一种掩模版清洁搭载装置制造方法及图纸

本技术公开了一种掩模版清洁搭载装置，包括底座、搭载立柱、搭载垫块和支撑立柱；支撑立柱呈平行状设置有若干根；支撑立柱底端与底座上表面一侧边固接，支撑立柱顶端呈倾斜向上延伸并至底座上表面中部位置上方；搭载立柱顶端与支撑立柱顶端固接，搭载立柱底端呈竖直状向下延伸至底座上表面，并与底座上表面固接，且搭载立柱与底座上表面垂直；搭载垫块呈平行状设置有至少两块，并均与底座上表面固接，且靠近搭载立柱远离支撑立柱的侧面设置；本技术的掩模版清洁搭载装置，旨在提供以低成本的结构设备实现不同尺寸掩膜版高精度清洁、检查的功能，降低掩膜版被污染、损坏的风险，提高掩膜版产品品质。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于掩模版清洁搭载工具，更具体的说涉及一种掩模版清洁搭载装置。

技术介绍

1、随着光掩模版(photomask)制造行业近年来的快速发展，制造工厂逐渐走向标准化、自动化、无人化。在首个生产环节需要对原材料(石英铬版)进行清洁、检查，由于原材料镜面(玻璃侧)通常会残留少量光刻胶，若不对其进行清洁处理，将会在光刻及后处理制程中产生缺陷不良，甚至会影响到制程设备的正常运转。因此，掩模版原材料在上料前需要使用无尘布蘸取试剂对镜面残胶、颗粒物质及脏污进行相应的擦除，并使用射灯目视检查，确保版面洁净度满足规格要求。

2、传统的清洁、检查动作是在净化盒内执行，但放置在净化盒的版材是平铺在地面上的，这给检查人员带来了极大的不便，尤其是大尺寸版材，检查人员在检查过程会增加灰尘掉落和磕碰版材的风险。若将净化盒倾斜放置虽然可以减小落灰风险，但增加了固定净化盒摆放角度的人力数量，同时人工固定存在滑脱风险，不符合标准化工具使用规范。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种掩模版清洁搭载装置，旨在提供以低成本的结构设备实现不同尺寸掩膜版高精度清洁、检查的功能，降低掩膜版被污染、损坏的风险，提高掩膜版产品品质。

2、本技术技术方案一种掩模版清洁搭载装置，包括底座以及设置在所述底座上的搭载立柱、搭载垫块和支撑立柱；所述支撑立柱呈平行状设置有若干根，且呈“一”字排列状固定在底座上表面；支撑立柱底端与底座上表面一侧边固接，支撑立柱顶端呈倾斜向上延伸并至底座上表面中部位置上方；

3、搭载立柱顶端与所述支撑立柱顶端固接，搭载立柱底端呈竖直状向下延伸至底座上表面，并与所述底座上表面固接，且所述搭载立柱与所述底座上表面垂直；

4、所述搭载垫块呈平行状设置有至少两块，并均与所述底座上表面固接，且靠近所述搭载立柱远离所述支撑立柱的侧面设置。

5、优选地，所述搭载立柱与所述支撑立柱数量相等，均设置有四根，所述支撑立柱沿所述底座上表面边沿均布设置。

6、优选地，所述搭载立柱包括有搭载立柱本体和可拆卸固接在所述搭载立柱本体上的立柱缓冲垫块；所述搭载立柱本体为方钢，与所述支撑立柱和所述底座上表面焊接；所述立柱缓冲垫块材质为塑胶，并设置在搭载立柱本体远离所述支撑立柱的侧面上，且长度与所述搭载立柱本体长度相适应。

7、优选地，四所述搭载立柱本体顶部连接有一加强梁，所述加强梁为方钢，与四搭载立柱本体顶面焊接连接；所述加强梁朝向所述搭载垫块的侧面上设置有加强梁缓冲块，所述加强梁缓冲块长度与加强梁长度相适应，且加强梁缓冲块远离加强梁的侧面与立柱缓冲垫块远离搭载立柱本体的侧面在同一竖直平面内。

8、优选地，所述搭载垫块设置有三块且均与底座上表面焊接，中间的搭载垫块沿底座上表面中线设置，另两块搭载垫块呈轴对称状设置在中间的搭载垫块两侧。

9、优选地，所述搭载垫块包括搭载垫块本体和可拆卸固接在所述搭载垫块本体上的缓冲限位块；所述搭载垫块本体为方钢且与所述底座上表面焊接；所述缓冲限位块材质为塑胶且固接在搭载垫块本体上表面；缓冲限位块上表面，沿长度方向，设置有第一限位凸台和第二限位凸台。

10、优选地，所述底座上表面上设置有两标尺，两所述标尺分别位于两外侧搭载垫块外侧，且两标尺上刻度均显示的是掩膜版尺寸。

11、优选地，所述底座包括由若干方钢焊接而成的长方体状的固定框，所述固定框的上表面上设置有材质为钢的垫板，所述搭载立柱和所述搭载垫块均设置在所述垫板上；垫板长度与所述固定框长度相适应，垫板宽度为搭载垫块长度相适应。

12、优选地，所述固定框底部连接有若干具有刹车的万向轮。

13、本技术技术方案一种掩模版清洁搭载装置的有益效果是：

14、1、通过本搭载装置可以实现对掩膜版进行倾斜放置，便于检查操作人员对掩膜版进行检查和清洁，一方面便于操作人员对大尺寸掩膜版的清洁和检查操作，另一方面降低掩膜版在检查和清洁过程中落灰问题。

15、2、搭载立柱竖直设置，便于多种尺寸的掩膜版的放置。将搭载立柱竖直设置且位于底座中部位置，支撑立柱倾斜设置，这样就使得本搭载装置整体体积由下至上呈缩小状态，便于本搭载装置搬运、移动、行走和放置，使得本搭载装置在行走中、搬运中甚至是在存放时都不会与外部环境中的设备、人员等发生碰撞问题。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种掩模版清洁搭载装置，其特征在于，包括底座以及设置在所述底座上的搭载立柱、搭载垫块和支撑立柱；所述支撑立柱呈平行状设置有若干根，且呈“一”字排列状固定在底座上表面；支撑立柱底端与底座上表面一侧边固接，支撑立柱顶端呈倾斜向上延伸并至底座上表面中部位置上方；

2.根据权利要求1所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，所述搭载立柱与所述支撑立柱数量相等，均设置有四根，所述支撑立柱沿所述底座上表面边沿均布设置。

3.根据权利要求2所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，所述搭载立柱包括有搭载立柱本体和可拆卸固接在所述搭载立柱本体上的立柱缓冲垫块；所述搭载立柱本体为方钢，与所述支撑立柱和所述底座上表面焊接；所述立柱缓冲垫块材质为塑胶，并设置在搭载立柱本体远离所述支撑立柱的侧面上，且长度与所述搭载立柱本体长度相适应。

4.根据权利要求3所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，四所述搭载立柱本体顶部连接有一加强梁，所述加强梁为方钢，与四搭载立柱本体顶面焊接连接；所述加强梁朝向所述搭载垫块的侧面上设置有加强梁缓冲块，所述加强梁缓冲块长度与加强梁长度相适应，且加强梁缓冲块远离加强梁的侧面与立柱缓冲垫块远离搭载立柱本体的侧面在同一竖直平面内。

5.根据权利要求1所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，所述搭载垫块设置有三块且均与底座上表面焊接，中间的搭载垫块沿底座上表面中线设置，另两块搭载垫块呈轴对称状设置在中间的搭载垫块两侧。

6.根据权利要求5所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，所述搭载垫块包括搭载垫块本体和可拆卸固接在所述搭载垫块本体上的缓冲限位块；所述搭载垫块本体为方钢且与所述底座上表面焊接；所述缓冲限位块材质为塑胶且固接在搭载垫块本体上表面；缓冲限位块上表面，沿长度方向，设置有第一限位凸台和第二限位凸台。

7.根据权利要求6所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，所述底座上表面上设置有两标尺，两所述标尺分别位于两外侧搭载垫块外侧，且两标尺上刻度均显示的是掩膜版尺寸。

8.根据权利要求1所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，所述底座包括由若干方钢焊接而成的长方体状的固定框，所述固定框的上表面上设置有材质为钢的垫板，所述搭载立柱和所述搭载垫块均设置在所述垫板上；垫板长度与所述固定框长度相适应，垫板宽度为搭载垫块长度相适应。

9.根据权利要求8所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，所述固定框底部连接有若干具有刹车的万向轮。

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【技术特征摘要】

1.一种掩模版清洁搭载装置，其特征在于，包括底座以及设置在所述底座上的搭载立柱、搭载垫块和支撑立柱；所述支撑立柱呈平行状设置有若干根，且呈“一”字排列状固定在底座上表面；支撑立柱底端与底座上表面一侧边固接，支撑立柱顶端呈倾斜向上延伸并至底座上表面中部位置上方；

2.根据权利要求1所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，所述搭载立柱与所述支撑立柱数量相等，均设置有四根，所述支撑立柱沿所述底座上表面边沿均布设置。

3.根据权利要求2所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，所述搭载立柱包括有搭载立柱本体和可拆卸固接在所述搭载立柱本体上的立柱缓冲垫块；所述搭载立柱本体为方钢，与所述支撑立柱和所述底座上表面焊接；所述立柱缓冲垫块材质为塑胶，并设置在搭载立柱本体远离所述支撑立柱的侧面上，且长度与所述搭载立柱本体长度相适应。

4.根据权利要求3所述的掩模版清洁搭载装置，其特征在于，四所述搭载立柱本体顶部连接有一加强梁，所述加强梁为方钢，与四搭载立柱本体顶面焊接连接；所述加强梁朝向所述搭载垫块的侧面上设置有加强梁缓冲块，所述加强梁缓冲块长度与加强梁长度相适应，且加强梁缓冲块远离加强梁的侧面与立柱缓冲垫块远离搭载立柱本体的侧面在同一竖直平...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢东辉，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：