【技术实现步骤摘要】
真空密封装置及真空光源
[0001]本公开涉及真空密封
，特别涉及一种真空密封装置及真空光源。
技术介绍
[0002]真空密封广泛应用于生产、科研的诸多领域，例如在真空光源领域。光电离源被广泛应用于生产、科研等诸多领域，目前常用的光电离源包括真空紫外灯、真空紫外激光和同步辐射光源等。其中同步辐射光源是一种利用相对论性电子(或正电子)在磁场中偏转时产生同步辐射的高性能强光光源，具有宽波段、高准直、高亮度、窄脉冲等优点。但是其结构复杂、体积庞大，造价昂贵，通常作为国家级大科学装置，由国家的力量兴建、运营。由于机时有限，用户根据研究需要递交申请材料，预约时间才能使用同步辐射光源产生的光束线。目前的同步辐射光源还无法满足广大科研工作者对于高亮度深紫外光子源日益增加的使用需求。
[0003]真空紫外激光主要利用激光轰击样品产生离子。主要使用的激光光源有Nd:YAG激光(1064nm)以及其四倍频和五倍频，ArF准分子激光(193nm)。真空紫外激光具有单色性好，方向性好，亮度高等特点，但是其安装复杂，尤其在与真空腔的视窗...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空密封装置，其特征在于，包括：第一密封件，包括第一安装孔，用于安装待密封件；密封圈，用于紧压密封；第二密封件，用于将所述密封圈紧压设置在所述第一安装孔内，以将所述待密封件与所述第一密封件真空密封连接。2.根据权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，还包括设置在所述第一安装孔上的倒角结构，用于容纳所述密封圈。3.根据权利要求2所述的真空密封装置，其特征在于，所述倒角结构与所述待密封件相配合。4.根据权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，所述第二密封件包括：第二安装孔，可以用于安装所述待密封件。5.根据权利要求1所述的真空密封装置，其特征在于，还包括：锁紧装置，所述锁紧装置包括至少三个螺栓。6.根据权利要求5所述的真空密封装置，其特征在于，所述第二密封件包括至少三个压紧孔，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹洁，叶玉龙，邵帅，赵子淳，王艳会，鹿建，
申请(专利权)人：费勉仪器科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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