用于真空系统的铰链组件及真空系统技术方案

本公开提供了一种用于真空系统的铰链组件及真空系统，用于真空系统的铰链组件包括：固定件，包括固定通孔；活动件，包括铰接通孔；以及转轴，固定设置在固定通孔中，穿过铰接通孔，铰接通孔能够相对转轴移动。铰接通孔能够相对转轴移动。铰接通孔能够相对转轴移动。

【技术实现步骤摘要】
用于真空系统的铰链组件及真空系统


[0001]本公开涉及真空设备
，特别涉及一种用于真空系统的铰链组件及真空系统。

技术介绍

[0002]在真空环境下的生产或实验或称中，真空系统中的样品需要历经进样、生长、处理、表征等各个过程，因此往往需要对样品进行传递。为了避免破坏真空环境，使样品暴露在大气中，传统技术中使用快速进样腔进行样品传递或更换。快速进样腔包括腔体和腔门，腔门一般通过铰链铰接在腔体上，方便开关进出腔体。由于铰链处为固定结构，在腔体内抽真空时，由于气压变化等原因，铰链的装配调整十分困难。但是，如果不能将铰链调整到合适位置，则会造成腔门与腔体在开关时产生干涉，甚至产生无法对腔体进行真空密封的情况。

技术实现思路

[0003]本公开提供了一种用于真空系统的铰链组件，包括：固定件，包括固定通孔；活动件，包括铰接通孔；以及转轴，固定设置在固定通孔中，穿过铰接通孔，铰接通孔能够相对转轴移动。
[0004]在一些实施例中，用于真空系统的铰链组件还包括：轴套，套设在转轴上，且穿设在铰接通孔中。
[0005]在一些实施例中，轴套包括：套筒，套设在转轴上，且位于铰接通孔中；第一轴片，设置在套筒的第一端，包括第一通孔；以及第二轴片，设置在套筒的第二端，包括第二通孔，其中，转轴穿过第一通孔和第二通孔，与第一轴片和第二轴片转动连接。
[0006]在一些实施例中，用于真空系统的铰链组件还包括：至少一个弹簧，设置在铰接通孔内侧，第一端与铰接通孔的内侧内壁连接，第二端用于对轴套或套筒施加压力。r/>[0007]在一些实施例中，用于真空系统的铰链组件还包括：至少一个弹簧定位销，设置在铰接通孔的内侧内壁上，至少一个弹簧的第一端与至少一个弹簧定位销套设连接。
[0008]在一些实施例中，用于真空系统的铰链组件还包括：弹簧垫板，设置在铰接通孔中，与弹簧的第二端连接，且与轴套或套筒抵接，轴套或套筒包括用于与弹簧垫板抵接的平坦侧面。
[0009]在一些实施例中，弹簧垫板包括：垫板主体，与套筒抵接；至少一个凸起，设置在垫板主体上，且与至少一个弹簧的第二端套设连接。
[0010]在一些实施例中，铰接通孔的截面呈长条形。
[0011]本公开提供了一种真空系统，包括：真空腔，包括开口；门板，用于与真空腔的所述开口配合；以及至少一个根据本公开实施例中任意一项所述的用于真空系统的铰链组件，用于将门板连接至真空腔，以与真空腔的开口配合。
[0012]在一些实施例中，固定件固定设置在真空腔上，门板与活动件连接。
[0013]在一些实施例中，门板在真空关闭状态中，在气压下带动铰接通孔相对于转轴移动。
[0014]在一些实施例中，门板在真空关闭状态中，弹簧处于压缩状态。
[0015]根据本公开一些实施例的用于真空系统的铰链组件能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的用于真空系统的铰链组件能够解决常规技术中以下问题中的一项或多项：门板和腔体门框之间的铰链装配调整困难、腔门与腔体在开关时常有干涉、甚至无法对腔体进行真空密封，能够实现便于安装，无需调整就可以避免门板与腔体上的门框的干涉而无法关门的问题，门板能够平铺于门框上，更容易实现真空密封，腔体恢复大气压时铰链的反作用力使门板更容易打开的技术效果。
[0016]根据本公开一些实施例的真空系统能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的真空系统能够解决常规技术中以下问题中的一项或多项：快速进样腔开关不便、耗时较长、拉长生产或实验时间、降低效率，能够实现快速进样腔开关简便、节省时间、提高效率、降低成本的技术效果。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1示出根据本公开一些实施例的用于真空系统的铰链组件的侧视图；
[0019]图2示出根据本公开一些实施例的用于真空系统的铰链组件的截面示意图；
[0020]图3示出根据本公开一些实施例的用于真空系统的铰链组件的结构分解图；
[0021]图4示出根据本公开一些实施例的真空系统的结构示意图；以及
[0022]图5示出根据本公开一些实施例的真空系统的关闭状态示意图。在上述附图中，各附图标记分别表示：100用于真空系统的铰链组件
[0023]10 固定件
[0024]11 固定通孔
[0025]20 活动件
[0026]21 铰接通孔
[0027]30 转轴
[0028]40 轴套
[0029]41 套筒
[0030]411 上套筒
[0031]412 下套筒
[0032]42 第一轴片
[0033]421 第一通孔
[0034]43 第二轴片
[0035]431 第二通孔
[0036]51a、51b、51c弹簧
[0037]52a、52b、52c弹簧定位销
[0038]53 弹簧垫板
[0039]531 垫板主体
[0040]532a、532b、532c凸起
[0041]1000 真空系统
[0042]200 真空腔
[0043]201 开口
[0044]202 门板
[0045]203 门框
具体实施方式
[0046]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0047]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
[0048]图1示出根据本公开一些实施例的用于真空系统的铰链组件100的侧视图。图2示出根据本公开一些实施例的用于真本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空系统的铰链组件，其特征在于，包括：固定件，包括固定通孔；活动件，包括铰接通孔；以及转轴，固定设置在所述固定通孔中，穿过所述铰接通孔，所述铰接通孔能够相对所述转轴移动。2.根据权利要求1所述的用于真空系统的铰链组件，其特征在于，还包括：轴套，套设在所述转轴上，且穿设在所述铰接通孔中。3.根据权利要求2所述的用于真空系统的铰链组件，其特征在于，所述轴套包括：套筒，套设在所述转轴上，且位于所述铰接通孔中；第一轴片，设置在所述套筒的第一端，包括第一通孔；以及第二轴片，设置在所述套筒的第二端，包括第二通孔，其中，所述转轴穿过所述第一通孔和所述第二通孔，与所述第一轴片和所述第二轴片转动连接。4.根据权利要求3所述的用于真空系统的铰链组件，其特征在于，还包括：至少一个弹簧，设置在所述铰接通孔内侧，第一端与所述铰接通孔的内侧内壁连接，第二端用于对所述轴套或套筒施加压力。5.根据权利要求4所述的用于真空系统的铰链组件，其特征在于，还包括：至少一个弹簧定位销，设置在所述铰接通孔的内侧内壁上，所述至少一个弹簧的第一端与所述至少一个弹簧定位销套设连接。6.根据权利要求4所述的用于真空系统的铰链组件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢斌平，葛九文，张朱峰，郭维，
申请(专利权)人：费勉仪器科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：