一种石英加料器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石英加料器。将环形件套设在石英桶，并在环形件的周向开设多个安装滚轮的安装槽，进而可将滚轮安装在安装槽，通过上述公开的石英加料器，石英加料器在副室内提升或下降时，滚轮与副室内壁接触，由于滚轮是可以转动的，因此，能够有效避免环形件与副室内壁剐蹭，进而避免副室内壁产生金属粉末掉入石英坩埚，进一步避免石英坩埚内的原料被金属污染，提升了单晶硅棒的合格率。提升了单晶硅棒的合格率。提升了单晶硅棒的合格率。

【技术实现步骤摘要】
一种石英加料器


[0001]本技术涉及单晶硅棒生产领域，具体为一种石英加料器。

技术介绍

[0002]目前，单晶硅棒生产制造普遍使用RCZ(连续加料)，加料方式主要是以石英桶加料器进行加料，现有的石英加料器主要由石英桶和四氟法兰两部分构成，用石英加料器加料时，在炉外备料室将拉晶单晶硅所需的原料由装料人员装到石英桶内，然后石英加料器通过单晶炉内的钢丝绳提升到副室内，通过对石英加料器的提升和下降，最后完成加料过程，而四氟法兰则是用来保护石英桶在提升或下降过程中免受磕碰损坏。
[0003]但是，石英加料器在副室内提升或者下降时，石英桶上的四氟法兰无法避免与副室内壁刮蹭，而四氟法兰刮蹭副室内壁会导致副室内壁的金属粉末掉落到石英坩埚里，进而造成石英坩埚中的原料金属污染，使得生产出来的单晶硅棒会因为金属污染成为不合格品。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术实施例提供了一种石英加料器，以解决现有石英加料器的四氟法兰在提升或下降时与副室内壁剐蹭的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术实施例提供如下技术方案：
[0006]一种石英加料器，包括：石英桶、环形件和多个滚轮；
[0007]所述环形件套设于所述石英桶；
[0008]所述环形件的周向开设有多个安装所述滚轮的安装槽。
[0009]优选的，多个所述安装槽沿所述环形件的周向均匀设置。
[0010]优选的，所述滚轮采用聚四氟乙烯制成。
[0011]优选的，所述环形件通过螺钉固定于所述石英桶。
>[0012]优选的，所述环形件采用聚四氟乙烯制成。
[0013]优选的，所述环形件包括：筒体、第一环圈和第二环圈；
[0014]所述第一环圈设置于所述筒体的上端；
[0015]所述第二环圈设置于所述筒体的下端。
[0016]优选的，所述第二环圈的外径大于所述第一环圈的外径，所述安装槽开设于所述第二环圈。
[0017]优选的，所述筒体的外壁设有加强筋。
[0018]基于上述本技术提供的一种石英加料器，将环形件套设在石英桶，并在环形件的周向开设多个安装滚轮的安装槽，进而可将滚轮安装在安装槽，通过上述公开的石英加料器，石英加料器在副室内提升或下降时，滚轮与副室内壁接触，由于滚轮是可以转动的，因此，能够有效避免环形件与副室内壁剐蹭，进而避免副室内壁产生金属粉末掉入石英坩埚，进一步避免石英坩埚内的原料被金属污染，提升了单晶硅棒的合格率。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术实施例提供的一种石英加料器的结构示意图；
[0021]图2为本技术实施例提供的石英加料器的俯视图；
[0022]图3为本技术实施例提供的环形件的结构示意图。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]本技术实施例提供一种石英加料器，参见图1至图3，图1为石英加料器的结构示意图，所述石英加料器包括：石英桶1、环形件2和多个滚轮3；
[0025]环形件2套设于石英桶1；
[0026]环形件2的周向开设有多个安装滚轮3的安装槽。
[0027]需要说明的是，在石英桶1上套设环形件2，环形件2能够避免石英桶1在副室内提升或下降过程中磕碰损坏。
[0028]本技术实施例将环形件2套设在石英桶1，并在环形件2的周向开设多个安装滚轮3的安装槽，进而可将滚轮3安装在安装槽，通过上述公开的石英加料器，石英加料器在副室内提升或下降时，滚轮3与副室内壁接触，由于滚轮3是可以转动的，因此，能够有效避免环形件2与副室内壁剐蹭，进而避免副室内壁产生金属粉末掉入石英坩埚，进一步避免石英坩埚内的原料被金属污染，提升了单晶硅棒的合格率。
[0029]具体的，多个安装槽沿环形件2的周向均匀设置。
[0030]需要说明的是，将多个安装槽沿环形件2的周向均匀设置，可在石英加料器提升或下降时，保证环形件2不与副室内壁剐蹭。
[0031]优选的，安装槽的数量为4个，滚轮的数量为4个，安装槽位置分别位于环形件2的前、后、左和右四个方向。
[0032]具体的，滚轮3采用聚四氟乙烯制成。
[0033]需要说明的是，聚四氟乙烯是一种以四氟乙烯作为单体聚合制得的高分子聚合物，耐热、耐寒性优良，可在
‑
180～260℃长期使用。这种材料具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂。同时，聚四氟乙烯具有耐高温的特点，它的摩擦系数极低，所以可作润滑作用之余，亦成为了易清洁水管内层的理想涂料，因此，滚轮3采用聚四氟乙烯制成，避免滚轮3在高温条件下对石英坩埚中的原料污，进一步保证生产的单晶硅棒的合格率。
[0034]进一步，环形件2通过螺钉固定于石英桶1。
[0035]需要说明的是，环形件2通过螺钉固定于石英桶1，也可以通过其他方式固定在石
英桶1，还可以通过在石英桶1的上部和下部设置限位结构以限制环形件2移动。
[0036]进一步，环形件2采用聚四氟乙烯制成。
[0037]需要说明的是，环形件2采用聚四氟乙烯制成，使得石英加料器在副室内提升或者下降时，能够避免环形件2在高温条件下对石英坩埚中的原料污，进一步保证生产的单晶硅棒的合格率。
[0038]具体的，参考图3，环形件2包括：筒体21、第一环圈22和第二环圈23；
[0039]第一环圈22设置于筒体21的上端；
[0040]第二环圈23设置于筒体21的下端。
[0041]需要说明的是，将第一环圈22设置于筒体21的上端，以及第二环圈23设置于筒体21的下端，形成法兰状结构，能够有效提升环形件2整体的刚度，且能够防止环形件2在石英桶1提升或下降过程中变形。
[0042]具体的，第二环圈23的外径大于第一环圈22的外径，安装槽开设于第二环圈23。
[0043]具体的，筒体21的外壁设有加强筋24。
[0044]需要说明的是，通过在筒体21的外壁设置加强筋24，能够进一步提升环形件2整体的刚度，避免环形件2在高温环境下发生形变，进一步避免石英桶1在提升或下降过程中与副室壁磕碰。
[0045]需要说明的是，将第二环圈23的外径设置成大于第一环圈22的外径，并在第二环圈23上开设安装槽，进而在石英桶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英加料器，其特征在于，包括：石英桶、环形件和多个滚轮；所述环形件套设于所述石英桶；所述环形件的周向开设有多个安装所述滚轮的安装槽，其中，多个所述安装槽沿所述环形件的周向均匀设置。2.根据权利要求1所述的石英加料器，其特征在于，所述滚轮采用聚四氟乙烯制成。3.根据权利要求1所述的石英加料器，其特征在于，所述环形件通过螺钉固定于所述石英桶。4.根据权利要求1所述的石英加料器，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：万军军，
申请(专利权)人：双良硅材料包头有限公司，
类型：新型
国别省市：