【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及等离子刻蚀机领域，具体为一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机。
技术介绍
1、目前在专利公告号“cn219286339u”中公布了一种半导体加工等离子刻蚀机，该装置通过在刻蚀机本体底部设置固定架、第一支撑杆、第二支撑杆、安装板、支撑脚、转轴、固定筒和调节杆组成的支撑机构，使该半导体加工等离子刻蚀机可平稳放置于凹凸不平的地面上，使用时转动调节杆便可对该装置进行调节，但该装置仅仅在底部设置固定架，使得机体位于水平状态，无法保证刻蚀机内部的放置物料的放置盘也处于水平状态；
2、由上述对比文件中提出的装置可知，虽然对刻蚀机进行了调平处理，但经过具体使用以及对比现有成熟技术后，仍然存有以下的缺陷：
3、1、等离子刻蚀机采取人工对物料放置盘下的螺丝和螺母进行调节会产生细微偏差，导致等离子体在刻蚀过程中无法均匀地接触到待刻蚀的材料表面，使得刻蚀深度不均匀，表面粗糙度增加，甚至出现凹凸不平的现象，同时，调平不良可能导致等离子体无法充分接触到待刻蚀的材料表面，刻蚀残留物会残留在材料表面，这些残留物可能引起器件内部的短路、漏电等问题，影响器件的正常运行。
4、2、等离子刻蚀机通常采用磁力吸盘的方式来固定物料，但存在部分缺点，比如磁力吸盘的吸附力受到磁力和接触面积的限制，因此可能在刻蚀过程中出现工件松动或偏移的情况，这可能会导致刻蚀不均匀或不准确，而且由于磁力吸盘需要特殊的材料和结构设计，以及附加的磁场控制系统，导致相比其他固定方式，磁力吸盘的成本较高；
5、3、等离子刻蚀机产生的杂质
6、因此，本专利技术提出一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，以弥补和改善现有技术的欠缺之处。
技术实现思路
1、针对现有技术所存在的缺陷，本专利技术提供了一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，能够有效地解决等离子刻蚀机调平技术问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：
3、本专利技术公开了一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，包括刻蚀机箱体，所述刻蚀机箱体的内壁固定连接有支撑板一，所述支撑板一的上表面开设有转槽，所述刻蚀机箱体的内壁固定连接有支撑板二，所述支撑板二的上表面固定连接有支撑箱体一，所述支撑板二的上表面固定连接有支撑箱体二，所述支撑箱体二的上表面固定连接有支撑柱，所述刻蚀机箱体的前侧开设有观察窗，其特征在于，所述支撑板一位于支撑板二的下方，所述支撑箱体一在支撑板二的上表面呈三角排列，所述支撑箱体二位于后侧的支撑箱体一左右两侧，所述观察窗为透明抗压材质；
4、所述支撑板一的上表面设置有通过旋转板的转动来对柜门进行推拉，实现柜门启闭和物料箱体表面的杂质清理的开合机构，所述开合机构的上方设置有通过滑槽块一和移动块的上下移动，带动水平板的旋转，实现水平度调节的调平机构，所述调平机构的上方设置有通过限制板一和限制板二的上下移动，带动夹具发生旋转，实现对物料进行紧固和放松的夹紧机构。
5、作为优选的，所述开合机构包括转动连接于支撑板一上表面的旋转板，所述旋转板的上表面固定连接有空心螺纹筒，所述旋转板的上表面中心位置固定连接有竖直杆，所述旋转板的上表面靠后的一侧转动连接有长连条一，所述旋转板的上表面靠前的一侧转动连接有长连条二，所述长连条二远离旋转板的一端固定连接有旋转体，所述旋转体的上表面固定连接有连接条，所述连接条远离旋转体的一端固定连接有连接块，所述连接块的前侧固定连接有柜门，所述柜门的后侧活动连接有活塞筒，所述活塞筒的上表面固定连接有转动杆，所述转动杆的上表面转动连接有固定横柱。
6、作为优选的，所述竖直杆位于空心螺纹筒的内部，所述旋转体的底面转动连接于支撑板一的上表面，两个所述柜门接触的一面带有密封条，所述活塞筒的活塞与柜门呈固定连接，所述活塞筒的内部设置有防尘网，其用于收集吸附的杂质。
7、作为优选的，所述调平机构包括固定连接于支撑箱体一上表面的轨道一，所述支撑箱体一内的伺服电机驱动轴固定连接有长螺纹杆，所述轨道一的内侧滑动连接有滑槽块一，所述长螺纹杆的外表面滑动连接有移动块，左右两侧所述滑槽块一相对的一侧固定连接有固定块一，左右两侧所述固定块一的内侧固定连接有固定块二，所述固定块二远离滑槽块一的一侧固定连接有活动圆管，所述活动圆管的外表面活动连接有滑动圆套，所述活动圆管远离固定块二的一端固定连接有限制块，所述滑动圆套的上表面固定连接有固定块三，所述固定块三的上表面固定连接有滑槽块二，所述滑槽块二的上表面滑动连接有轨道二，所述轨道二的上表面固定连接有底板，所述底板的上表面固定连接有水平板，所述刻蚀机箱体的内壁上表面固定连接有激光探头，激光探头正对于水平板的四个角。
8、作为优选的，所述滑槽块一可在轨道一的内侧上下移动，所述移动块可在长螺纹杆的外表面上下移动，所述滑槽块一和移动块呈固定连接，且移动块和滑槽块一同步移动，所述滑动圆套可在活动圆管的外表面进行前后移动以及旋转，所述滑槽块二可在轨道二的底部进行滑动，所述底板在水平板的底部呈三角排列。
9、作为优选的，所述夹紧机构包括固定连接于水平板上表面的物料箱体，所述物料箱体的内壁开设有槽体，所述槽体的底部固定连接有空心螺纹杆，所述空心螺纹杆的上表面固定连接有限制板一，所述限制板一的上表面固定连接有限制板二，两个所述限制板一之间活动连接有夹具，所述夹具的前后两侧分别固定连接有旋转横柱。
10、作为优选的，所述物料箱体的内部设置有倾角传感器，所述空心螺纹杆内部的通道适配竖直杆，所述限制板二和夹具可在槽体的内部上下移动，所述夹具的数量为三个且呈圆形均匀分布在物料箱体的内部，所述旋转横柱远离夹具的一侧转动连接于物料箱体的内壁，且旋转横柱带动夹具同步转动。
11、采用本专利技术提供的技术方案，与已知的公有技术相比，具有如下有益效果：
12、1.本专利技术利用滑槽块一、移动块和滑动圆套之间的相互作用，实现了等离子刻蚀机的水平度自动调节，相比于现有技术中，工作人员将气泡水平仪放置在刻蚀机的放置盘上，通过人工手动放置盘四角的调整螺丝和调整支撑结构，从而对刻蚀机的放置盘进行调整和修正，本装置中的调平机构，通过激光探头对水平板发射激光，来测量每个激光探头和水平板之间的距离，从而使得位于支撑箱体一内的伺服电机转动，导致滑槽块一和移动块发生上升和下降，使得刻蚀机保持水平状态，避免因刻蚀机不平衡，导致某些组件承受过多的力量，使得其加速磨损或损坏，其次保持刻蚀机水平状态可以减少表面不均匀性，提高刻蚀质量，延长设备使用寿命，减少外界因素对刻蚀过程的影响，提高运行过程中的稳定性。
13、2.本专利技术利用限制板一和夹具之间的相互作本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，包括刻蚀机箱体(1)，所述刻蚀机箱体(1)的内壁固定连接有支撑板一(11)，所述支撑板一(11)的上表面开设有转槽(12)，所述刻蚀机箱体(1)的内壁固定连接有支撑板二(13)，所述支撑板二(13)的上表面固定连接有支撑箱体一(14)，所述支撑板二(13)的上表面固定连接有支撑箱体二(15)，所述支撑箱体二(15)的上表面固定连接有支撑柱(16)，所述刻蚀机箱体(1)的前侧开设有观察窗(17)，其特征在于，所述支撑板一(11)位于支撑板二(13)的下方，所述支撑箱体一(14)在支撑板二(13)的上表面呈三角排列，所述支撑箱体二(15)位于后侧的支撑箱体一(14)左右两侧，所述观察窗(17)为透明抗压材质；
2.根据权利要求1所述的一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，其特征在于，所述开合机构(2)包括转动连接于支撑板一(11)上表面的旋转板(21)，所述旋转板(21)的上表面固定连接有空心螺纹筒(22)，所述旋转板(21)的上表面中心位置固定连接有竖直杆(23)，所述旋转板(21)的上表面靠后的一侧转动连接有长连条一(
3.根据权利要求2所述的一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，其特征在于，所述竖直杆(23)位于空心螺纹筒(22)的内部，所述旋转体(26)的底面转动连接于支撑板一(11)的上表面，两个所述柜门(29)接触的一面带有密封条，所述活塞筒(210)的活塞与柜门(29)呈固定连接，所述活塞筒(210)的内部设置有防尘网。
4.根据权利要求1所述的一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，其特征在于，所述调平机构(3)包括固定连接于支撑箱体一(14)上表面的轨道一(31)，所述支撑箱体一(14)内的伺服电机驱动轴固定连接有长螺纹杆(32)，所述轨道一(31)的内侧滑动连接有滑槽块一(33)，所述长螺纹杆(32)的外表面滑动连接有移动块(34)，左右两侧所述滑槽块一(33)相对的一侧固定连接有固定块一(35)，左右两侧所述固定块一(35)的内侧固定连接有固定块二(36)，所述固定块二(36)远离滑槽块一(33)的一侧固定连接有活动圆管(37)，所述活动圆管(37)的外表面活动连接有滑动圆套(38)，所述活动圆管(37)远离固定块二(36)的一端固定连接有限制块(39)，所述滑动圆套(38)的上表面固定连接有固定块三(310)，所述固定块三(310)的上表面固定连接有滑槽块二(311)，所述滑槽块二(311)的上表面滑动连接有轨道二(312)，所述轨道二(312)的上表面固定连接有底板(313)，所述底板(313)的上表面固定连接有水平板(314)，所述刻蚀机箱体(1)的内壁上表面固定连接有激光探头(315)。
5.根据权利要求4所述的一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，其特征在于，所述滑槽块一(33)可在轨道一(31)的内侧上下移动，所述移动块(34)可在长螺纹杆(32)的外表面上下移动，所述滑槽块一(33)和移动块(34)呈固定连接，且移动块(34)和滑槽块一(33)同步移动，所述滑动圆套(38)可在活动圆管(37)的外表面进行前后移动以及旋转，所述滑槽块二(311)可在轨道二(312)的底部进行滑动，所述底板(313)在水平板(314)的底部呈三角排列。
6.根据权利要求1所述的一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，其特征在于，所述夹紧机构(4)包括固定连接于水平板(314)上表面的物料箱体(41)，所述物料箱体(41)的内壁开设有槽体(42)，所述槽体(42)的底部固定连接有空心螺纹杆(43)，所述空心螺纹杆(43)的上表面固定连接有限制板一(44)，所述限制板一(44)的上表面固定连接有限制板二(45)，两个所述限制板一(44)之间活动连接有夹具(46)，所述夹具(46)的前后两侧分别固定连接有旋转横柱(47)。
7.根据权利要求6所述的一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，其特征在于，所述物料箱体(41)的内部设置有倾角传感器，所述空心螺纹杆(43)内部的通道适配竖直杆(23)，所述限制板二(45)和夹...
【技术特征摘要】
1.一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，包括刻蚀机箱体(1)，所述刻蚀机箱体(1)的内壁固定连接有支撑板一(11)，所述支撑板一(11)的上表面开设有转槽(12)，所述刻蚀机箱体(1)的内壁固定连接有支撑板二(13)，所述支撑板二(13)的上表面固定连接有支撑箱体一(14)，所述支撑板二(13)的上表面固定连接有支撑箱体二(15)，所述支撑箱体二(15)的上表面固定连接有支撑柱(16)，所述刻蚀机箱体(1)的前侧开设有观察窗(17)，其特征在于，所述支撑板一(11)位于支撑板二(13)的下方，所述支撑箱体一(14)在支撑板二(13)的上表面呈三角排列，所述支撑箱体二(15)位于后侧的支撑箱体一(14)左右两侧，所述观察窗(17)为透明抗压材质；
2.根据权利要求1所述的一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，其特征在于，所述开合机构(2)包括转动连接于支撑板一(11)上表面的旋转板(21)，所述旋转板(21)的上表面固定连接有空心螺纹筒(22)，所述旋转板(21)的上表面中心位置固定连接有竖直杆(23)，所述旋转板(21)的上表面靠后的一侧转动连接有长连条一(24)，所述旋转板(21)的上表面靠前的一侧转动连接有长连条二(25)，所述长连条二(25)远离旋转板(21)的一端固定连接有旋转体(26)，所述旋转体(26)的上表面固定连接有连接条(27)，所述连接条(27)远离旋转体(26)的一端固定连接有连接块(28)，所述连接块(28)的前侧固定连接有柜门(29)，所述柜门(29)的后侧活动连接有活塞筒(210)，所述活塞筒(210)的上表面固定连接有转动杆(211)，所述转动杆(211)的上表面转动连接有固定横柱(212)。
3.根据权利要求2所述的一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，其特征在于，所述竖直杆(23)位于空心螺纹筒(22)的内部，所述旋转体(26)的底面转动连接于支撑板一(11)的上表面，两个所述柜门(29)接触的一面带有密封条，所述活塞筒(210)的活塞与柜门(29)呈固定连接，所述活塞筒(210)的内部设置有防尘网。
4.根据权利要求1所述的一种带有水平度自动调节机构的等离子刻蚀机，其特征在于，所述调平机构(3)包括固定连接于支撑箱体一(14)上表面的轨道一(31)，所述支撑箱体一(14)内的伺服电机驱动轴固定连接有长螺纹杆(32)，所述轨道一(31)的内侧滑动连接有滑槽块一(33)，所述长螺纹杆(32)的外表...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓光，陈维国，贾鹏宽，陆凯，
申请(专利权)人：亦亨电子上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。