下载一种自动化直拉单晶炉副室清理装置的技术资料

文档序号:38252174

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本发明公开了一种自动化直拉单晶炉副室清理装置,包括与副室内壁(1)相适配的架体(2),架体(2)包括相连的旋转毛刷桶架(201)和往复毛刷桶架(202),旋转毛刷桶架(201)的内径大于往复毛刷桶架(202)的外径,往复毛刷桶架(202)的...
该专利属于云南美科新能源发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南美科新能源发展有限公司授权不得商用。

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