本实用新型专利技术涉及机械手臂运动精度调节技术领域，具体为一种机械手臂重复定点运动精度数据采集装置本实用新型专利技术在原有的CCD测试平台基础之上，加入了模拟实际生产中整个机械手臂在运动滑轨上的动作、机械手臂末端取/放晶圆到不同位置的动作，从而使机械手臂在CCD测试过程中的动作基本符合实际生产中的运动，由此得出的运动精度测试结果更加贴近实际生产流程的要求，以期使机械手臂达到最佳的运动精度来满足实际生产使用的需求。来满足实际生产使用的需求。来满足实际生产使用的需求。
【技术实现步骤摘要】
一种机械手臂重复定点运动精度数据采集装置
[0001]本技术涉及机械手臂运动精度调节
，具体为一种机械手臂重复定点运动精度数据采集装置。
技术介绍
[0002]由于机械手臂的运动精度无法用肉眼直接观察得到；传统的CCD测试平台是将机械手臂筒身固定，而后使机械手臂末端重复运动到某几个定点，将其每次运动到其中一个定点的坐标数据采集后进行分析比较，从而得出机械手臂运动精度的优劣结论。这种测试方法无法模拟出实际生产中整个机械手臂的运动轨迹，因而其测试结果的准确性有待进一步改善。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种机械手臂重复定点运动精度数据采集装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种机械手臂重复定点运动精度数据采集装置，包括前段支架和后段支架，所述前段支架和后段支架之间前后水平安装在水平面上，所述前段支架内部依次安装有手臂控制器、电源控制器和卡盒升降控制终端，所述前段支架顶部安装有四个晶圆卡盒升降装置，四个所述晶圆卡盒升降装置顶部安装有晶圆卡盒托盘，所述后段支架顶部两端安装有晶圆放置支架，所述晶圆放置支架顶部安装有晶圆放置平台，所述后段支架背面中间设置有安装支架，所述安装支架表面安装有坐标数值显示器和光耦传感器，所述后段支架正面安装有机械手臂运动滑轨，所述机械手臂运动滑轨表面安装有固定架，所述固定架内安装有机械手臂筒身，所述机械手臂筒身顶部输出端安装有机械手臂下臂，所述机械手臂下臂顶部安装有机械手臂上臂，所述机械手臂上臂与机械手臂下臂之间连接有机械手臂末端。
[0005]优选的，所述前段支架和后段支架之间相距400mm。
[0006]优选的，所述机械手臂运动滑轨输出端通过滑轨皮带安装有滑轨控制马达。
[0007]优选的，所述坐标数值显示器设置有三个，且坐标数值显示器上下堆叠放置，所述坐标数值显示器显示光耦传感器检测的数据。
[0008]优选的，所述光耦传感器设置有三个，且光耦传感器通过光耦传感器支架与安装支架相连接，三个所述光耦传感器分别记录机械手臂末端在垂直方向上的运动及偏移量、机械手臂末端在伸缩方向上的运动及偏移量和机械手臂末端在旋转方向上的运动及偏移量。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术在原有的CCD测试平台基础之上，加入了模拟实际生产中整个机械手臂在运动滑轨上的动作、机械手臂末端取/放晶圆到不同位置的动作，从而使机械手臂在CCD测试过程中的动作基本符合实际生产中的运动，由此得出的运动精度测试结果更加贴近实际生产流程的要求，以期使机械手臂达到最
佳的运动精度来满足实际生产使用的需求。
附图说明
[0010]图1为本技术的整体结构示意图；
[0011]图2为本技术的机械手臂筒身结构示意图。
[0012]图中：1、前段支架；2、手臂控制器；3、电源控制器；4、卡盒升降控制终端；5、晶圆卡盒升降装置；6、晶圆卡盒托盘；7、后段支架；8、滑轨控制马达；9、滑轨皮带；10、机械手臂运动滑轨；11、晶圆放置支架；12、晶圆放置平台；13、平台底座；14、安装支架；15、光耦传感器支架；16、坐标数值显示器；17、光耦传感器；18、机械手臂筒身；19、机械手臂下臂；20、机械手臂上臂；21、机械手臂末端；22、固定架。
具体实施方式
[0013]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0014]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0015]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0016]请参阅图1
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2，本技术提供一种技术方案：一种机械手臂重复定点运动精度数据采集装置，包括前段支架1和后段支架7，前段支架1和后段支架7之间前后水平安装在水平面上，前段支架1内部依次安装有手臂控制器2、电源控制器5和卡盒升降控制终端4，前段支架1顶部安装有四个晶圆卡盒升降装置5，四个晶圆卡盒升降装置5顶部安装有晶圆卡盒托盘6，后段支架2顶部两端安装有晶圆放置支架11，晶圆放置支架11顶部安装有晶圆放置平台12，后段支架2背面中间设置有安装支架14，安装支架14表面安装有坐标数值显示器16和光耦传感器17，后段支架2正面安装有机械手臂运动滑轨10，机械手臂运动滑轨10表面安装有固定架22，固定架22内安装有机械手臂筒身18，机械手臂筒身18顶部输出端安装有机械手臂下臂19，机械手臂下臂19顶部安装有机械手臂上臂20，机械手臂上臂20与机械手臂下臂19之间连接有机械手臂末端21。
[0017]进一步的，前段支架1和后段支架7之间相距400mm。
[0018]进一步的，机械手臂运动滑轨10输出端通过滑轨皮带9安装有滑轨控制马达8。
[0019]进一步的，坐标数值显示器16设置有三个，且坐标数值显示器16上下堆叠放置，坐标数值显示器16显示光耦传感器17检测的数据。
[0020]进一步的，光耦传感器17设置有三个，且光耦传感器17通过光耦传感器支架15与安装支架14相连接，三个光耦传感器17分别记录机械手臂末端21在垂直方向上的运动及偏移量、机械手臂末端21在伸缩方向上的运动及偏移量和机械手臂末端21在旋转方向上的运动及偏移量。
[0021]工作原理：
[0022]步骤1、机械手臂在运动滑轨上移动到程序指定的晶圆堆放卡盒所在的晶圆卡盒升降装置5的位置；
[0023]步骤2、晶圆堆放卡盒移动到程序指定的高度，机械手臂末端21伸出到达程序指定的位置，机械手臂连接的真空泵开启，将晶圆吸附住；
[0024]步骤3、机械手臂末端21缩回，机械手臂在运动滑轨上移动到程序指定的晶圆放置平台12所在的位置；
[0025]步骤4、机械手臂末端21伸出到达程序指定的位置，机械手臂连接的真空泵关闭，将晶圆放置在晶圆放置平台12上；
[0026]步骤5、机械手臂末端21缩回，机械手臂在机械手臂运动滑轨10上移动到程序指定的定点位置；
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种机械手臂重复定点运动精度数据采集装置，包括前段支架(1)和后段支架(7)，其特征在于：所述前段支架(1)和后段支架(7)之间前后水平安装在水平面上，所述前段支架(1)内部依次安装有手臂控制器(2)、电源控制器和卡盒升降控制终端(4)，所述前段支架(1)顶部安装有四个晶圆卡盒升降装置(5)，四个所述晶圆卡盒升降装置(5)顶部安装有晶圆卡盒托盘(6)，所述后段支架顶部两端安装有晶圆放置支架(11)，所述晶圆放置支架(11)顶部安装有晶圆放置平台(12)，所述后段支架背面中间设置有安装支架(14)，所述安装支架(14)表面安装有坐标数值显示器(16)和光耦传感器(17)，所述后段支架正面安装有机械手臂运动滑轨(10)，所述机械手臂运动滑轨(10)表面安装有固定架(22)，所述固定架(22)内安装有机械手臂筒身(18)，所述机械手臂筒身(18)顶部输出端安装有机械手臂下臂(19)，所述机械手臂下臂(19)顶部安装有机械手臂上臂(20)，所述机械手臂上臂(20)与机械手臂下臂(19)之间连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴中，周全，邱正利，毛世成，
申请(专利权)人：亦亨电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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