本发明专利技术公开了一种自动化直拉单晶炉副室清理装置，包括与副室内壁（1）相适配的架体（2），架体（2）包括相连的旋转毛刷桶架（201）和往复毛刷桶架（202），旋转毛刷桶架（201）的内径大于往复毛刷桶架（202）的外径，往复毛刷桶架（202）的上方连有集尘盒（3），旋转毛刷桶架（201）的下方设有吹扫吸尘装置（4）且其底部中轴与第一驱动电机（5）相连，第一驱动电机（5）固定于设备平台（6）上，设备平台（6）的下方与升降装置（7）相连，升降装置（7）的底部固定在行车（8）上，且行车（8）上设有电路控制面板（9）。本发明专利技术的优点是提高清洁效果和纯度，避免漏刷，实时观测，减少体力劳动，实现自动化和高效化。实现自动化和高效化。实现自动化和高效化。
【技术实现步骤摘要】
一种自动化直拉单晶炉副室清理装置
[0001]本专利技术涉及单晶硅直拉
，尤其涉及一种自动化直拉单晶炉副室清理装置。
技术介绍
[0002]在单晶拉制过程中，单晶炉炉体内壁的洁净度是影响晶体成晶的关键因素之一。 单晶炉中主室主要用于硅料的加热反应，在主室中形成的晶体通过置于副室中的提升装置被向上提拉。在拉制过程中，氩气从副室中通过，并流入到主室中，氩气携带着反应的挥发物顺着副室向下运动，挥发物的残留物沿炉膛内壁沉积，这些残渣灰尘若不及时清理，会在拉晶过程中落入主室中的硅料中，污染硅液纯度，严重影响晶体成晶质量。
[0003]单晶炉副室为圆筒状结构，又高又窄，清理操作困难，于是现有专利中存在较多用于副室清理的装置，但是这些装置的结构普遍是将旋转刷头通过升降装置伸入副室内，通过刷头旋转实现副室内壁的清理。但是，在清理过程中，由于副室是不透明的长筒，不易观察副室内壁情况，清洁效果差，容易出现漏刷且清洗效果不一致的情况。
技术实现思路
[0004]本专利技术目的就是为了解决现有副室清理装置清洁模式单一、效果不理想和无法观测内壁清理效果的问题，提供了一种自动化直拉单晶炉副室清理装置，提高清洁效果和纯度，避免漏刷和清洗效果不一致的现象，实时观测清理情况，减少体力劳动，实现自动化和高效化。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种自动化直拉单晶炉副室清理装置，包括与副室内壁相适配的架体，架体包括上下相连的旋转毛刷桶架和往复毛刷桶架，旋转毛刷桶架的内径大于往复毛刷桶架的外径，往复毛刷桶架的上方连有集尘盒，旋转毛刷桶架的下方设有吹扫吸尘装置且其底部中轴与第一驱动电机的输出端相连，第一驱动电机固定于设备平台上，设备平台的下方与一个升降装置相连，升降装置的底部固定在行车上，且行车上设有电路控制面板，以便于人员操作；所述旋转毛刷桶架的外壁设有一组蜂巢网状结构的冲刷孔和一组旋转毛刷，冲刷孔和旋转毛刷间隔交错排列，旋转毛刷桶架内设有一组喷洗装置，喷洗装置的中轴与第一锥齿轮相连，第一锥齿轮连接在往复毛刷桶架的底板上；所述往复毛刷桶架内设有第二驱动电机，第二驱动电机的输出轴上连有驱动齿轮，驱动齿轮与两侧的传动齿轮相互啮合，传动齿轮的中部与传动轴相连，传动轴的两侧分别连有第二锥齿轮，第二锥齿轮与对应侧的第一锥齿轮相互啮合，且传动轴的两端水平伸出往复毛刷桶架外与往复机构相连，往复机构上连有弧形的毛刷固定片，毛刷固定片上连有往复毛刷；旋转毛刷和往复毛刷均与副室内壁相接触；
所述集尘盒的外壳设为笼状结构，其顶部连有一组吸尘风机，以用于将往复毛刷清理的灰尘及时吸入盒中，避免二次污染。
[0006]进一步地，所述往复机构包括三角回旋镖、往复杆、上限位座和下限位座，上限位座和下限位座分别固定在往复毛刷桶架外壁的上下边沿处，往复杆竖直穿过上限位座和下限位座内的限位孔，往复杆的中部设有竖直的腰型孔，腰型孔的上下方分别连有一个滚轮，三角回旋镖的外轮廓均采用圆弧过渡且与滚轮相贴合，三角回旋镖的旋转轴设于腰型孔内且与传动轴相连，旋转轴与腰型孔形成滑动导向配合，以用于通过滚轮沿着回旋镖外轮廓移动实现往复杆的上下移动。
[0007]进一步地，所述旋转毛刷桶架的内壁与往复毛刷桶架的外壁之间设有移动间隙，往复杆的下端伸入移动间隙内运动，毛刷固定片连接在弧形的筋板上，筋板再通过连接杆与往复杆相连，毛刷固定片位于旋转毛刷桶架的外侧，以用于避免桶架阻碍上下移动路径。
[0008]进一步地，所述往复机构设为四个，沿着往复毛刷桶架的四周均匀分布，且每个筋板均为四分之一圆弧杆，每个毛刷固定片均为四分之一圆弧板。
[0009]进一步地，所述喷洗装置包括竖直的喷洗管，喷洗管的底部通过软管与外部的储气储水泵相连，喷洗管的管壁上开设一组喷洗口，喷洗口正对着旋转毛刷桶架的冲刷孔设置，喷洗管的顶部与第一锥齿轮的中轴相连，以用于实现旋转喷射冲刷的功能。
[0010]进一步地，所述集尘仓的顶部连有限位传感器，以用于当设备升到副室顶部时自动停止，防止设备与副室上端摩擦产生金属。
[0011]进一步地，所述旋转毛刷桶架的外壁上内嵌微型摄像头，微型摄像头设于保护罩内，保护罩的上边沿伸出旋转毛刷桶架的外壁且倾斜向下设置，保护罩内还设有LED灯，LED灯设于微型摄像头的下方，用于摄像头的补光。
[0012]进一步地，所述升降装置为升降气缸或液压缸。
[0013]进一步地，所述旋转毛刷桶架与往复毛刷桶架之间通过辐条状的固定杆相连。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的技术方案的优点具体在于：（1）本专利技术采用旋转毛刷和往复毛刷的组合，既能实现周向的旋转清理，还可以实现上下的二次清理，避免任何漏刷和死角，清洁更加彻底；（2）本专利技术的旋转毛刷桶架集刷洗和冲洗为一体，外壁采用蜂巢网状结构的冲刷孔，不仅可以最大程度地均匀分布密集的旋转毛刷，还可以使桶架内喷洗装置喷射出的水流均匀落在旋转毛刷之间，提高冲刷清理的效果；（3）本专利技术采用往复机构带动毛刷上下移动，电机驱动齿轮和传动轴旋转，带动三角回旋镖旋转，从而使往复杆上的滚轮沿着三角回旋镖的外轮廓移动，在移动过程中带动往复杆沿着腰型孔上下移动，从而带动往复杆上装配的毛刷固定片上下移动，实现毛刷的往复清理；（4）本专利技术的吹扫吸尘装置兼顾吹扫和吸尘功能，设备上升时可吹出压缩氩气进行初步清扫，设备下降喷刷时转换成吸入风，将清扫时的杂物吸入装置内，一举两得；（5）本专利技术内嵌微型摄像头，且利用倾斜的防护檐防止摄像头被污染，维持摄像头的正常使用，同时防护檐设置在冲刷孔的下方，喷射的流水也可以带走防护檐上的部分杂质，保持镜头干净；（6）本专利技术的装置提高了清洁效果和纯度，避免了漏刷，可以实时观测清理情况，
减少体力劳动，实现自动化和高效化。
附图说明
[0015]图1为本专利技术的一种自动化直拉单晶炉副室清理装置结构示意图；图2为本专利技术的架体的外部结构图；图3为本专利技术的往复毛刷桶架的内部结构图；图4为本专利技术的旋转毛刷桶架的内部结构图；图5为本专利技术的一种自动化直拉单晶炉副室清理装置俯视图；图6为本专利技术的往复机构的结构图；图7为本专利技术的往复机构移动至最下方时的状态图；图8为本专利技术的往复机构在移动中的状态图；图9为本专利技术的微型摄像头的装配示意图。
实施方式实施例
[0016]为使本专利技术更加清楚明白，下面结合附图对本专利技术的一种自动化直拉单晶炉副室清理装置进一步说明，此处所描述的具体实施例仅用于解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0017]一种自动化直拉单晶炉副室清理装置，包括与副室内壁1相适配的架体2，其特征在于：参见图1、图2和图5，架体2包括上下相连的旋转毛刷桶架201和往复毛刷桶架202，二者通过辐条状的固定杆28相连，旋转毛刷桶架201的内径大于往复毛刷桶架202的外径，且二者之间设有移动间隙2a；往复毛刷桶架202的上方连有集尘盒3，旋转毛刷桶架201的下方设有吹扫吸尘装置4且其底部中轴与第一驱动电机5的输出端相连，第一驱动电机5固定于设备平台6上，设备平台本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动化直拉单晶炉副室清理装置，包括与副室内壁（1）相适配的架体（2），其特征在于：架体（2）包括上下相连的旋转毛刷桶架（201）和往复毛刷桶架（202），旋转毛刷桶架（201）的内径大于往复毛刷桶架（202）的外径，往复毛刷桶架（202）的上方连有集尘盒（3），旋转毛刷桶架（201）的下方设有吹扫吸尘装置（4）且其底部中轴与第一驱动电机（5）的输出端相连，第一驱动电机（5）固定于设备平台（6）上，设备平台（6）的下方与一个升降装置（7）相连，升降装置（7）的底部固定在行车（8）上，且行车（8）上设有电路控制面板（9）；所述旋转毛刷桶架（201）的外壁设有一组蜂巢网状结构的冲刷孔（10）和一组旋转毛刷（11），冲刷孔（10）和旋转毛刷（11）间隔交错排列，旋转毛刷桶架（201）内设有一组喷洗装置（12），喷洗装置（12）的中轴与第一锥齿轮（13）相连，第一锥齿轮（13）连接在往复毛刷桶架（202）的底板上；所述往复毛刷桶架（202）内设有第二驱动电机（14），第二驱动电机（14）的输出轴上连有驱动齿轮（15），驱动齿轮（15）与两侧的传动齿轮（16）相互啮合，传动齿轮（16）的中部与传动轴（17）相连，传动轴（17）的两侧分别连有第二锥齿轮（18），第二锥齿轮（18）与对应侧的第一锥齿轮（13）相互啮合，且传动轴（17）的两端水平伸出往复毛刷桶架（202）外与往复机构（19）相连，往复机构（19）上连有弧形的毛刷固定片（20），毛刷固定片（20）上连有往复毛刷（21），旋转毛刷（11）和往复毛刷（21）均与副室内壁（1）相接触；所述集尘盒（3）的外壳设为笼状结构（31），其顶部连有一组吸尘风机（32）。2.根据权利要求1所述的自动化直拉单晶炉副室清理装置，其特征在于：所述往复机构（19）包括三角回旋镖（191）、往复杆（192）、上限位座（193）和下限位座（194），上限位座（193）和下限位座（194）分别固定在往复毛刷桶架（202）外壁的上下边沿处，往复杆（192）竖直穿过上限位座（193）和下限位座（194）内的限位孔（193a），往复杆（192））的中部设有竖直的腰型孔（192a），腰型孔（192a）的上下方分别连有一个滚轮（192b），三角回旋...
【专利技术属性】
技术研发人员：王建宇，王军磊，王艺澄，
申请(专利权)人：云南美科新能源发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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