【技术实现步骤摘要】
本技术涉及掩膜版生产，具体为一种用于掩膜版条纹观察装置。
技术介绍
1、在掩膜版制造行业，条纹是掩膜版主要的缺陷之一，条纹的存在会导致下游行业产品出现潜在的品质风险，为了验证光刻机的条纹表现，工程师们会在曝光客户订单前进行小板测试来验证光刻条纹的程度。
2、目前，在掩膜版制造行业，测试版条纹观测主要是通过工程师肉眼，手持小板(一般是6寸)在不同角度下，通过白光射灯照射，对工程师的个人经验和专业性要求极高。此外，由于是手持小板观测，极易污染板材，对观测带来不小的干扰；且传统的工程师手持观测条纹，无法统一观测条件，存在随机性和主观性，个体差别大，而且条纹再现性差，不利于实现标准化和规范化。
技术实现思路
1、针对上述技术问题，本技术提供一种用于掩膜版条纹观察装置，避免了由于通过工作人员手持掩膜版进行观测而导致掩膜版出现污染的情况，提高了掩膜版标准化以及规范化的条纹检测，提高了观测效率。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于掩膜版条纹观察装置，包括可对掩膜...
【技术保护点】
1.一种用于掩膜版条纹观察装置，包括可对掩膜版(14)固定的夹持机构、以及设置在调节机构上对掩膜版(14)进行观测的观测机构，其特征在于，夹持机构包括通过平面调节组件设置在底座(1)上的支撑板(9)、以及设置在旋转组件上的夹持组件，支撑板(9)上端面设置有旋转组件，平面调节组件调节支撑板(9)板面的倾斜方向；
2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：旋转组件包括设置在第一旋转槽(10)内的第一旋转台(11)、以及设置在第一旋转槽(10)内并驱动第一旋转台(11)沿竖直方向轴线进行转动的电机，支撑板顶端端面开设有第一旋转槽(10)，第...
【技术特征摘要】
1.一种用于掩膜版条纹观察装置，包括可对掩膜版(14)固定的夹持机构、以及设置在调节机构上对掩膜版(14)进行观测的观测机构，其特征在于，夹持机构包括通过平面调节组件设置在底座(1)上的支撑板(9)、以及设置在旋转组件上的夹持组件，支撑板(9)上端面设置有旋转组件，平面调节组件调节支撑板(9)板面的倾斜方向；
2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：旋转组件包括设置在第一旋转槽(10)内的第一旋转台(11)、以及设置在第一旋转槽(10)内并驱动第一旋转台(11)沿竖直方向轴线进行转动的电机，支撑板顶端端面开设有第一旋转槽(10)，第一旋转台(11)上设置夹持件和卡爪(13)。
3.根据权利要求2所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：第一旋转台(11)顶端端面上开设有两个开口长度方向相互垂直的限位槽(25)，且两个限位槽(25)的中部位置相互贯通；夹持件包括两根分别沿长度方向穿设于不同限位槽(25)内的双向螺杆(26)、四根呈圆周阵列分别一一对应设置在限位槽(25)开口位置上的支撑条(12)、以及套设于两根双向螺杆(26)两端杆身上且分别与双向螺杆(26)螺纹连接的四个螺纹块，四个螺纹块均设置在限位槽(25)内且分别与四个支撑条(12)一一对应连接；四个支撑条(12)上侧面相互远离的一端端部上均设置卡爪(13)。
4.根据权利要求1所述的一种用于掩膜版条纹观察装置，其特征在于：平面调节组件包括四个底端呈圆周阵列设置在底座(1)上端面上且杆身沿竖直方向设置的升降螺杆(3)、四根分别与四根升降螺杆(3)一一对应且通过底端套设于升降螺杆(3)上的升降臂(4)、以及设置在升降臂(4)顶端与支...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐智俊，李文，杜晓威，徐兵，陈宝胜，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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