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本技术提供一种用于掩膜版条纹观察装置，包括可对掩膜版固定的夹持机构、以及设置在调节机构上对掩膜版进行观测的观测机构，夹持机构包括通过平面调节组件设置在底座上的支撑板、以及设置在支撑板上端面设置旋转组件上的夹持组件，平面调节组件调节支撑板板面...
该专利属于合肥清溢光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥清溢光电有限公司授权不得商用。

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