一种用于方便观察半导体机台的公共腔体结构制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造行业机台技术领域，具体为一种用于方便观察半导体机台的公共腔体结构，本实用新型专利技术通过密封遮盖板安装在机台公共腔体外侧，通过紧固螺栓将其与公共腔体外表面固定，由于公共腔体必须在真空环境下工作，所以密封遮盖板与公共腔体之间还需镶嵌一安装密封条使其更好的贴合防止大气进入公共腔体内部，取代不锈钢板，密封遮盖板使用亚克力板可以帮助更好的观察了解机台公共腔体内部的工作状况

【技术实现步骤摘要】
一种用于方便观察半导体机台的公共腔体结构


[0001]本技术涉及半导体制造行业机台
，具体为一种用于方便观察半导体机台的公共腔体结构
。

技术介绍

[0002]以往的机台公共腔体侧边是用不锈钢板遮盖；存在诸多缺点包括：笨重
、
成本高
、
透光率差无法观察公共腔体内部具体的工作情况
、
由于腔体在工作过程中会发生许多化学反应不锈钢的耐腐蚀性差；而亚克力板刚好解决了这些问题；亚克力板是种有机玻璃；其具有轻便
、
不易破碎
、
由于半导体机台在工作中过程中对于颗粒污染物的要求极高，即使亚克力板损坏，也不会像玻璃那样产生过多碎片
、
耐磨性好
、
透光性好
、
成本低
、
由于其还有不错的耐热性因此不用担心机台在工作过程中产生的高温使其变形，所以根据亚克力板，设计了一种用于方便观察半导体机台的公共腔体结构
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于方便观察半导体机台的公共腔体结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于方便观察半导体机台的公共腔体结构，包括机台公共腔体和密封遮盖板，所述机台公共腔体表面顶部和底部均匀开设有若干个第二连接孔，所述机台公共腔体表面两侧设置有固定连接块，所述机台公共腔体正面安装有密封遮盖板，所述密封遮盖板正面顶部和底部开设有若干个第一连接孔，所述密封遮盖板正面两侧设置有固定安装块，所述密封遮盖板背面安装有一圈安装密封条
。
[0005]优选的，所述第一连接孔与第二连接孔位置大小相匹配，所述第一连接孔和第二连接孔之间通过紧固螺栓进行固定连接
。
[0006]优选的，所述机台公共腔体表面开设有一圈密封连接槽，所述安装密封条与密封连接槽相嵌合密封连接
。
[0007]优选的，所述固定安装块背面开设有嵌合安装槽，所述固定连接块与嵌合安装槽之间相嵌合固定连接，且固定连接块为“L”型
。
[0008]优选的，所述密封遮盖板正面两侧于固定安装块上方设置有安装把手，且安装把手表面设置有防滑垫
。
[0009]优选的，所述密封遮盖板采用亚克力材质制成
。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过密封遮盖板安装在机台公共腔体外侧，通过紧固螺栓将其与公共腔体外表面固定，由于公共腔体必须在真空环境下工作，所以密封遮盖板与公共腔体之间还需镶嵌一安装密封条使其更好的贴合防止大气进入公共腔体内部，取代不锈钢板，密封遮盖板使用亚克力板可以帮助更好的观察了解机台公共腔体内部的工作状况
。
附图说明
[0011]图1为本技术的整体结构示意图；
[0012]图2为本技术的密封遮盖板结构示意图；
[0013]图3为本技术的机台公共腔体结构示意图
。
[0014]图中：
1、
机台公共腔体；
2、
密封遮盖板；
3、
安装把手；
4、
紧固螺栓；
5、
固定安装块；
6、
第一连接孔；
7、
安装密封条；
8、
嵌合安装槽；
9、
密封连接槽；
10、
第二连接孔；
11、
固定连接块
。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0016]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
[0017]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通
。
对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义
。
[0018]请参阅图1‑3，本技术提供一种技术方案：一种用于方便观察半导体机台的公共腔体结构，包括机台公共腔体1和密封遮盖板2，机台公共腔体1表面顶部和底部均匀开设有若干个第二连接孔
10
，机台公共腔体1表面两侧设置有固定连接块
11
，机台公共腔体1正面安装有密封遮盖板2，密封遮盖板2正面顶部和底部开设有若干个第一连接孔6，密封遮盖板2正面两侧设置有固定安装块5，密封遮盖板2背面安装有一圈安装密封条
7。
[0019]进一步的，第一连接孔6与第二连接孔
10
位置大小相匹配，第一连接孔6和第二连接孔
10
之间通过紧固螺栓4进行固定连接
。
[0020]进一步的，机台公共腔体1表面开设有一圈密封连接槽9，安装密封条7与密封连接槽9相嵌合密封连接
。
[0021]进一步的，固定安装块5背面开设有嵌合安装槽8，固定连接块
11
与嵌合安装槽8之间相嵌合固定连接，且固定连接块
11
为“L”型
。
[0022]进一步的，密封遮盖板2正面两侧于固定安装块5上方设置有安装把手3，且安装把手3表面设置有防滑垫
。
[0023]进一步的，密封遮盖板2采用亚克力材质制成
。
[0024]本技术通过密封遮盖板2安装在机台公共腔体1外侧，通过紧固螺栓4将其与机台公共腔体1外表面固定，由于机台公共腔体1必须在真空环境下工作，所以密封遮盖板2与机台公共腔体1之间还需镶嵌一安装密封条7使其更好的贴合防止大气进入机台公共腔
体1内部，取代不锈钢板，密封遮盖板2使用亚克力板可以帮助更好的观察了解机台公共腔体1内部的工作状况
。
[0025]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化
、
修改
、
替换和变型本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于方便观察半导体机台的公共腔体结构，包括机台公共腔体
(1)
和密封遮盖板
(2)
，其特征在于：所述机台公共腔体
(1)
表面顶部和底部均匀开设有若干个第二连接孔
(10)
，所述机台公共腔体
(1)
表面两侧设置有固定连接块
(11)
，所述机台公共腔体
(1)
正面安装有密封遮盖板
(2)
，所述密封遮盖板
(2)
正面顶部和底部开设有若干个第一连接孔
(6)
，所述密封遮盖板
(2)
正面两侧设置有固定安装块
(5)
，所述密封遮盖板
(2)
背面安装有一圈安装密封条
(7)。2.
根据权利要求1所述的一种用于方便观察半导体机台的公共腔体结构，其特征在于：所述第一连接孔
(6)
与第二连接孔
(10)
位置大小相匹配，所述第一连接孔
(6)
和第二连接孔
(10)
之间通过紧固螺栓
(4)
进行固定连接
。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：王杰，贾鹏宽，杨志翔，杨晓锋，
申请(专利权)人：亦亨电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：