本实用新型专利技术公开了搬运装置以及板式PECVD设备用上料机。该搬运装置用于将已被定位的片材转移到载具中，包括：龙门部，具有沿第一方向驱动的第一驱动部；获取部，架设在所述龙门部并被所述第一驱动部驱动以获取所述片材或者将所述片材转移到所述载具中，所述获取部具有：调整平台以及多个吸附组件，多个所述吸附组件分别搭载在所述调整平台并且一个所述吸附组件可独立地吸附并保持一片所述片材，所述调整平台可基于所述载具的位置同时对多个所述吸附组件的位置进行调整。根据本实用新型专利技术的搬运装置能够被使用在板式PECVD设备用上料机中，并能够降低成本。并能够降低成本。并能够降低成本。
【技术实现步骤摘要】
搬运装置以及板式PECVD设备用上料机
[0001]本技术涉及但不限于搬运设备
，尤其涉及一种搬运装置以及板式PECVD设备用上料机。
技术介绍
[0002]在将一个片材从一个工位转移到另一个工位的时候，有时会需要对该片材进行二次调整。从而准确地转移该片材。
[0003]以作为光伏制造设备的一种的板式PECVD上下料机为例，板式PECVD上下料机用于在PECVD工艺的前后，将硅片转移到载盘中或将载盘中的硅片转移到片篮中。现有当中，板式PECVD上下料机通常是将硅片从料篮卸片，然后放置到皮带线上中转，再将皮带线上的硅片转移到载盘上。然而，由于皮带线具有一定的柔性，其搬运精度不高，在将硅片从皮带线转移到载盘上时，可能会出现由于硅片在皮带线上偏摆，最终导致硅片不能准确地转移到载板的情况。
[0004]为此，有针对用于对硅片进行搬运的搬运装置进行了改进。例如，在搬运装置当中，针对所搬运的每一个硅片，均设置有独立的纠偏装置，通过对硅片进行纠偏，从而提高硅片的上料精度。但是，针对每一个硅片均设置独立的纠偏装置，同样带来成本高昂的技术问题。
技术实现思路
[0005]另外，随着板式PECVD上下料机的改善，各个环节的定位精度也在提高。例如，在已知技术当中，有针对搬运装置的前端设备例如用于中转硅片的皮带线进行改进的技术方案。具体来说，通过采用例如在电机驱动的滑台模组搭载用于对硅片进行定位的治具的取片装置，从而实现更高精度地取放硅片。即，硅片在被搬运装置搬运之间已经实现更高精度地被定位，在此前提下，不需要继续使用现有技术当中的定位精度高但成本高昂的搬运装置。
[0006]本技术针对于此，为此提出了一种搬运装置，能够被使用在板式PECVD设备用上料机中，并能够降低成本。此外，本技术还提出了具有该搬运装置的板式PECVD设备用上料机。
[0007]根据本技术第一方面的搬运装置，用于将已被定位的片材转移到载具中，包括：龙门部，具有沿第一方向驱动的第一驱动部；获取部，架设在所述龙门部并被所述第一驱动部驱动以获取所述片材或者将所述片材转移到所述载具中，所述获取部具有：调整平台以及多个吸附组件，多个所述吸附组件分别搭载在所述调整平台并且一个所述吸附组件可独立地吸附并保持一片所述片材，所述调整平台可基于所述载具的位置同时对多个所述吸附组件的位置进行调整。
[0008]根据本技术第一方面的搬运装置，具有如下有益效果：能够被使用在板式PECVD设备用上料机中，并能够降低成本。
[0009]在一些实施方式中，所述龙门部架设有基座，所述基座上设置有沿在水平方向与所述第一方向正交的第二方向排列的多个所述获取部。
[0010]在一些实施方式中，所述获取部还包括第二驱动部，所述第二驱动部沿垂直于所述片材的表面且与所述第一方向正交的第三方向驱动；所述第二驱动部搭载在所述调整平台，并沿所述第三方向可驱动多个所述吸附组件。
[0011]在一些实施方式中，所述第二驱动部包括：丝杆传动机构，设置在所述调整平台的中部；两个线性导向部，分别设置在所述调整平台的两侧。
[0012]在一些实施方式中，所述获取部还包括第二驱动部，所述第二驱动部沿垂直于所述片材的表面且与所述第一方向正交的第三方向驱动；所述调整平台搭载在所述第二驱动部。
[0013]在一些实施方式中，所述调整平台基于外设的检测装置所检测到的所述载具的位置，来对多个所述吸附组件进行调整。
[0014]在一些实施方式中，多个所述吸附组件沿所述第一方向分为多组。
[0015]在一些实施方式中，所述获取部还具有变距部，所述变距部沿所述第一方向调节至少两组相邻的所述吸附组件之间的距离。
[0016]在一些实施方式中，多个所述吸附组件沿所述第二方向分为多组。
[0017]根据本技术第二方面的板式PECVD设备用上料机，用于将料篮的片材搬运到板式PECVD设备用的载具，包括：取片装置以及上述任一项的搬运装置。其中：
[0018]所述取片装置用于从所述料篮中获取所述片材，所述取片装置包括：取片部，具有第三驱动部以及被所述第三驱动部驱动的第一载置部，所述第一载置部具有第一支撑件以及第一定位件，所述第一支撑件所述片材，所述第一定位件对所述片材进行定位，多个缓存部，各所述缓存部具有第四驱动部以及被所述第四驱动部驱动的第二载置部，所述第二载置部具有第二支撑件以及第二定位件，所述第二支撑件支撑所述片材，所述第二定位件对所述片材进行定位，所述第一载置部被所述第三驱动部驱动而在所述料篮以及所述缓存部之间转移，在所述第一载置部处在所述料篮的位置时，所述第一载置部可载置来自所述料篮的所述片材，在所述第一载置部处在与所述缓存部相对的位置时，所述第二载置部可被所述第四驱动部驱动而抵接并载置所述片材。
[0019]所述获取部可被所述龙门部驱动而在所述载具与所述缓存部之间转移，以通过各所述吸附组件吸附载置在所述缓存部的所述片材，或者将被保持在所述吸附组件的所述片材转移到所述载具。
[0020]根据本技术第二方面的板式PECVD设备用上料机，具有如下有益效果：能够降低其所使用的搬运装置的成本。
附图说明
[0021]图1是本技术的搬运装置的一种实施方式的示意图。
[0022]图2是图1中的获取部的俯视方向的示意图。
[0023]图3是图1中的获取部的仰视方向的示意图。
[0024]图4是图2中的获取部的要部(省略调整平台)的示意图。
[0025]图5是具有图1的搬运装置的板式PECVD设备用上料机的一种实施方式的示意图。
[0026]图6是图5中的取片装置的示意图。
[0027]图7是图6中的第二载置部的示意图。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本实施方式的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实施方式，而不能理解为对本实施方式的限制。
[0029]在本实施方式的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实施方式的限制。
[0030]在本实施方式的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0031]本实施方式的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.搬运装置，用于将已被定位的片材转移到载具中，其特征在于，包括：龙门部，具有沿第一方向驱动的第一驱动部；获取部，架设在所述龙门部并被所述第一驱动部驱动以获取所述片材或者将所述片材转移到所述载具中，所述获取部具有：调整平台以及多个吸附组件，多个所述吸附组件分别搭载在所述调整平台并且一个所述吸附组件可独立地吸附并保持一片所述片材，所述调整平台可基于所述载具的位置同时对多个所述吸附组件的位置进行调整。2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述龙门部架设有基座，所述基座上设置有沿在水平方向与所述第一方向正交的第二方向排列的多个所述获取部。3.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述获取部还包括第二驱动部，所述第二驱动部沿垂直于所述片材的表面且与所述第一方向正交的第三方向驱动；所述第二驱动部搭载在所述调整平台，并沿所述第三方向可驱动多个所述吸附组件。4.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，所述第二驱动部包括：丝杆传动机构，设置在所述调整平台的中部；两个线性导向部，分别设置在所述调整平台的两侧。5.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述获取部还包括第二驱动部，所述第二驱动部沿垂直于所述片材的表面且与所述第一方向正交的第三方向驱动；所述调整平台搭载在所述第二驱动部。6.根据权利要求1至5中任一项所述的搬运装置，其特征在于，所述调整平台基于外设的检测装置所检测到的所述载具的位置，来对多个所述吸附组件进行调整。7.根据权利要求1至5中任一项所述的搬运装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晨光，曹禺，周宏业，胡艳东，邓金生，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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