔盖的安装效率。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆腔盖快拆装置
[0001]本专利技术涉及晶圆加工
，具体而言，涉及一种晶圆腔盖快拆装置。
技术介绍
[0002]随着晶圆加工技术的逐渐成熟，对应晶圆加工设备的结构也在相应优化改进。而为了更加方便地生产加工晶圆，现有技术中设计了一种升降形式的腔盖组件来提高生产精度和效率，但现有技术中腔盖与升降组件之间的连接方式为固定连接，即通过螺栓固定死，进而实现联动，但目前这种方式在更换腔盖以及安装腔盖时极为不便，一个个拧开螺栓非常浪费时间，同时效率低下，影响后续晶圆加工的效率。
技术实现思路
[0003]因此，本专利技术实施例提供一种晶圆腔盖快拆装置，提高了腔盖的安装效率。
[0004]为解决上述问题，本专利技术提供一种晶圆腔盖快拆装置，晶圆腔盖快拆装置安装于晶圆刻蚀清洗装置的腔体内，晶圆腔盖快拆装置包括：底座；腔盖，腔盖套设于底座；第一快拆部，第一快拆部设于底座；第二快拆部，第二快拆部设于腔盖，且第二快拆部和第一快拆部相对设置；升降组件，升降组件连接第一快拆部，且升降组件至少部分设于底座；其中，第一快拆部和第二快拆部的至少部分弹性配合，使腔盖固定于底座，进而使升降组件升降时带动第一快拆部和腔盖一起升降。
[0005]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过设置第一快拆部在底座上，并设置第二快拆部设于腔盖，且和第一快拆部相对设置，并通过第一快拆部和第二快拆部至少部分弹性配合，使腔盖套设于底座上，通过弹性配合，使得腔盖与底座之间的固定不再需要螺栓等固定结构，操作简单快捷，安装方式更具有效率，同时拆卸也更加方便，不再需要拧螺栓，简化了操作，同时由于弹性配合后固定效果良好，进而也能使得升降组件带动腔盖一起升降，不会影响到正常的升降使用，提高了晶圆腔盖快拆装置的实用性，使得操作人员在安装和拆卸腔盖时都更加方便快捷，提高了工作效率，同时由于摒弃了螺栓结构，因此不会产生腐蚀，锈化等金属件会发生的损坏，使得快拆结构的使用寿命更长，进而使得不需要经常更换快拆装置，降低了成本。
[0006]在本专利技术的一个实例中，第一快拆部包括：第一固定件，第一固定件设有下沉槽，且第一固定件连接升降组件；第一卡合组件，第一卡合组件设于下沉槽，第一卡合组件和第二快拆部配合，使第二快拆部固定于第一卡合组件上。
[0007]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过设置第一固定件有下沉槽，并且在下沉槽中设置第一卡合组件，使得第一卡合组件被第一固定件容纳并且保护，同时不会向外凸起，影响到外部的零件，防止发生干涉，并且设置第一卡合组件和第二快拆部配合，使第二快拆部固定于第一卡合组件上，使得第一卡合组件和第二快拆部配合后，也能被保护，也不会影响到外部的零件，同时还能使得升降组件带动第二快拆部升降，进而带动腔盖进行升降。
[0008]在本专利技术的一个实例中，第一卡合组件还包括：第一支撑件，第一支撑件连接下沉槽底部；弹性部，弹性部设于第一支撑件，且弹性部设有卡合空间；其中，第二快拆部卡入卡合空间，使第二快拆部固定于弹性部。
[0009]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过设置第一支撑件连接在下沉槽的底部，并且设置弹性部在第一支撑件上，使得弹性部被保护在下沉槽中，同时设置弹性部有卡合空间，通过将第二快拆部卡入卡合空间进行固定，使得通过简单的卡合方式，快捷地安装第二快拆部，进而使得腔盖的安装更简单，更方便，不需要繁琐的螺栓固定流程，节省了时间。
[0010]在本专利技术的一个实例中，弹性部还包括：弹性件，弹性件设有相对设置的第一弹性条和第二弹性条，且第一弹性条和第二弹性条的端部相对设有两个第一配合部；其中，第二快拆部卡入两个第一配合部之间，使第二快拆部卡设于两个第一配合部之间。
[0011]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过设置弹性件有相对设置的第一弹性条和第二弹性条，通过且在第一弹性条和第二弹性条的端部相对设有两个第一配合部，通过在第二快拆部卡入到两个第一配合部之间，并通过两个弹性条的弹性形变，使得第二快拆部卡入固定，通过卡合的方式使得不需要借助螺栓进行固定腔盖，同时卡入的操作简单快捷，在安装和拆卸腔盖时都能节省大量的时间，同时卡合结构的成本更低，不会用到金属件，进而也不会发生腐蚀等损坏。
[0012]在本专利技术的一个实例中，第二快拆部包括：第二支撑件，第二支撑件连接腔盖；第一卡接件，第一卡接件朝第一快拆部凸起设置，第一卡接件卡入两个第一配合部之间，使第一卡接件与两个第一配合部之间相对固定。
[0013]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过设置第二支撑件连接腔盖，并且设置第一卡接件朝第一快拆部凸起，使得第一卡接件能卡入到两个第一配合部之间，通过凸起设置后，使得卡入更加方便，同时也更加顺畅，同时也能更好对准两个第一配合部，使得卡合过程更加简单，更具有效率，进而使得腔盖的固定更加快捷。
[0014]在本专利技术的一个实例中，第一卡接件为箭头型，且箭头朝向第一快拆部。
[0015]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过设置第一卡接件为箭头型，使得通过箭头的导向结构使得第一卡接件卡入到两个第一配合部之间时更加顺畅，同时通过箭头尾部的倒钩结构，使得卡入到两个第一配合部之间后不会自动脱离，能起到固定限位的作用，保障腔盖在升降过程中不会脱离底座。
[0016]在本专利技术的一个实例中，底座还包括：第一安装位，第一安装位用于安装第一快拆部；滑动槽，滑动槽靠近第一安装位设置，滑动槽内设有部分升降组件。
[0017]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过设置第一安装位来安装第一快拆部，使得第一快拆部的安装更加方便快捷，通过第一安装位能快速定位安装，提高安装效率，同时通过设置滑动槽靠近第一安装位设置，并将部分升降组件安装到滑动槽中，使得部分升降组件能被容纳到底座中，不会暴露在外部，不仅提高了升降组件升降的顺畅程度，同时也使得升降组件的使用寿命得到延长。
[0018]在本专利技术的一个实例中，第一安装位还包括：两个第一限位槽，两个第一限位槽相对设置，且两个第一限位槽之间用于安装至少部分第二快拆部。
[0019]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过设置两个第一限位槽
来安装至少部分第二快拆部，使得第二快拆部在安装后被两个相对设置的第一限位槽进行限制，不会在第一安装位中滑动，使得在后续固定腔盖时更加方便和稳定，进而使得腔盖的固定效率更高。
[0020]在本专利技术的一个实例中，晶圆腔盖快拆装置还包括：第一快拆部的两侧相对设有第二限位槽；底座上设有第二凸起部，第二凸起部靠近第二限位槽设置，且第二凸起部与第二限位槽配合，使第一快拆部固定。
[0021]与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：通过设置第一快拆部的两侧设有第二限位槽，并且底座上设有第二凸起部，通过第二凸起部和第二限位槽的配合，使得第一快拆部固定，不会在安装后发送滑动和晃动，导致后续腔盖在安装时无法对准进行固定，进而影响本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆腔盖快拆装置，所述晶圆腔盖快拆装置安装于晶圆刻蚀清洗装置的腔体内，其特征在于，所述晶圆腔盖快拆装置包括：底座(110)；腔盖(120)，所述腔盖(120)套设于所述底座(110)；第一快拆部(130)，所述第一快拆部(130)设于所述底座(110)；第二快拆部(140)，所述第二快拆部(140)设于所述腔盖(120)，且所述第二快拆部(140)和所述第一快拆部(130)相对设置；升降组件(150)，所述升降组件(150)连接所述第一快拆部(130)，且所述升降组件(150)至少部分设于所述底座(110)；其中，所述第一快拆部(130)和所述第二快拆部(140)的至少部分弹性配合，使所述腔盖(120)固定于所述底座(110)，进而使所述升降组件(150)升降时带动所述第一快拆部(130)和所述腔盖(120)一起升降。2.根据权利要求1所述的晶圆腔盖快拆装置，其特征在于，所述第一快拆部(130)包括：第一固定件(131)，所述第一固定件(131)设有下沉槽(132)，且所述第一固定件(131)连接所述升降组件(150)；第一卡合组件(133)，所述第一卡合组件(133)设于所述下沉槽(132)，所述第一卡合组件(133)和所述第二快拆部(140)配合，使所述第二快拆部(140)固定于所述第一卡合组件(133)上。3.根据权利要求2所述的晶圆腔盖快拆装置，其特征在于，所述第一卡合组件(133)还包括：第一支撑件(134)，所述第一支撑件(134)连接所述下沉槽(132)底部；弹性部(135)，所述弹性部(135)设于所述第一支撑件(134)，且所述弹性部(135)设有卡合空间；其中，所述第二快拆部(140)卡入所述卡合空间，使所述第二快拆部(140)固定于所述弹性部(135)。4.根据权利要求3所述的晶圆腔盖快拆装置，其特征在于，所述弹性部(135)还包括：弹性件，所述弹性件设有相对设置的第一弹性条(135a)和第二弹性条(135b)，且所述第一弹性条(135a)和所述第二弹性条(135b)的端部相对设有两个第一配合部(135c)；其中，所述第二快拆部(140)卡入所述两个第一配合部(135c)之间，使所述第二快拆部(...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈云清，张挺，王伟，吴建靖，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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