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本实用新型涉及机械手臂运动精度调节技术领域，具体为一种机械手臂重复定点运动精度数据采集装置本实用新型在原有的CCD测试平台基础之上，加入了模拟实际生产中整个机械手臂在运动滑轨上的动作、机械手臂末端取/放晶圆到不同位置的动作，从而使机械手臂在...
该专利属于亦亨电子（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亦亨电子（上海）有限公司授权不得商用。

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