通用型真空样品托组件制造技术

本公开提供了一种真空样品托组件，包括：样品托盘和安装组件。样品托盘包括：开口，用于容纳至少一个样品；以及至少一个连接结构，分布设置在开口外围。安装组件包括：主体安装件，包括至少一个主体安装连接件。至少一个主体安装连接件用于与至少一个连接结构中的一个或多个第一连接结构连接，以将至少一个样品安装在所述开口中。在所述开口中。在所述开口中。

【技术实现步骤摘要】
通用型真空样品托组件


[0001]本公开涉及真空设备
，特别涉及一种通用型真空样品托组件。

技术介绍

[0002]在真空环境下的生产或实验中，真空系统中的样品需要历经进样、生长、处理、表征等各个过程，因此往往需要对样品进行传递。常规的样品托盘只能用于承载特定尺寸和结构的样品。对于各种类型和规格的样品，需要设计不同的尺寸和结构的样品托盘，大大限制了样品托盘的使用效率和灵活适应能力。

技术实现思路

[0003]本公开提供了一种真空样品托组件，包括：样品托盘和安装组件。样品托盘包括：开口，用于容纳至少一个样品；以及至少一个连接结构，分布设置在开口外围。安装组件包括：主体安装件，包括至少一个主体安装连接件。至少一个主体安装连接件用于与至少一个连接结构中的一个或多个第一连接结构连接，以将至少一个样品安装在开口中。
[0004]在本公开的一些实施例中，安装组件还包括：至少一个外围安装件，包括至少一个外围连接件，至少一个外围连接件用于与至少一个连接结构中的一个或多个第二连接结构和/或样品连接，以将至少一个样品安装在开口中。
[0005]在本公开的一些实施例中，主体安装件包括：至少一个安装部分，用于通过至少一个主体安装连接件与一个或多个第一连接结构的连接，安装在样品托盘上；以及悬浮部分，用于悬浮在开口上方或开口中。
[0006]在本公开的一些实施例中，主体安装件还包括：至少一个样品安装连接件，用于将悬浮部分与样品连接，以将至少一个样品安装在开口中。
[0007]在本公开的一些实施例中，开口所容纳的至少一个样品包括第一样品和第二样品，至少一个安装部分包括安装在开口的第一侧的第一安装部分，悬浮部分从第一安装部分沿第一样品和第二样品之间的缝隙向开口上方延伸，至少一个样品安装连接件用于将悬浮部分与第一样品和第二样品连接。
[0008]在本公开的一些实施例中，至少一个安装部分包括安装在开口的第二侧的第二安装部分，第二侧与第一侧相对，悬浮部分从第一安装部分延伸到第二安装部分。
[0009]在本公开的一些实施例中，开口所容纳的至少一个样品包括第一样品和第二样品，至少一个安装部分包括安装在开口的第一侧的第一安装部分以及安装在开口的第二侧的第二安装部分，第二侧与第一侧相对，悬浮部分从第一安装部分延伸到第二安装部分，用于挤压在第一样品和第二样品之间。
[0010]在本公开的一些实施例中，主体安装件呈T字型、工字型或长条形。
[0011]在本公开的一些实施例中，安装组件包括：背侧安装件，包括至少一个背侧安装连接件，至少一个背侧安装连接件用于与至少一个连接结构中的一个或多个第三连接结构和/或至少一个样品和/或主体安装件连接。
[0012]在本公开的一些实施例中，真空样品托组件还包括：至少一个陪片安装架，设置在样品托盘上，用于承载至少一个陪片。
[0013]根据本公开一些实施例的真空样品托组件能够解决常规真空设备中一种样品托盘无法适用于多种应用的技术问题。可以通过设计通用型的样品托组件，灵活地适用于各种尺寸、规格、结构的样品，拓展了样品托组件的应用范围，降低了样品托组件的设计、制造成本，减少了不同样品之间切换的时间、金钱成本，提高了真空系统的适用性。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1示出根据本公开一些实施例的真空样品托组件的立体示意图；
[0016]图2示出根据本公开一些实施例的真空样品托组件的结构分解图；
[0017]图3示出根据本公开一些实施例的样品托盘的正视图；
[0018]图4示出根据本公开另一些实施例的真空样品托组件的立体示意图；
[0019]图5示出根据本公开另一些实施例的真空样品托组件的结构分解图；
[0020]图6示出根据本公开再一些实施例的真空样品托组件的立体示意图；以及
[0021]图7示出根据本公开再一些实施例的真空样品托组件的结构分解图。
具体实施方式
[0022]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0023]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“正”、“背”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
[0024]图1示出根据本公开一些实施例的真空样品托组件100的立体示意图，图2示出根据本公开一些实施例的真空样品托组件100的结构分解图。
[0025]如图1和图2所示，真空样品托组件100可以包括样品托盘110和安装组件120。图3示出根据本公开一些实施例的样品托盘110的正视图。如图1所示，样品托盘110可以包括开口111和至少一个连接结构112(例如，连接结构112a、112b、112c、112d、112e、112f、112g、112h、112i、112j、112k，在本公开中统称为112)。开口111可以用于容纳至少一个样品，例如
图1和图2所示的样品200a和200b(在本公开中统称为样品200)。本领域技术人员可以理解，本公开中所称的样品是整体称谓，可以包括待处理的物体(例如，巴条、晶片等等)和收纳待处理物体的收纳结构(例如，夹具、样品架、样品盒等等)。当然，样品也可以不包括收纳待处理物体的收纳结构。在本公开中，与样品的关系描述，例如与样品连接、承载样品、容纳样品，是指与待处理物体或框架的关系。
[0026]至少一个连接结构112可以分布设置在开口111外围。本领域技术人员可以理解，至少一个连接结构112没有必要全部用于安装样品，可以包括冗余的连接结构，以兼容不同的样品200和安装组件120的结构。图1、图2、图3中所示出的连接结构112是螺纹孔，但是这仅仅是示例性的实施例，连接结构112可以包括各种合适的连接结构，例如卡槽、凸起、螺栓等等。
[0027]如图1和图2所示，安装组件120可以包括主体安装件121。主体安装件121可以包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空样品托组件，其特征在于，包括：样品托盘，包括：开口，用于容纳至少一个样品；以及至少一个连接结构，分布设置在所述开口外围，以及安装组件，包括：主体安装件，包括至少一个主体安装连接件，所述至少一个主体安装连接件用于与所述至少一个连接结构中的一个或多个第一连接结构连接，以将所述至少一个样品安装在所述开口中。2.根据权利要求1所述的真空样品托组件，其特征在于，所述安装组件还包括：至少一个外围安装件，所述外围安装件包括至少一个外围连接件，所述至少一个外围连接件用于与所述至少一个连接结构中的一个或多个第二连接结构和/或所述样品连接，以将所述至少一个样品安装在所述开口中。3.根据权利要求1或2所述的真空样品托组件，其特征在于，所述主体安装件包括：至少一个安装部分，用于通过所述至少一个主体安装连接件与所述一个或多个第一连接结构的连接，安装在所述样品托盘上；以及悬浮部分，用于悬浮在所述开口上方或所述开口中。4.根据权利要求3所述的真空样品托组件，其特征在于，所述主体安装件还包括：至少一个样品安装连接件，用于将所述悬浮部分与所述样品连接，以将所述至少一个样品安装在所述开口中。5.根据权利要求4所述的真空样品托组件，其特征在于，所述开口所容纳的至少一个样品包括第一样品和第二样品，所述至少一个安装部分包括安装在所述开口的第一侧的第一安装部分，所述悬浮部分从所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王天邻，谢斌平，陈飞，
申请(专利权)人：费勉仪器科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：