下载一种多工位掩膜版暂存装置的技术资料

文档序号:39290728

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种多工位掩膜版暂存装置,包括若干存版机构,存版机构上包括有相对设置的两存版工位,相对设置的两存版工位之间连接有换位机构;换位机构包括一转轴,转轴一端连接有换位驱动组件;存版工位上设置有上夹板机构和下夹板机构,上夹板机构和下...
该专利属于合肥清溢光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥清溢光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。