真空传递装置及真空系统制造方法及图纸

本公开提供了一种真空传递装置及真空系统，真空传递装置包括：真空腔；真空导轨，固定设置在真空腔内；样品导轨，滑动设置在真空导轨上，用于引导样品架。用于引导样品架。用于引导样品架。

【技术实现步骤摘要】
真空传递装置及真空系统


[0001]本公开涉及真空设备
，特别涉及一种真空传递装置及真空系统。

技术介绍

[0002]真空运输腔道是真空互联与运输系统的重要组成部分，能够用于连接样品从进样、生长、处理、到表征等各个模块，可以手动控制或者程序化自动控制样品传输装置在真空运输腔道中沿不同路径运行，实现不同设备的互联互通，产生良好的协同效应，为促进材料研究提供了更为丰富的手段。传统技术中，将样品送入真空运输腔道主要是通过将样品放置于样品架上，手动送入真空运输腔道中，这会使样品长时间暴露在大气下，易造成样品变性。

技术实现思路

[0003]本公开提供了一种真空传递装置，包括：真空腔；真空导轨，固定设置在真空腔内；样品导轨，滑动设置在真空导轨上，用于引导样品架。
[0004]本公开提供了一种真空系统，包括：传递腔；如本公开的一些实施例中任意一项的真空传递装置，真空传递装置与真空腔真空密封连接。
附图说明
[0005]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0006]图1示出根据本公开一些实施例的真空系统的结构示意图；
[0007]图2示出根据本公开一些实施例的真空系统的侧视图；
[0008]图3示出根据本公开一些实施例的真空系统的截面图；r/>[0009]图4示出根据本公开一些实施例的真空传递装置的结构示意图；
[0010]图5示出根据本公开一些实施例的真空传递装置的分解图；
[0011]图6示出根据本公开一些实施例的真空传递装置的主视图；
[0012]图7示出根据本公开一些实施例的图6的A
‑
A截面图；
[0013]图8示出根据本公开一些实施例的框架组件的结构示意图；
[0014]图9示出根据本公开一些实施例的框架组件的仰视图；
[0015]图10示出根据本公开一些实施例的连接组件的结构示意图；
[0016]图11示出根据本公开一些实施例的框架组件和连接组件的配合状态示意图；
[0017]图12示出根据本公开一些实施例的锁钩与锁定结构的配合状态的局部放大图。
[0018]在上述附图中，各附图标记分别表示：
[0019]1000真空系统
[0020]200手套箱
[0021]201密封圈
[0022]300传递腔
[0023]301真空密封圈
[0024]400样品架
[0025]100真空传递装置
[0026]10真空腔
[0027]11开口
[0028]12腔门
[0029]20真空导轨
[0030]21第一真空导轨主体
[0031]22第二真空导轨主体
[0032]221凹槽
[0033]30样品导轨
[0034]31样品导轨主体
[0035]32a、32b样品导轨滑轮
[0036]33a传动磁体
[0037]40驱动组件
[0038]41驱动组件主体
[0039]42驱动磁体
[0040]43a、43b驱动滑轮
[0041]44定位销
[0042]45压柄
[0043]50驱动滑轨
[0044]51定位孔
[0045]60框架组件
[0046]61框架主体
[0047]611容纳腔
[0048]612开口
[0049]613容纳口
[0050]614锁定组件
[0051]6141锁钩
[0052]6141a第一锁定斜面
[0053]6142限位件
[0054]6143导向轮
[0055]6144轴承
[0056]6145轴承安装件
[0057]62第一滑动组件
[0058]621a、621b底部滑轨
[0059]621c、621d侧面滑轨
[0060]63限位板
[0061]70连接组件
[0062]71连接主体
[0063]72第二滑动组件
[0064]721a、721b、721c、721d侧面滑轮
[0065]721e、721f、721g、721h顶部滑轮
[0066]73锁定结构
[0067]73a第二锁定斜面
[0068]74限位组件
[0069]741调节座
[0070]742调节栓
具体实施方式
[0071]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0072]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
[0073]图1示出根据本公开一些实施例的真空系统1000的结构示意图。图2示出根据本公开一些实施例的真空系统1000的侧视图。图3示出根据本公开一些实施例的真空系统1000的截面图。
[0074]如图1
‑
图3所示，真空系统1000可以包括手套箱200、传递腔300以及真空传递装置100。真空传递装置100至少部分地设置在手套箱200内，且与传递腔300真空密封连接。手套箱200能够通过气体净化系统不断对手套箱200内的气体进行净化(例如除去水、氧)，始终保持高洁净和高纯度的惰性气体环境，从而避免样品架400上的样品暴露在大气中，影响样品的性质。
[0075]如图1
‑
图3所示，在本公开的一些实施例中，真空传递装置100和手套箱200出口的连接处设置有密封圈201，通过螺丝将密封圈201压紧，使得真空传递装置100和手套箱200之间密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空传递装置，其特征在于，包括：真空腔；真空导轨，固定设置在所述真空腔内；样品导轨，滑动设置在所述真空导轨上，用于引导样品架。2.根据权利要求1所述的真空传递装置，其特征在于，所述样品导轨包括：样品导轨主体；至少一组样品导轨滑轮，设置在所述样品导轨主体两侧；至少一个传动磁体，用于接收磁驱动。3.根据权利要求2所述的真空传递装置，其特征在于，所述真空导轨包括：第一真空导轨主体；第二真空导轨主体，所述第一真空导轨主体和所述第二真空导轨主体相对的侧面上包括凹槽，用于与所述至少一组样品导轨滑轮配合，使得所述样品导轨主体能够在所述第一真空导轨主体和所述第二真空导轨主体上滑动。4.根据权利要求2所述的真空传递装置，其特征在于，还包括：驱动组件，滑动设置在所述真空腔上；所述驱动组件包括：驱动组件主体；至少一个驱动磁体，设置在所述驱动组件主体上，用于与所述至少一个传动磁体磁耦合，以驱动所述样品导轨滑动。5.根据权利要求4所述的真空传递装置，其特征在于，还包括：驱动滑轨，固定设置在所述真空腔上；所述驱动组件还包括：至少一组驱动滑轮，设置在所述驱动组件主体上，且与所述驱动滑轨滑动配合。6.根据权利要求5所述的真空传递装置，其特征在于，所述驱动组件还包括：定位销；压柄，与所述驱动组件主体转动连接，且与所述定位销连接，用于锁定或释放所述定位销和/或用于推动所述驱动组件主体在所述驱动滑轨上滑动。7.根据权利要求6所述的真空传递装置，其特征在于，所述驱动滑轨包括：多个定位孔，开设在所述驱动滑轨上，用于锁定所述定位销。8.根据权利要求1
‑
7中任一项所述的真空传递装置，其特征在于，还包括：连接组件，与所述样品架固定连接，用于带动所述样品架在所述样品导轨上滑动，包括：连接主体，用于可拆卸地至少部分容纳在所述容纳腔内；第二滑动组件，设置在所述连接主体上，用于使所述连接主体在所述样品导轨上滑动。9.根据权利要求8所述的真空传递装置，其特征在于，框架组件，包括：框架主体，包括容纳腔；第一滑动组件，设置在所述框架主体上且至少部分位于所述容纳腔内，所述第一滑动
组件，包括一个或多个滑轨，设置在所述容纳腔的内壁上，其中所述样品导轨用于沿所述真空导轨滑动以与所述一个或多个滑轨对接；所述第二滑动组件，包括：一组或多组滑轮或滑块，设置在所述连接主体上，与所述样品导轨配合，用于使所述连接主体在所述样品导轨上滑动，并且与所述一个或...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛九文，顾杰，张朱峰，郭维，
申请(专利权)人：费勉仪器科技南京有限公司，
类型：发明
国别省市：