本实用新型专利技术属于光刻技术领域，公开了一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，包括对称设置的第一夹爪、可移动的第二夹爪和连接块，待固定掩膜版置于第一夹爪和第二夹爪之间，并被第一夹爪和第二夹爪由两相对的侧面固定；第一夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第一导气槽，第一导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，第一导气槽的一内侧面上穿透有若干第一导气孔，第一导气槽靠近连接块的内端面上穿透有第二导气孔，第二导气孔通过第一导气管连接有抽真空设备；第一夹爪上穿透有第一导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面；本实用新型专利技术的固定治具，使得小尺寸的掩膜版能够快速在台面上完成放版和固定，操作简单可靠。操作简单可靠。操作简单可靠。
【技术实现步骤摘要】
一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具
[0001]本技术属于掩膜版光刻
，更具体的说涉及一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具。
技术介绍
[0002]掩膜版生产加工或测试时，往往需要将掩膜版放置在台面上，且需要确保掩膜版与被放置的台面完全接触，避免掩膜版与台面之间悬空，或者在加工时，需要确保掩膜版固定与台面上，且在加工或测试过程中掩膜版不会发生移动等问题。为解决上述问题，现有技术中在放版时，一般在将掩膜版呈倾斜状态缓慢下放，使得逐步排出台面与掩膜版之间的空气，使得掩膜版与台面贴合，在贴合后，尺寸较大的掩膜版会在自身重量作用下与台面相对固定，不易发生移动。然而对于一些小尺寸的掩膜版，在倾斜缓慢下放时，会造成掩膜版弯曲或变形，使得掩膜版难以与台面贴合，同时在放版后，因掩膜版自身重量较轻，极易会出现偏移或移动问题，导致掩膜版不能很好的固定，影响掩膜版的加工或测试。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，使得小尺寸的掩膜版能够快速在台面上完成放版和固定，操作简单可靠。
[0004]本技术技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，包括对称设置的第一夹爪和第二夹爪以及连接所述第一夹爪和所述第二夹爪的连接块，所述第二夹爪与所述连接块移动连接，待固定掩膜版置于所述第一夹爪和所述第二夹爪之间，并被所述第一夹爪和所述第二夹爪由两相对的侧面固定；所述第一夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第一导气槽，第一导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，所述第一导气槽的一内侧面上穿透有若干第一导气孔，所述第一导气槽靠近所述连接块的内端面上穿透有第二导气孔，所述第二导气孔通过第一导气管连接有抽真空设备；所述第一夹爪上穿透有第一导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面。
[0005]优选地，所述第一夹爪与所述连接块固接，所述连接块内设置有与所述第二导气孔同轴且密封连通的第三导气孔，所述第三导气孔远离所述第二导气孔的端部固接所述第一导气管。
[0006]优选地，所述连接块上设置有连接所述第二夹爪和所述连接块的移动连接组件，所述移动连接组件包括连接槽、第一避让槽、所述锁紧螺母和锁紧螺钉；所述连接槽设置在连接块上与第二导气孔垂直行的侧面上，所述第一避让槽设置在连接块上与所述第二导气孔平行的侧面上，所述第一避让槽与所述连接槽长度相适应并连通且两轴线平行，所述锁紧螺母设置在所述连接槽内，所述锁紧螺钉穿过所述第一避让槽和所述锁紧螺母并顶紧所述第二夹爪至所述连接槽内。
[0007]优选地，所述第二夹爪置于连接槽内部分的侧面上设置有限位盲孔，所述锁紧螺钉由所述限位盲孔位置顶紧所述第二夹爪。
[0008]优选地，所述第二夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第二导气槽，第二导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，所述第二导气槽的一内侧面上穿透有若干第四导气孔，所述第二导气槽靠近所述连接块的内端面上穿透有第五导气孔，所述第五导气孔通过第二导气管连接所述抽真空设备；所述第二夹爪上穿透有第四导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面。
[0009]优选地，所述连接槽的内底面上设置有第二避让槽，所述第二避让槽轴线与所述连接槽轴线平行且长度相适应，所述第二导气管与第五导气孔远离第二导气槽的端部固接并由所述第二避让槽穿出。
[0010]优选地，所述第二避让槽宽度小于连接槽宽度，在连接槽的内底面上形成支撑肩台，所述第二夹爪置于所述支撑肩台上。
[0011]优选地，所述连接块朝向带固定掩膜版的侧面上固接有定位块。
[0012]本技术技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的有益效果是：
[0013]通过对称设置的第一夹爪和第二夹爪，实现对掩膜版进行夹紧。通过设置在第一夹爪上的第一导气槽、第一导气孔和第二导气孔以及与第二导气孔连通的抽真空设备，对放置在台面上的掩膜版与台面之间进行抽真空，使得掩膜版吸附在台面上，实现掩膜版在台面上的固定放置。
附图说明
[0014]图1为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的结构示意图，也即本固定治具的正面结构示意图。
[0015]图2为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的背面结构示意图。
[0016]图3为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的立体结构示意图。
[0017]图4为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的主视图。
[0018]图5为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具在放置台面上放置状态示意图。
[0019]图6为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具工作状态示意图。
[0020]其中有，1、第一夹爪；11第一导气槽、；12第一导气孔、；13、第二导气孔；2、第二夹爪；20、限位盲孔；21、第二导气槽；22、第四导气孔；23、第五导气孔；3连接块、；31、第三导气孔；32、第二避让槽；41、第一导气管；42、第二导气管；5、移动连接组件，51、第一避让槽；52、限位槽；53、锁紧螺钉；54、锁紧螺母；6、定位块；100、放置台面；200、待固定掩膜版。
具体实施方式
[0021]为便于本领域技术人员理解本技术技术方案，现结合具体实施例和说明书附图对本技术技术方案做进一步的说明。
[0022]如图1至图4为本技术技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具结构示意图，图5至图6为本技术技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的使用状态示意图。下面结合图1至图6对本本技术技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的结构和工作方式等进行详细描述。
[0023]本技术技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，包括对称设置的第一
夹爪1和第二夹爪2以及连接第一夹爪1和第二夹爪2的连接块3。第二夹爪2与连接块3移动连接，第二夹爪2能够做靠近或远离第一夹爪1的移动，改变第一夹爪和第二夹爪之间距离，实现对不同尺寸的掩膜版的夹紧。待固定掩膜版200置于第一夹爪1和第二夹爪2之间，并被第一夹爪1和第二夹爪2由两相对的侧面固定。第一夹爪1朝向待固定掩膜版200的侧面上设置有第一导气槽11，第一导气槽11的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，第一导气槽11的口部与待固定掩膜版200的侧面接触并被待固定掩膜版200的侧面平面密封。第一导气槽11的一内侧面上穿透有若干第一导气孔12，第一导气槽11靠近连接块3的内端面上穿透有第二导气孔13，第二导气孔13通过第一导气管41连接有抽真空设备。第一夹爪1上穿透有第一导气孔12的外表面和待固定掩膜版200与放置台面100接触的表面共面。
[0024]待固定掩膜版表面平整且精度高，第一夹爪1和房放置台面通过加工控制精度，表面平整且精度高。本固定治具工作时，首先将本固定治具放置在放置台面100上，如图6所示状态。然后将待固定掩膜版放置在放置台面100上且位于第一夹爪1和第二夹爪2之间，且确保待固定掩膜版靠近第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，包括对称设置的第一夹爪和第二夹爪以及连接所述第一夹爪和所述第二夹爪的连接块，所述第二夹爪与所述连接块移动连接，待固定掩膜版置于所述第一夹爪和所述第二夹爪之间，并被所述第一夹爪和所述第二夹爪由两相对的侧面固定；所述第一夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第一导气槽，第一导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，所述第一导气槽的一内侧面上穿透有若干第一导气孔，所述第一导气槽靠近所述连接块的内端面上穿透有第二导气孔，所述第二导气孔通过第一导气管连接有抽真空设备；所述第一夹爪上穿透有第一导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面。2.根据权利要求1所述的适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，所述第一夹爪与所述连接块固接，所述连接块内设置有与所述第二导气孔同轴且密封连通的第三导气孔，所述第三导气孔远离所述第二导气孔的端部固接所述第一导气管。3.根据权利要求1所述的适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，所述连接块上设置有连接所述第二夹爪和所述连接块的移动连接组件，所述移动连接组件包括连接槽、第一避让槽、锁紧螺母和锁紧螺钉；所述连接槽设置在连接块上与第二导气孔垂直行的侧面上，所述第一避让槽设置在连接块上与所述第二导气孔平行的侧面上，所述第一避让槽与所述连接槽长度相适应并连通且两轴线平行，所述锁紧螺母设置在...
【专利技术属性】
技术研发人员：李文，熊启龙，徐智俊，徐兵，杜晓威，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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