本公开涉及真空装置技术领域，公开了一种衬底托盘取放装置及真空取样系统。衬底托盘取放装置包括导轨组件、传样车、车体驱动组件和取样组件。导轨组件包括一根或多根导轨。传样车包括车体、滑动组件、承载平台。滑动组件设置在车体底部并且设置在一根或多...

本公开提供了一种真空载样车及真空系统，真空载样车包括：车体，包括载样架，所述载样架用于承载至少一个样品；滑动装置，设置在所述车体的第一侧，用于使所述车体滑动；驱动装置，设置在所述车体的第二侧，用于接收驱动以带动所述车体滑动，所述车体的第...

本公开提供了一种用于真空系统的铰链组件及真空系统，用于真空系统的铰链组件包括：固定件，包括固定通孔；活动件，包括铰接通孔；以及转轴，固定设置在固定通孔中，穿过铰接通孔，铰接通孔能够相对转轴移动。铰接通孔能够相对转轴移动。铰接通孔能够相对...

本公开提供了一种真空样品转移组件及真空系统，真空样品转移组件包括真空筒；杆体，至少部分地设置在真空筒内；插头，设置在杆体的远端，包括至少一个针头；传动磁组件，设置在杆体的近端，包括至少一个传动磁体，用于接收磁驱动以带动杆体运动；以及驱动...

本公开涉及了一种收集装置、真空系统以及收集方法，收集装置包括：真空腔，用于接收包含可收集材料的混合气体；冷凝装置，设置在真空腔内，用于冷凝和转移混合气体中的可收集材料；以及收集器，包括：收集腔，与真空腔连接，用于收集转移的可收集材料。于...

本公开提供了一种真空传递装置及真空系统，真空传递装置包括：真空腔；真空导轨，固定设置在真空腔内；样品导轨，滑动设置在真空导轨上，用于引导样品架。用于引导样品架。用于引导样品架。

本公开提供了一种自清洁等离子净化器，包括：基座，包括插头；正离子释放器阵列，设置在基座上，包括多个用于释放正离子的正离子释放器；负离子释放器阵列，设置在基座上，包括多个用于释放负离子的负离子释放器；清洁机构，设置在基座上，用于清洁正离子...

本公开提供了一种真空样品托组件，包括：样品托盘和安装组件。样品托盘包括：开口，用于容纳至少一个样品；以及至少一个连接结构，分布设置在开口外围。安装组件包括：主体安装件，包括至少一个主体安装连接件。至少一个主体安装连接件用于与至少一个连接...

本公开提供了一种多蒸发源装置及真空系统，多蒸发源装置包括：真空法兰；以及多个蒸发源组件，设置在真空法兰上，多个蒸发源组件包括：第一蒸发源组件，包括：第一坩埚，用于盛放第一蒸发源材料；第一加热装置，与第一坩埚热耦合，用于加热第一坩埚中盛放...

本公开提供了一种太阳能等离子空气净化装置，包括：等离子发生模块，包括至少一个用于释放正离子的正离子释放器和/或至少一个用于释放负离子的负离子释放器；太阳能供电模块，用于向等离子发生模块供电以及自清洁模块，用于对等离子发生模块进行清洁。于...

本公开提供了一种样品承载结构及真空系统。该样品承载结构包括：托盘，设置有多个工位，所述工位用于容纳框架，所述框架用于收纳多片样品；固定件，用于将框架固定在所述工位上，所述固定件包括：基座；弹片，固定设置于所述基座上，用于在固定件固定所述...

本公开提供了一种扫地机，包括：壳体，包括入风口和出风口；正离子释放器阵列和/或负离子释放器阵列，设置在壳体中，正离子释放器阵列包括用于释放正离子的至少一个正离子释放器，和/或负离子释放器阵列包括用于释放负离子的至少一个负离子释放器；以及...

本公开提供一种自清洁等离子发生装置，其特征在于，包括：基座，具有第一表面和第二表面；正离子释放器阵列，设置在基座的第一表面处并且包括多个用于释放正离子的正离子释放器；负离子释放器阵列，设置在基座的第二表面处并且包括多个用于释放负离子的负...

本公开提供一种等离子谷物桶，包括：桶体，包括设置在顶部的开口；盖体，用于遮盖所述开口；以及至少一个等离子发生模块，设置于所述桶体内部或盖体内侧，用于向所述桶体内释放正负离子。等离子谷物桶能够杀灭谷物桶内空气及谷物表面病菌，抑制细菌、霉菌...

本公开提供了一种射频离子源，其特征在于，包括：射频激励装置，用于产生射频电场；离子发生装置，用于在射频电场的作用下产生等离子；延长管，包括：管体，用于容纳射频激励装置的至少一部分和离子发生装置的至少一部分，管体与离子发生装置真空密封连接...

本公开提供了一种真空密封装置，其特征在于，包括：第一密封件，包括第一安装孔，用于安装待密封件；密封圈，用于紧压密封；第二密封件，用于将密封圈紧压设置在第一安装孔内，以将待密封件与第一密封件真空密封连接。将待密封件与第一密封件真空密封连接...

本公开提供了一种等离子气体净化器，包括：净化器外壳，具有气流入口和气流出口；至少一个等离子发生模块，设置在净化器外壳内，包括至少一个用于释放正离子的正离子释放器和至少一个用于释放负离子的负离子释放器；以及气流驱动装置，设置在净化器外壳内...

本公开提供了一种可调制的射频离子源，其特征在于，包括：离子源，用于发射等离子体；真空调制装置，与所述离子源的输出端密封连接，包括：至少一个栅网，用于处理所述等离子体；至少一个真空电馈入件，与所述至少一个栅网连接，用于向所述至少一个栅网提...

本公开提供一种自清洁等离子发生模块以及自清洁气体净化器，自清洁等离子发生模块包括：支撑柱，具有第一表面和第二表面；一个或多个正离子释放器，设置在支撑柱的第一表面处；一个或多个负离子释放器，设置在支撑柱的第二表面处；以及电极清洁器，包括：...

本公开提供一种在线等离子处理系统，包括：舱体，包括传送入口和传送出口；传送带，贯穿所述舱体的传送入口和传送出口；风道，设置在所述舱体的一个或多个内侧上，包括一个或多个入风口和一个或多个出风口；一个或多个等离子发生器，位于所述风道中，用于...