一种方硅棒往复磨工艺制造技术

本发明专利技术提供一种方硅棒往复磨工艺，属于机械加工技术领域，通过夹持转动机构对方硅棒进行夹持并实现转动；通过Y轴移动机构对夹持转动机构进行移动；通过打磨机构对方硅棒进行粗打磨和精打磨；通过X轴移动机构对打磨机构进行移动，本方案中通过安装轴转动可以实现粗磨轮和精磨轮转动，通过粗磨轮和精磨轮转动可以分别对方硅棒进行粗打磨和精打磨，通过电动伸缩杆C伸长可以实现齿条移动，通过齿条移动可以实现第二齿轮转动，通过第二齿轮转动可以实现转轴转动，通过转轴转动可以调整粗磨轮和精磨轮的位置，可以解决现有技术中方硅棒打磨设备无法实现方硅棒往复磨削，方硅棒加工及返修效率低的问题。效率低的问题。效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种方硅棒往复磨工艺


[0001]本专利技术属于机械加工
，具体涉及一种方硅棒往复磨工艺。

技术介绍

[0002]目前，国内单晶硅片制造主要分为：拉晶、机加、切片三大生产制造环节，其中单晶硅棒机械加工领域(简称机加)，主要是将拉晶环节拉制的长的单晶硅圆棒通过划分段长，经过金刚石线锯设备加工，将长的单晶硅圆棒截断成定长或非定长的单晶硅短圆棒，单晶硅短圆棒再经过后端开方、磨抛工序，加工成粗糙度范围在0.05μm
‑
0.4μm的成品单晶硅方棒，成品方棒长度、尺寸、品质均需达到切片端需求。
[0003]授权公开号“CN213136070U”记载了“一种单晶硅棒滚磨装置，包括底架、设置在底架上的单晶硅棒固定装置、设置在底架正上方的顶架、设置在顶架上的液压伸缩缸、设置在液压伸缩缸伸缩端上的固定装置、设置在固定装置上的滚磨柱和设置在固定装置外侧壁上的电机a，所述电机a的输出端与滚磨柱相连接，所述底架包括安装支架a和安装支架b，所述单晶硅棒固定装置包括通过螺纹连接设置在安装支架a上的夹紧件a、设置在安装支架b上的夹紧件b和输出轴与夹紧件b相连接的电机b，通过拧紧夹紧件a对单晶硅棒夹紧，电机b带动单晶硅棒顺时针转动，电机a带动滚磨柱逆时针转动，从而实现对单晶硅棒的全方位滚磨，滚磨效果好”。
[0004]上述专利对单晶硅棒的全方位滚磨，滚磨效果好，但上述专利实现对单晶硅棒的滚磨，无法实现对方硅棒表面的往复磨削，生产效率低下，且加工硅棒存在局限性。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种方硅棒往复磨工艺，旨在解决现有技术中方硅棒打磨设备无法实现方硅棒往复磨削，方硅棒返修困难，方硅棒加工效率低的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种方硅棒往复磨工艺，包括如下步骤：
[0008]S1、通过夹持转动机构对方硅棒进行夹持并实现转动，以便于方硅棒进行打磨；
[0009]S2、通过Y轴移动机构对夹持转动机构进行移动，以调节方硅棒的位置；
[0010]S3、通过打磨机构对方硅棒进行粗打磨和精打磨；
[0011]S31、打磨机构倾角调节，使得磨轮轴端面与方硅棒表面呈现0.06
‑
0.36mm倾角；
[0012]S32、磨床往复磨量调节，确定粗精磨往复磨量，打磨时需要进行粗打磨和精打磨的切换；
[0013]S33、设定粗磨、精磨进刀速度及磨轮转速，进刀速度与磨轮转速应与电机额定功率相匹配；
[0014]S4、通过X轴移动机构对打磨机构进行往复移动，以实现对方硅棒整体进行往复打磨。
[0015]作为本专利技术一种优选的方案，在S1步骤中，所述夹持转动机构包括安装箱A、顶轴、
转盘、第一驱动电机、安装盘、滑杆和电动伸缩杆B，所述安装箱A设置有两个，两个所述安装箱A对称设置，所述第一驱动电机固定连接于其中一个安装箱A的侧内壁，且第一驱动电机的输出端转动贯穿安装箱A并延伸至安装箱A的外侧，所述转盘固定连接于第一驱动电机的输出端，所述滑杆设置有两个，两个所述滑杆均固定连接于其中一个安装箱A的侧壁之间，且两个滑杆对称设置，所述安装盘滑动套设于两个滑杆上，所述顶轴的一端转动连接于安装盘的侧端，且顶轴的另一端转动贯穿安装箱A并延伸至安装箱A的外侧，所述电动伸缩杆B的一端固定连接于其中一个移动板A的侧内壁，且电动伸缩杆B的伸长端与安装盘固定连接。
[0016]作为本专利技术一种优选的方案，在S2步骤中，所述Y轴移动机构包括底板和Y轴移动部件，所述底板设置于两个安装箱A的下侧，所述Y轴移动部件设置于底板的顶部，所述Y轴移动部件均与两个安装箱A连接，其用以移动两个安装箱A。
[0017]作为本专利技术一种优选的方案，所述Y轴移动部件包括移动板A、电动伸缩杆A、Y轴滑块、Y轴滑轨和连接块，所述移动板A固定连接于两个安装箱A的底部，所述Y轴滑轨设置有两个，两个所述Y轴滑轨均固定连接于底板的顶部，且两个Y轴滑轨对称设置，所述Y轴滑块设置有两个，两个所述Y轴滑块均固定连接于移动板A的底部，且两个Y轴滑块分别滑动套设于两个Y轴滑轨上，所述连接块固定连接于移动板A的底部，所述电动伸缩杆A的一端固定连接于底板的顶部，且电动伸缩杆A的伸长端与连接块固定连接。
[0018]作为本专利技术一种优选的方案，在S3步骤中，所述打磨机构包括调节部件和打磨部件，所述调节部件设置于X轴移动机构上，所述打磨部件设置于调节部件上，所述调节部件用以调节打磨部件的位置。
[0019]作为本专利技术一种优选的方案，所述调节部件包括T型安装壳、转轴、连接块、第二齿轮、齿条、工字型滑轨、滑套、电动伸缩杆C和连接架，所述T型安装壳设置于X轴移动机构上，所述转轴转动连接于T型安装壳的上下内壁之间，且转轴的一端转动贯穿T型安装壳并延伸至T型安装壳的上侧，所述第二齿轮固定连接于转轴的圆周表面上，且第二齿轮位于T型安装壳内，所述工字型滑轨固定连接于T型安装壳的侧壁之间，所述滑套滑动套设于工字型滑轨上，所述齿条固定连接于滑套的侧端，且齿条与第二齿轮相互啮合，所述连接架固定连接于滑套的侧端，所述电动伸缩杆C的一端固定连接于T型安装壳的侧内壁，且电动伸缩杆C的伸长端与连接架固定连接。
[0020]作为本专利技术一种优选的方案，所述打磨部件包括转板、精磨轮、安装箱B、安装轴、粗磨轮、第一齿轮、第三齿轮和第二驱动电机，所述转板固定连接于转轴的顶部，所述安装箱B固定连接于转板的顶部，所述安装轴转动连接于安装箱B的侧壁之间，且安装轴的两端均转动贯穿安装箱B并延伸至安装箱B的外侧，所述精磨轮固定连接于安装轴的一端，所述粗磨轮固定连接于安装轴的一端，所述第一齿轮固定连接于安装轴的圆周表面上，且第一齿轮位于安装箱B内，所述第二驱动电机固定连接于安装箱B的侧内壁，所述第三齿轮固定连接于第二驱动电机的输出端，且第三齿轮与第一齿轮相互啮合。
[0021]作为本专利技术一种优选的方案，在S4步骤中，所述X轴移动机构包括X轴移动部件和丝杆驱动部件，所述X轴移动部件设置于底板上，所述丝杆驱动部件设置于底板上，所述丝杆驱动部件与X轴移动部件连接。
[0022]作为本专利技术一种优选的方案，所述X轴移动部件包括支撑板、移动板B、X轴滑轨和X
轴滑块，所述X轴滑轨设置有两个，两个所述X轴滑轨均固定连接于底板的底部，所述X轴滑块设置有两个，每个所述X轴滑块均滑动套设于每个X轴滑轨上，所述移动板B固定连接于两个X轴滑块的底部，所述支撑板设置有两个，两个所述支撑板均固定连接于移动板B的顶部，且两个支撑板均活动贯穿底板并延伸至底板的上侧。
[0023]作为本专利技术一种优选的方案，所述丝杆驱动部件包括正反转电机、立板、丝杆和丝杆套，所述立板设置有两个，两个所述立板均固定连接于底板的底部，所述丝杆转动连接于两个立板之间，且丝杆的一端转动贯穿立板并延伸至立板的外侧，所述丝杆套螺纹连接于丝杆上，且丝杆套与移动板B固定连接，所述正反转电机固定连接于底板的底部，且正反转电机的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方硅棒往复磨工艺，其特征在于，包括如下步骤：S1、通过夹持转动机构对方硅棒进行夹持并实现转动，以便于方硅棒进行打磨；S2、通过Y轴移动机构对夹持转动机构进行移动，以调节方硅棒的位置；S3、通过打磨机构对方硅棒进行粗打磨和精打磨；S31、打磨机构倾角调节，使得磨轮端面与方硅棒表面呈现一定角度；S32、磨床往复磨量调节，确定粗精磨往复磨量，打磨时需要进行粗打磨和精打磨的切换；S33、设定粗磨、精磨进刀速度及磨轮转速，进刀速度与磨轮转速应与电机额定功率相匹配；S4、通过X轴移动机构对打磨机构进行往复移动，以实现对方硅棒整体进行往复打磨。2.根据权利要求1所述的一种方硅棒往复磨工艺，其特征在于：在S1步骤中，所述夹持转动机构包括安装箱A(3)、顶轴(11)、转盘(13)、第一驱动电机(16)、安装盘(17)、滑杆(18)和电动伸缩杆B(19)，所述安装箱A(3)设置有两个，两个所述安装箱A(3)对称设置，所述第一驱动电机(16)固定连接于其中一个安装箱A(3)的侧内壁，且第一驱动电机(16)的输出端转动贯穿安装箱A(3)并延伸至安装箱A(3)的外侧，所述转盘(13)固定连接于第一驱动电机(16)的输出端，所述滑杆(18)设置有两个，两个所述滑杆(18)均固定连接于其中一个安装箱A(3)的侧壁之间，且两个滑杆(18)对称设置，所述安装盘(17)滑动套设于两个滑杆(18)上，所述顶轴(11)的一端转动连接于安装盘(17)的侧端，且顶轴(11)的另一端转动贯穿安装箱A(3)并延伸至安装箱A(3)的外侧，所述电动伸缩杆B(19)的一端固定连接于其中一个移动板A(2)的侧内壁，且电动伸缩杆B(19)的伸长端与安装盘(17)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种方硅棒往复磨工艺，其特征在于：在S2步骤中，所述Y轴移动机构包括底板(1)和Y轴移动部件，所述底板(1)设置于两个安装箱A(3)的下侧，所述Y轴移动部件设置于底板(1)的顶部，所述Y轴移动部件均与两个安装箱A(3)连接，其用以移动两个安装箱A(3)。4.根据权利要求3所述的一种方硅棒往复磨工艺，其特征在于：所述Y轴移动部件包括移动板A(2)、电动伸缩杆A(12)、Y轴滑块(14)、Y轴滑轨(15)和连接块(20)，所述移动板A(2)固定连接于两个安装箱A(3)的底部，所述Y轴滑轨(15)设置有两个，两个所述Y轴滑轨(15)均固定连接于底板(1)的顶部，且两个Y轴滑轨(15)对称设置，所述Y轴滑块(14)设置有两个，两个所述Y轴滑块(14)均固定连接于移动板A(2)的底部，且两个Y轴滑块(14)分别滑动套设于两个Y轴滑轨(15)上，所述连接块(20)固定连接于移动板A(2)的底部，所述电动伸缩杆A(12)的一端固定连接于底板(1)的顶部，且电动伸缩杆A(12)的伸长端与连接块(20)固定连接。5.根据权利要求4所述的一种方硅棒往复磨工艺，其特征在于：在S3步骤中，所述打磨机构包括调节部件和打磨部件，所述调节部件设置于X轴移动机构上，所述打磨部件设置于调节部件上，所述调节部件用以调节打磨部件的位置。6.根据权利要求5所述的一种方硅棒往复磨工艺，其特征在于：所述调节部件包括T型安装壳(4)、转轴(24)、连接块(20)、第二齿轮(30)、齿条(31)、工字型滑轨(32)、滑套(33...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚廷泽，姜志强，王艺澄，
申请(专利权)人：云南美科新能源发展有限公司，
类型：发明
国别省市：