一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构制造技术

本实用新型专利技术属于半导体加工技术领域，尤其为一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，包括固定台，所述固定台的内侧滑动卡接有输送板，所述输送板的顶部设置有放置板，所述放置板的顶部开设有放置槽，所述放置槽的尺寸与待输送晶圆的尺寸吻合，所述放置板的顶部且位于放置槽的外侧对称开设有滑动槽。该一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，通过将待输送晶圆放入放置槽内，推动螺杆带动衔接杆与齿条运动，当弧形挡块覆盖在晶圆的顶部时，转动螺帽，使得螺帽的底端与输送板的顶部紧密贴合，即可将螺杆固定，使得弧形挡块底端的橡胶垫与晶圆顶部多处贴合，可将晶圆固定在放置槽的内侧，且不会对晶圆表面产生磨损，提高晶圆输送过程中的安全性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体为一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在半导体集成领域有重要作用，在晶圆加工输送过程中，为防止晶圆碰撞损伤，基本采用夹持工具对晶圆进行夹持固定后再进行输送，但现有的夹持设备夹持固定晶圆时，会对晶圆表面施加一定的夹持力度，很容易导致晶圆表面受到磨损，影响后续使用。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术提供了一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，解决了现今存在的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，包括固定台，所述固定台的内侧滑动卡接有输送板，所述输送板的顶部设置有放置板，所述放置板的顶部开设有放置槽，所述放置槽的尺寸与待输送晶圆的尺寸吻合，所述放置板的顶部且位于放置槽的外侧对称开设有滑动槽，所述滑动槽的内侧滑动连接有滑动块，所述滑动块的顶部固定安装有弧形挡块，所述弧形挡块滑动连接在放置板的顶部且可覆盖在放置槽的上方，所述弧形挡块的底端固定安装有橡胶垫。
[0005]作为本技术的一种优选技术方案，所述放置板内侧的底部转动连接有转动杆，所述转动杆的外侧缠绕有牵引绳，所述放置板的内侧滑动连接有传动块，所述牵引绳远离转动杆的一端固定安装在传动块的侧面，所述滑动槽的内侧开设有连通槽，所述滑动块的底部穿过连通槽与传动块固定相连，所述传动块与放置板的内侧之间固定安装有拉伸弹簧。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述转动杆的底部固定安装有方形杆，所述输送板的内侧转动连接有传动齿轮，所述传动齿轮的中心位置开设有方形孔，所述方形杆的底端贯穿放置板与输送板并插接在方形孔内。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述输送板的外侧且位于放置板的侧面开设有调节槽，所述调节槽的内侧滑动连接有螺杆，所述螺杆的底端延伸至输送板的内侧且固定安装有衔接杆，所述衔接杆的外侧固定安装有与传动齿轮啮合的齿条，所述齿条滑动连接在输送板的内侧。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述螺杆的顶部延伸至输送板的上方且螺纹套接有螺帽，所述螺帽可与输送板的顶部贴合。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述输送板的顶部开设有定位槽，所述放
置板的底部均匀固接有定位柱，所述定位柱卡接在定位槽的内侧。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述放置板有多个且均匀分布在输送板的顶部。
[0011]与现有技术相比，本技术提供了一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，具备以下有益效果：
[0012]1、该一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，通过将待输送晶圆放入放置槽内，推动螺杆带动衔接杆与齿条运动，当弧形挡块覆盖在晶圆的顶部时，转动螺帽，使得螺帽的底端与输送板的顶部紧密贴合，即可将螺杆固定，进而完成对弧形挡块的固定，使得弧形挡块底端的橡胶垫与晶圆顶部多处贴合，如此，即可将晶圆固定在放置槽的内侧，且不会对晶圆表面产生磨损，提高晶圆输送过程中的安全性。
[0013]2、该一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，通过定位柱与定位槽的卡接，可将放置板安装在输送板的顶部且在安装放置板时，方形杆会插接进传动齿轮中心位置处的方形孔内，因此，当需要输送不同尺寸的晶圆时，只需更换开设有相应尺寸放置槽的放置板即可，无需对输送板进行过多调整，如此可节省大量的输送成本，提高设备的灵活度与适应性。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为本技术输送板与放置板正面结构剖视图；
[0016]图3为本技术图1中A处结构放大示意图；
[0017]图4为本技术图3中B处结构放大示意图。
[0018]图中：1、固定台；2、输送板；3、传动齿轮；4、齿条；5、衔接杆；6、螺杆；7、螺帽；8、连通槽；9、转动杆；10、牵引绳；11、传动块；12、拉伸弹簧；13、方形杆；14、调节槽；15、放置板；16、滑动槽；17、弧形挡块；18、放置槽；19、定位柱；20、滑动块。
实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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4，本实施方案中：一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，包括固定台1，固定台1的内侧滑动卡接有输送板2，输送板2的顶部设置有放置板15，放置板15的顶部开设有放置槽18，放置槽18的尺寸与待输送晶圆的尺寸吻合，放置板15的顶部且位于放置槽18的外侧对称开设有滑动槽16，滑动槽16的内侧滑动连接有滑动块20，滑动块20的顶部固定安装有弧形挡块17，弧形挡块17滑动连接在放置板15的顶部且可覆盖在放置槽18的上方，弧形挡块17的底端固定安装有橡胶垫，通过设置有放置槽18，将待输送晶圆放入放置槽18内，随后将分布在放置槽18外侧弧形挡块17推动至放置槽18的上方，使得弧形挡块17底端的橡胶垫与晶圆顶部多处贴合，如此，即可将晶圆固定在放置槽18的内侧，且不会对晶圆表面产生磨损，提高晶圆输送过程中的安全性。
[0021]作为一种优选的实施方式，放置板15内侧的底部转动连接有转动杆9，转动杆9的外侧缠绕有牵引绳10，放置板15的内侧滑动连接有传动块11，牵引绳10远离转动杆9的一端固定安装在传动块11的侧面，滑动槽16的内侧开设有连通槽8，滑动块20的底部穿过连通槽8与传动块11固定相连，传动块11与放置板15的内侧之间固定安装有拉伸弹簧12，转动杆9转动会带动牵引绳10缠绕在转动杆9外侧，牵引绳10会带动多个传动块11同步运动，传动块11通过滑动块20带动弧形挡块17在放置板15的顶部滑动。
[0022]作为一种优选的实施方式，转动杆9的底部固定安装有方形杆13，输送板2的内侧转动连接有传动齿轮3，传动齿轮3的中心位置开设有方形孔，方形杆13的底端贯穿放置板15与输送板2并插接在方形孔内，传动齿轮3转动会带动方形杆13转动，进而带动转动杆9同步转动。
[0023]作为一种优选的实施方式，输送板2的外侧且位于放置板15的侧面开设有调节槽14，调节槽14的内侧滑动连接有螺杆6，螺杆6的底端延伸至输送板2的内侧且固定安装有衔接杆5，衔接杆5的外侧固定安装有与传动齿轮3啮合的齿条4，齿条4滑动连接在输送板2的内侧，推动螺杆6带动衔接杆5与齿条4运动，齿条4带动传动齿轮3转动。
[0024]作为一种优选的实施方式，螺杆6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，包括固定台（1），其特征在于：所述固定台（1）的内侧滑动卡接有输送板（2），所述输送板（2）的顶部设置有放置板（15），所述放置板（15）的顶部开设有放置槽（18），所述放置槽（18）的尺寸与待输送晶圆的尺寸吻合，所述放置板（15）的顶部且位于放置槽（18）的外侧对称开设有滑动槽（16），所述滑动槽（16）的内侧滑动连接有滑动块（20），所述滑动块（20）的顶部固定安装有弧形挡块（17），所述弧形挡块（17）滑动连接在放置板（15）的顶部且可覆盖在放置槽（18）的上方，所述弧形挡块（17）的底端固定安装有橡胶垫。2.根据权利要求1所述的一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，其特征在于：所述放置板（15）内侧的底部转动连接有转动杆（9），所述转动杆（9）的外侧缠绕有牵引绳（10），所述放置板（15）的内侧滑动连接有传动块（11），所述牵引绳（10）远离转动杆（9）的一端固定安装在传动块（11）的侧面，所述滑动槽（16）的内侧开设有连通槽（8），所述滑动块（20）的底部穿过连通槽（8）与传动块（11）固定相连，所述传动块（11）与放置板（15）的内侧之间固定安装有拉伸弹簧（12）。3.根据权利要求2所述的一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟，
申请(专利权)人：苏州文芯纳精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：