一种多工位掩膜版暂存装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种多工位掩膜版暂存装置，包括若干存版机构，存版机构上包括有相对设置的两存版工位，相对设置的两存版工位之间连接有换位机构；换位机构包括一转轴，转轴一端连接有换位驱动组件；存版工位上设置有上夹板机构和下夹板机构，上夹板机构和下夹板机构相对设置，上夹板机构包括上部升降组件和由上部升降组件带动上部夹紧组件，下夹板机构包括下部升降组件和由下部升降组件带动下部夹紧组件，上部夹紧组件和下部夹紧组件相对设置；本实用新型专利技术的多工位掩膜版暂存装置，获得能够与机械手臂对接，实现自动上料和下料的掩膜版暂存装置，同时占据空间小，放置工位多，能够适应工序时长差较大的两工序之间使用。够适应工序时长差较大的两工序之间使用。够适应工序时长差较大的两工序之间使用。

【技术实现步骤摘要】
一种多工位掩膜版暂存装置


[0001]本技术属于掩膜版加工辅助设备领域，更具体的说涉及一种多工位掩膜版暂存装置。

技术介绍

[0002]掩膜版也叫光罩(mask)，是芯片和平板显示行业用来制作图形的一种重要产品，掩膜版表面通过光刻好设计的图形，通过曝光，将掩膜版上的图形转移到基板上，实现一张掩膜版生产出成千上万张芯片或面板。
[0003]目前掩膜版生产线一般由光刻、显影、蚀刻清洗、测量等工序组成，每个工序的时间不一致，如完成一个测量工序需要20分钟左右，而完成一个清洗工序需要1～2小时，这样就导致在生产线的运转过程，部分用时较久的工序会发生堵塞，堵塞即会造成产线流转不畅，产品无法达到未加工工序。为解决这一问题，目前的做法一般是将堵塞的掩膜版下料并进行装盒后放置到待料区，待工序空闲时再将待料区内的掩膜版进行重新上料。这个下料装盒、周转与重新上料的过程一般至少需要耗费1h，此外下料过程还存在人员接触掩膜版导致版面污染的情况发生。随着对掩膜版品质要求越来越高，这种周转方式已经不适合现代自动化的掩膜版工厂，因此亟需一种能够配合自动机械手臂等操作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多工位掩膜版暂存装置，其特征在于，包括若干存版机构，所述存版机构上包括有相对设置的两存版工位，相对设置的两存版工位之间连接有换位机构；所述换位机构包括一转轴，所述转轴一端连接有换位驱动组件；所述存版工位上设置有上夹板机构和下夹板机构，所述上夹板机构和所述下夹板机构相对设置，所述上夹板机构包括上部升降组件和由所述上部升降组件带动上部夹紧组件，所述下夹板机构包括下部升降组件和由所述下部升降组件带动下部夹紧组件，所述上部夹紧组件和所述下部夹紧组件相对设置。2.根据权利要求1所述的多工位掩膜版暂存装置，其特征在于，所述转轴上固定有相对且对称设置的上固定板和下固定板，所述上夹板机构和所述下夹板机构分别固定在所述上固定板和所述下固定板上。3.根据权利要求1所述的多工位掩膜版暂存装置，其特征在于，所述上部升降组件和所述下部升...

【专利技术属性】
技术研发人员：王亚腾，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：