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本技术公开了一种大尺寸掩膜版清洗承载装置，包括一支撑底座，在支撑面上虚设一平面坐标系，在支撑面上设置有若干横边支撑柱安装孔和纵边支撑柱安装孔；第一象限、第二象限、第三象限和第四象限内均设置有横边支撑柱安装孔和纵边支撑柱安装孔，且横边支撑柱安...
该专利属于合肥清溢光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥清溢光电有限公司授权不得商用。

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