温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了搬运装置以及板式PECVD设备用上料机。该搬运装置用于将已被定位的片材转移到载具中，包括：龙门部，具有沿第一方向驱动的第一驱动部；获取部，架设在所述龙门部并被所述第一驱动部驱动以获取所述片材或者将所述片材转移到所述载具中，所...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。