清洗夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及晶片加工技术领域，公开了一种清洗夹具，包括安装板、与安装板连接的承接柱、与安装板连接的提手；安装板呈并列状相对设置；安装板上设置有扣合槽，扣合槽呈长条形凹槽状结构设置；承接柱设置在安装板之间，承接柱设置有至少两个；承接柱上设置有卡槽，卡槽沿承接柱间隔设置；提手自扣合槽的一端滑入扣合槽，以将提手勾设在扣合槽内。通过在安装板上设置扣合槽，实现提手可拆分的勾设在安装板上，进而在对清洗夹具搬运完成后，可以将提手自扣合槽内滑出，拆装方便，提手不会占用额外的清洗空间，提高清洗效率。提高清洗效率。提高清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
清洗夹具


[0001]本技术涉及晶片加工
，特别是涉及一种清洗夹具。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，清洗是一个极其重要的步骤，它是指在外延等工序之前，采用各种物理化学等方法对晶片表面的氧化物，脏污，尘等进行清理，达到去除的作用，最终表面清洁度能够达到要求。
[0003]现有的半导体晶片在清洗过程中都需要通过夹具对晶片进行固定，以防止晶片在清洗的过程移动。现有的夹具在放入晶片后都需要人工搬运至清洗装置内，所以夹具上会设置供人手抓握搬运所使用的手柄，该手柄会随夹具一起进入清洗装置内，占用清洗空间，进而影响晶片的清洗效率。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是：
[0005]手柄随夹具一起进入清洗装置内，占用清洗空间，影响清洗效率。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种清洗夹具，包括：
[0007]安装板，所述安装板呈并列状相对设置；所述安装板上设置有扣合槽，所述扣合槽呈长条形凹槽状结构设置；
[0008]承接柱，与所述安装板连接，所述承接柱设置在所述安装板之间，所述承接柱设置有至少两个；所述承接柱上设置有卡槽，所述卡槽沿所述承接柱间隔设置；及
[0009]提手，与所述安装板连接，所述提手自所述扣合槽的一端滑入所述扣合槽，以将所述提手勾设在所述扣合槽内。
[0010]在其中一个实施例中，所述安装板包括衔接部、相对设置在所述衔接部两侧的第一立柱部与第二立柱部；所述扣合槽沿所述第一立柱部向所述第二立柱部方向贯穿所述安装板。
[0011]在其中一个实施例中，所述衔接部呈V状结构设置，所述第一立柱部与所述第二立柱部分别连接所述衔接部的两端，所述第一立柱部与所述第二立柱部平行设置，以使所述安装板呈M状结构设置。
[0012]在其中一个实施例中，所述衔接部上设置有第一插孔、第二插孔、第三插孔及第四插孔，所述第一插孔与所述第二插孔设置在所述衔接部的一条侧边上，所述第三插孔与所述第四插孔设置在所述衔接部的另一条侧边上。
[0013]在其中一个实施例中，所述承接柱的设置数量对应为四个，四个所述承接柱分别对应插入所述第一插孔、第二插孔、第三插孔及第四插孔内。
[0014]在其中一个实施例中，所述第一插孔、第二插孔、第三插孔及第四插孔均呈圆形通孔状结构设置。
[0015]在其中一个实施例中，所述提手包括手柄部、相对设置在所述手柄部两端的延伸
部、与所述延伸部连接的横梁部、与所述横梁部连接的勾起部；所述勾起部插入所述扣合槽内。
[0016]在其中一个实施例中，所述手柄部呈长条状结构设置，所述延伸部呈长条状结构设置，两端的所述延伸部平行设置，所述延伸部与所述手柄部的设置方向相垂直，所述提手呈n状结构设置。
[0017]在其中一个实施例中，所述横梁部设置在所述延伸部远离所述手柄部的一端，所述横梁部设置在两侧的所述安装板相互背离的一侧；所述勾起部呈长条状结构设置，所述勾起部自两侧的所述横梁部相向凸起设置。
[0018]在其中一个实施例中，所述扣合槽相对设置在所述安装板的两侧。
[0019]上述清洗夹具与现有技术相比，其有益效果在于：
[0020]通过在安装板上设置扣合槽，实现提手可拆分的勾设在安装板上，进而在对清洗夹具搬运完成后，可以将提手自扣合槽内滑出，拆装方便，提手不会占用额外的清洗空间，提高清洗效率。同时通过设置至少两个承接柱，将晶片插入两个承接柱之间的固定方式，实现对矩形特别形状的晶片固定，进而满足客户不同的使用需求。
附图说明
[0021]图1为本技术一实施方式的清洗夹具的结构示意图；
[0022]图2为图1中清洗夹具隐藏提手后的结构示意图；
[0023]图3为图1中安装板的结构示意图；
[0024]图4为图1中承接柱的结构示意图；
[0025]图5为图1中提手的结构示意图。
[0026]附图中标号的含义为：
[0027]100、清洗夹具；
[0028]10、安装板；11、衔接部；12、第一立柱部；13、第二立柱部；15、扣合槽；16、第一插孔；17、第二插孔；18、第三插孔；19、第四插孔；
[0029]20、承接柱；25、卡槽；
[0030]30、提手；31、手柄部；32、延伸部；33、横梁部；34、勾起部；
[0031]90、晶片。
具体实施方式
[0032]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0033]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装
置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0034]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0035]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0036]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0037]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗夹具，其特征在于，包括：安装板，所述安装板呈并列状相对设置；所述安装板上设置有扣合槽，所述扣合槽呈长条形凹槽状结构设置；承接柱，与所述安装板连接，所述承接柱设置在所述安装板之间，所述承接柱设置有至少两个；所述承接柱上设置有卡槽，所述卡槽沿所述承接柱间隔设置；及提手，与所述安装板连接，所述提手自所述扣合槽的一端滑入所述扣合槽，以将所述提手勾设在所述扣合槽内。2.根据权利要求1所述的清洗夹具，其特征在于，所述安装板包括衔接部、相对设置在所述衔接部两侧的第一立柱部与第二立柱部；所述扣合槽沿所述第一立柱部向所述第二立柱部方向贯穿所述安装板。3.根据权利要求2所述的清洗夹具，其特征在于，所述衔接部呈V状结构设置，所述第一立柱部与所述第二立柱部分别连接所述衔接部的两端，所述第一立柱部与所述第二立柱部平行设置，以使所述安装板呈M状结构设置。4.根据权利要求3所述的清洗夹具，其特征在于，所述衔接部上设置有第一插孔、第二插孔、第三插孔及第四插孔，所述第一插孔与所述第二插孔设置在所述衔接部的一条侧边上，所述第三插孔与所述第四插孔设置在所述衔接部的另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖和杰，刘火阳，马金峰，唐林锋，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：