温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于半导体加工技术领域，尤其为一种可防止晶片磨损的晶片夹持机构，包括固定台，所述固定台的内侧滑动卡接有输送板，所述输送板的顶部设置有放置板，所述放置板的顶部开设有放置槽，所述放置槽的尺寸与待输送晶圆的尺寸吻合，所述放置板的顶部且位...
该专利属于苏州文芯纳精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州文芯纳精密科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。