一种用于半导体机台上下货腔体制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造行业机台技术领域，具体为一种用于半导体机台上下货腔体，本实用新型专利技术是在安装架机台两个上下货腔体其中一个真空区域的真空管路交汇点之前两侧各安装一个口径与管路相同的隔绝阀，通过把交汇口前副真空管切断并切短至合适距离后安装接头套管式隔绝阀，从而实现当其中一个真空腔体漏气时，可以关闭隔绝阀更高效的判断漏气腔体并且另一个真空腔体不受影响，从而保证整个系统的正常工作；而且当腔体维护时关闭隔绝阀可以防止真空泵被污染，从而保护真空泵的使用寿命

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体机台上下货腔体


[0001]本技术涉及半导体制造行业机台
，具体为一种用于半导体机台上下货腔体
。

技术介绍

[0002]目前机台两个相同原理但独立工作的腔体其中一个真空区域由同一管路连接后被同一个真空泵抽至真空环境；存在诸多缺点包括：
[0003]1.
交叉污染：当两个真空腔体的用途不同，例如一个腔体在保养维护，另一个用于工业生产，那么它们之间可能会发生交叉污染，从而影响产品质量
。
[0004]2.
需要额外的控制：由于两个真空腔体共用一个管路，需要额外的控制来确保它们之间的真空度和压力稳定性，否则会影响生产的准确性和稳定性
。
[0005]3.
故障风险增加：如果一个真空腔体出现故障，会影响另一个真空腔体的正常运行，从而增加故障风险，导致整个机台无法正常运行生产，降低产能
。
[0006]4.
维护困难：由于两个真空腔体共用一个管路，当其中一侧真空密封圈损坏导致管路压力过高，无法快速准确判断需要维护的腔体，需要更多的时间和精力，浪费大量时间，工作效率过低
。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种用于半导体机台上下货腔体，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于半导体机台上下货腔体，包括两个对称设置的安装架
、
一个主真空管和两个副真空管，两个所述安装架侧表面设置有安装台，所述安装台顶部一侧安装有驱动电机，所述安装台顶部另一侧安装有安装轴承座，所述安装轴承座底端于安装台下方连接有螺纹杆，所述安装台底部一侧安装有连接滑杆，所述连接滑杆表面套接有限位滑套，所述安装架顶部一侧设置有安装柱，所述安装柱表面固定安装有真空盘，所述真空盘表面开设有真空连接口，两个所述真空连接口连接有副真空管，两根所述副真空管之间连接有主真空管
。
[0009]优选的，所述安装轴承座表面安装有传动轮，所述驱动电机输出轴通过传动带与传动轮相传动连接
。
[0010]优选的，所述限位滑套侧面设置有螺纹套，所述螺纹套与螺纹杆之间相螺纹连接
。
[0011]优选的，两根所述副真空管表面安装有隔绝阀，所述隔绝阀与真空连接口之间距离为
5cm。
[0012]优选的，所述隔绝阀采用四分之一口径的接头套管式隔绝阀
。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术是在安装架机台两个上下货腔体其中一个真空区域的真空管路交汇点之前两侧各安装一个口径与管路相同的隔绝阀，通过把交汇口前副真空管切断并切短至合适距离后安装接头套管式隔绝阀，从而实
现当其中一个真空腔体漏气时，可以关闭隔绝阀更高效的判断漏气腔体并且另一个真空腔体不受影响，从而保证整个系统的正常工作；而且当腔体维护时关闭隔绝阀可以防止真空泵被污染，从而保护真空泵的使用寿命
。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构示意图
。
[0015]图中：
1、
安装架；
2、
真空盘；
3、
安装柱；
4、
主真空管；
5、
副真空管；
6、
隔绝阀；
7、
安装台；
8、
驱动电机；
9、
安装轴承座；
10、
传动轮；
11、
螺纹套；
12、
连接滑杆；
13、
螺纹杆；
14、
限位滑套；
15、
真空连接口
。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0017]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
[0018]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通
。
对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义
。
[0019]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种用于半导体机台上下货腔体，包括两个对称设置的安装架
1、
一个主真空管4和两个副真空管5，两个安装架1侧表面设置有安装台7，安装台7顶部一侧安装有驱动电机8，安装台7顶部另一侧安装有安装轴承座9，安装轴承座9底端于安装台7下方连接有螺纹杆
13
，安装台7底部一侧安装有连接滑杆
12
，连接滑杆
12
表面套接有限位滑套
14
，安装架1顶部一侧设置有安装柱3，安装柱3表面固定安装有真空盘2，真空盘2表面开设有真空连接口
15
，两个真空连接口
15
连接有副真空管5，两根副真空管5之间连接有主真空管
4。
[0020]进一步的，安装轴承座9表面安装有传动轮
10
，驱动电机8输出轴通过传动带与传动轮
10
相传动连接
。
[0021]进一步的，限位滑套
14
侧面设置有螺纹套
11
，螺纹套
11
与螺纹杆
13
之间相螺纹连接
。
[0022]进一步的，两根副真空管5表面安装有隔绝阀6，隔绝阀6与真空连接口
15
之间距离为
5cm。
[0023]进一步的，隔绝阀6采用四分之一口径的接头套管式隔绝阀
。
[0024]本技术是在安装架1机台两个上下货腔体其中一个真空区域的真空管路交汇
点之前两侧各安装一个口径与管路相同的隔绝阀6，通过把交汇口前副真空管5切断并切短至合适距离后安装接头套管式隔绝阀，从而实现当其中一个真空腔体漏气时，可以关闭隔绝阀6更高效的判断漏气腔体并且另一个真空腔体不受影响，从而保证整个系统的正常工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于半导体机台上下货腔体，包括两个对称设置的安装架
(1)、
一个主真空管
(4)
和两个副真空管
(5)
，其特征在于：两个所述安装架
(1)
侧表面设置有安装台
(7)
，所述安装台
(7)
顶部一侧安装有驱动电机
(8)
，所述安装台
(7)
顶部另一侧安装有安装轴承座
(9)
，所述安装轴承座
(9)
底端于安装台
(7)
下方连接有螺纹杆
(13)
，所述安装台
(7)
底部一侧安装有连接滑杆
(12)
，所述连接滑杆
(12)
表面套接有限位滑套
(14)
，所述安装架
(1)
顶部一侧设置有安装柱
(3)
，所述安装柱
(3)
表面固定安装有真空盘
(2)
，所述真空盘
(2)
表面开设有真空连接口
(15)
，两个所述真空连接口
(15)
连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志翔，陈维国，贾鹏宽，苏雷，凌剑，
申请(专利权)人：亦亨电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：