【技术实现步骤摘要】
本技术属于掩膜版清洗设备领域，更具体的说涉及一种大尺寸掩膜版清洗承载装置。
技术介绍
1、在掩膜版生产过程中，许多工序中均需要对掩膜版进行清洗，如涂胶前的清洗工序或者蚀刻后的脱膜工序，都需要将掩膜版放入清洗设备内部进行清洗。成品的掩膜版清洗机中，用于安装和支撑掩膜版清洗的承载装置仅仅能够承载几个特定型号的掩膜版，而随着掩膜版市场扩大，掩膜版产品型号增加，掩膜版尺寸多样化，现有的成品清洗机中的掩膜版承载装置不能满足需求。现，亟需提出一种用于掩膜版清洗的承载装置，其能够适应更多尺寸和规格的掩膜版的清洗。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种大尺寸掩膜版清洗承载装置，解决现有技术在中掩膜版清洗机内承载装置仅仅能够适应几种固定尺寸的掩膜版清洗的问题，获得一种结构简单、重量轻且能够适应更多种尺寸和规格的掩膜版的清洗安装的大尺寸掩膜版清洗承载装置。
2、本技术技术方案一种大尺寸掩膜版清洗承载装置，用于托起掩膜版，包括一支撑底座，所述支撑底座上表面为支撑面且朝向掩膜版，在所述支撑面上设有虚拟的一支撑面中心、一x轴和一y轴，所述x轴和所述y轴垂直相交且形成第一象限、第二象限、第三象限、第四象限和一交点，所述交点为所述支撑面中心且所述支撑面中心位于掩膜版中心正下方；
3、在所述支撑面上设置有若干安装孔，所述安装孔包括横边支撑柱安装孔和纵边支撑柱安装孔；所述第一象限、所述第二象限、所述第三象限和所述第四象限内均设置有所述横边支撑柱安装孔和所述纵边支撑柱安装孔，且所述横边支
4、各象限中，所述横边支撑柱安装孔均设置有若干个且其在x轴上投影位置与所述支撑面中心距离均不相同；各象限中，所述纵边支撑柱安装孔均设置有若干个且其在y轴上投影位置与所述支撑面中心距离均不相同；
5、对掩膜版进行支撑时，分别在与掩膜版长度和宽度尺寸相适配的横边支撑柱安装孔和纵边支撑柱安装孔内分别插入横边支撑柱和纵边支撑柱，掩膜版位于四横边支撑柱和四纵边支撑柱之间。
6、优选地，在各象限内设置虚拟的一角平分线，所述角平分线将所述x轴和所述y轴相交形成的直角分割为近x轴角区和近y轴角区，所述横边支撑柱安装孔和所述纵边支撑柱安装孔分别位于所述近x轴角区和所述近y轴角区内。
7、优选地，所述横边支撑柱和所述纵边支撑柱均包括支撑柱本体，所述支撑柱本体顶部设有连接凸柱，所述连接凸柱上套设置有支撑帽，所述支撑帽与掩膜版接触。
8、优选地，所述支撑帽包括一体成型的连接部和支撑部，所述连接部呈圆柱状，且一端面同轴设置有连接孔并与所述连接凸柱连接；所述支撑部呈环形并套接在所述连接部外圆周面上，所述连接部设置有连接孔的端面与所述支撑部一端面相适应，连接部另一端面延伸出所述支撑部的另一端面，并成型一限位面，所述限位面为连接部穿出所述支撑部的外圆周面。
9、优选地，所述支撑柱本体由钛合金制成，且表面涂覆有特氟龙防腐涂层；所述支撑帽由ptfe制成。
10、优选地，所述横边支撑柱安装孔和纵边支撑柱安装孔均为贯穿所述支撑底座的通孔，所述通孔内固定有连接底座，所述连接底座靠近所述支撑面的表面上设置有连接螺孔；
11、对掩膜版进行支撑时，与掩膜版长度和宽度尺寸相适配的横边支撑柱安装孔和纵边支撑柱安装孔内的连接底座上均分别螺接横边支撑柱和纵边支撑柱，其余横边支撑柱安装孔和纵边支撑柱安装孔内的连接底座上均螺接有封堵塞。
12、优选地，所述通孔包括依次设置的第一圆柱孔、第二圆柱孔和第三圆柱孔，所述第一圆柱孔靠近所述支撑面设置，所述第二圆柱孔孔径小于第三圆柱孔孔径；所述连接底座设置在所述第一圆柱孔内且远离支撑面端由所述第三圆柱孔内穿出并螺接有锁紧螺母，所述锁紧螺母位于所述第三圆柱孔内。
13、优选地，所述支撑底座包括一支撑平板，所述支撑面中心与所述支撑平板中心重合，所述支撑平板中心设置有定位孔，所述支撑平板上以x轴和y轴对称设置有若干减重孔，所述支撑平板材质铝合金制成，所述支撑平板的两表面和侧面均设有防腐层，所述防腐层由etfe材料制成。
14、优选地，所述横边支撑柱安装孔在x轴上投影位置与所述支撑面中心距离范围为920mm至1500mm；所述纵边支撑柱安装孔在y轴上投影位置与所述支撑面中心距离范围为800mm至1220mm。
15、本技术技术方案一种大尺寸掩膜版清洗承载装置的有益效果是：
16、1、能够适应更多尺寸和规格的掩膜版的清洗安装。
17、2、结构简单，重量轻，便于移动。
18、3、实现对掩膜版进行支撑和限位，确保掩膜版清洗时保持稳定，避免出现摔版等问题。
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1.一种大尺寸掩膜版清洗承载装置，用于托起掩膜版，其特征在于，包括一支撑底座，所述支撑底座上表面为支撑面且朝向掩膜版，在所述支撑面上设有虚拟的一支撑面中心、一X轴和一Y轴，所述X轴和所述Y轴垂直相交且形成第一象限、第二象限、第三象限、第四象限和一交点，所述交点为所述支撑面中心且所述支撑面中心位于掩膜版中心正下方；
2.根据权利要求1所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，在各象限内设置虚拟的一角平分线，所述角平分线将所述X轴和所述Y轴相交形成的直角分割为近X轴角区和近Y轴角区，所述横边支撑柱安装孔和所述纵边支撑柱安装孔分别位于所述近X轴角区和所述近Y轴角区内。
3.根据权利要求1所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，所述横边支撑柱和所述纵边支撑柱均包括支撑柱本体，所述支撑柱本体顶部设有连接凸柱，所述连接凸柱上套设置有支撑帽，所述支撑帽与掩膜版接触。
4.根据权利要求3所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，所述支撑帽包括一体成型的连接部和支撑部，所述连接部呈圆柱状，且一端面同轴设置有连接孔并与所述连接凸柱连接；所述支撑部呈环形并套
5.根据权利要求4所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，所述支撑柱本体由钛合金制成，且表面涂覆有特氟龙防腐涂层；所述支撑帽由PTFE制成。
6.根据权利要求1所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，所述横边支撑柱安装孔和纵边支撑柱安装孔均为贯穿所述支撑底座的通孔，所述通孔内固定有连接底座，所述连接底座靠近所述支撑面的表面上设置有连接螺孔；
7.根据权利要求6所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，所述通孔包括依次设置的第一圆柱孔、第二圆柱孔和第三圆柱孔，所述第一圆柱孔靠近所述支撑面设置，所述第二圆柱孔孔径小于第三圆柱孔孔径；所述连接底座设置在所述第一圆柱孔内且远离支撑面端由所述第三圆柱孔内穿出并螺接有锁紧螺母，所述锁紧螺母位于所述第三圆柱孔内。
8.根据权利要求1所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，所述支撑底座包括一支撑平板，所述支撑面中心与所述支撑平板中心重合，所述支撑平板中心设置有定位孔，所述支撑平板上以X轴和Y轴对称设置有若干减重孔，所述支撑平板材质铝合金制成，所述支撑平板的两表面和侧面均设有防腐层，所述防腐层由ETFE材料制成。
9.根据权利要求1所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，所述横边支撑柱安装孔在X轴上投影位置与所述支撑面中心距离范围为920mm至1500mm；所述纵边支撑柱安装孔在Y轴上投影位置与所述支撑面中心距离范围为800mm至1220mm。
...【技术特征摘要】
1.一种大尺寸掩膜版清洗承载装置，用于托起掩膜版，其特征在于，包括一支撑底座，所述支撑底座上表面为支撑面且朝向掩膜版，在所述支撑面上设有虚拟的一支撑面中心、一x轴和一y轴，所述x轴和所述y轴垂直相交且形成第一象限、第二象限、第三象限、第四象限和一交点，所述交点为所述支撑面中心且所述支撑面中心位于掩膜版中心正下方；
2.根据权利要求1所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，在各象限内设置虚拟的一角平分线，所述角平分线将所述x轴和所述y轴相交形成的直角分割为近x轴角区和近y轴角区，所述横边支撑柱安装孔和所述纵边支撑柱安装孔分别位于所述近x轴角区和所述近y轴角区内。
3.根据权利要求1所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，所述横边支撑柱和所述纵边支撑柱均包括支撑柱本体，所述支撑柱本体顶部设有连接凸柱，所述连接凸柱上套设置有支撑帽，所述支撑帽与掩膜版接触。
4.根据权利要求3所述的大尺寸掩膜版清洗承载装置，其特征在于，所述支撑帽包括一体成型的连接部和支撑部，所述连接部呈圆柱状，且一端面同轴设置有连接孔并与所述连接凸柱连接；所述支撑部呈环形并套接在所述连接部外圆周面上，所述连接部设置有连接孔的端面与所述支撑部一端面相适应，连接部另一端面延伸出所述支撑部的另一端面，并成型一限位面，所述限位面为连接部穿出所述支撑部的外圆周面。
5.根据权利要求4所述的大尺寸掩膜版...
【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，熊启龙，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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