一种取单晶防护装置制造方法及图纸

一种取单晶防护装置，包括：托架，呈长方体状，由八根金属方杆依次固定围合而成；托架两端分别对称固设吊臂；托架中心分别对称固设组成井型结构的两组横腹杆和两组竖腹杆；托架中心顶面固定设置托盘；所述吊臂底端与托架垂直固定连接，所述吊臂上部攻设螺纹，作业时通过螺母固定在副炉室的炉盖下沿；所述托盘无底，所述托盘的盘体横截面呈圆环状；所述盘体内侧沿圆周开设呈L状的托槽。沿圆周开设呈L状的托槽。沿圆周开设呈L状的托槽。

【技术实现步骤摘要】
一种取单晶防护装置


[0001]本技术涉及单晶制造设备
，特别涉及一种取单晶防护装置。

技术介绍

[0002]单晶炉是半导体
生长单晶的常用设备，生长单晶时，通常先在单晶炉中，通入惰性气体，将多晶硅材料投入单晶炉中并高温熔化，然后引入细长的籽晶，使原料棒的顶部和在其上部靠近的同轴固定的单晶籽晶之间形成榕滴，随着硅芯晶体不断生长，单晶炉中提拉机构向上作慢速提拉，最终生成单晶棒，然后将单晶棒从单晶炉的副炉室中取出。现有技术中，由于取出单晶时作业人员需要将副炉室在水平方向上旋转，而副炉室在旋转的过程中带动单晶棒旋转，由于单晶上端的籽晶直径细且长，若作业人员用力不当，单晶在随副炉室旋转过程中极易因晃动幅度过大而发生断晶掉落事故，掉落时或损坏热场、或与单晶炉边缘磕碰导致内部隐裂扩张，或烫伤作业人员，无论哪种后果均会带来较大的安全问题和经济损失。因此，急需一种取单晶防护装置。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，有必要提供一种能够提高取单晶作业安全性和稳定性的取单晶防护装置。
[0004]一种取单晶防护装置，包括：托架，呈长方体状，由八根金属方杆依次固定围合而成；托架两端分别对称固设吊臂；托架中心分别对称固设组成井型结构的两组横腹杆和两组竖腹杆；托架中心顶面固定设置托盘；所述吊臂底端与托架垂直固定连接，所述吊臂上部攻设螺纹，作业时通过螺母固定在副炉室的炉盖下沿；所述托盘无底，所述托盘的盘体横截面呈圆环状；所述盘体内侧沿圆周开设呈L状的托槽。
[0005]优选的，所述托槽内设置呈L状的防裂板。
[0006]优选的，所述防裂板由耐高温非金属材质制作。
[0007]优选的，所述防裂板由聚四氟乙烯材质制成。
[0008]优选的，所述托槽的尺寸与单晶尺寸相匹配。
[0009]上述取单晶防护装置，通过设置托盘，使单晶下部四沿落入在托盘内的L状托槽内；通过将托架设置为由八根金属方杆固定围合而成，增加托架的刚度，通过设置井型结构的横腹杆和竖腹杆，进一步增强托架的刚度性能和稳定性，由于井型结构的横腹杆和竖腹杆设置在托盘下方，能够对托架的重点承重部位进行加固，使托架在受载荷力作用下不易变形，作业时更加稳固，作业更加安全，使用寿命也得到延长；通过在托架两端对称固设吊臂，作业时吊臂上部通过螺母固定在副炉室炉盖下沿，使得整个防护装置固定在副炉室下方，在副炉室旋转时，使单晶被固定，不会随着副炉室的旋转而晃动；与现有技术相比，本技术降低了单晶因副炉室旋转而晃动掉落的风险，提高了取单晶作业的安全性和稳定性。
附图说明
[0010]图1为本技术的整体结构主视图。
[0011]图2为本技术的整体结构俯视图。
[0012]图3为本技术的整体结构侧视图。
[0013]图4为本技术的整体结构底视图。
[0014]图5为本技术中托盘盘体任一位置的纵向断面结构示意图。
[0015]图中：托架1；横腹杆10；竖腹杆11；吊臂2；螺纹20；托盘4；盘体40；托槽41；防裂板5。
具体实施方式
[0016]以下结合本技术的附图，对本技术实施例的技术方案以及技术效果做进一步的详细阐述。
[0017]请参看图1～5，一种取单晶防护装置，包括：托架1，呈长方体状，由八根金属方杆依次固定围合而成；托架1两端分别对称固设吊臂2；托架1中心分别对称固设组成井型结构的两组横腹杆10和两组竖腹杆11；托架1中心顶面固定设置托盘4；吊臂2底端与托架1垂直固定连接，吊臂2上部攻设螺纹20，作业时通过螺母固定在副炉室的炉盖下沿；托盘4无底，托盘4的盘体40横截面呈圆环状；盘体40内侧沿圆周开设呈L状的托槽41。
[0018]在本实施例中，通过将托架1设置为由八根金属方杆固定围合而成，增加托架1的刚度，通过设置井型结构的横腹杆10和竖腹杆11，进一步增强托架1的稳定性，使托架1在受载荷力作用下不易变形；由于井型结构的横腹杆10和竖腹杆11设置在托盘4下方，能够对托架1的重点承重部位进行加固，使托架1作业时更加稳固，作业更加安全，使用寿命也得到延长；通过在吊臂2上部攻设螺纹20，在作业时，吊臂2上部穿过副炉室炉盖的下沿，用螺母将吊臂2固定在副炉室上，进而将防护装置固定在副炉室上，结构稳定且易于操作。
[0019]在本实施例中，通过在托盘4底部开设L状的托槽41，当单晶底部为平底时，单晶底部周围落入托槽41内被承托；当单晶底部为锥形时，下端尖部落入横腹杆10和竖腹杆11组成的井字形结构内，和托盘2匹配的段被托槽41边缘承托，提高了本技术的适用性。
[0020]进一步地，参阅图5所示，托槽41内设置呈L状的防裂板5。
[0021]取单晶作业时，因单晶在副炉室降下并落入托盘4时，其并未完全冷却到室温，在和金属材质的托盘4接触时，二者之间存在温差，因金属传热速度较快而容易导致单晶产生隐裂，因此，本实施例中，在托盘4内设置防裂板5，降低单晶隐裂的风险，进一步提高取单晶作业的安全性。
[0022]进一步地，为了进一步降低单晶隐裂的风险，提高取单晶作业的安全性，防裂板5由耐高温非金属材质制作。通过用非金属材质制作防裂板，降低防裂板与单晶接触时的传热速度，进而降低单晶隐裂的风险。
[0023]进一步地，防裂板5由聚四氟乙烯材质制成。
[0024]进一步地，托槽41的尺寸与单晶尺寸相匹配。
[0025]本技术的工作原理与过程如下：
[0026]首先，作业人员将副炉室和单晶向上提升，副炉室的盖子被打开，作业人员将吊臂2的顶端穿过副炉室炉盖的下沿，并用螺母固定；
[0027]其次，作业人员将副炉室的单晶降下，单晶落入托盘4中被固定；
[0028]然后，走也人员旋转副炉室，并带动单晶和防护装置一起旋转到位；
[0029]最后，作业人员拧开螺母，取下防护装置和单晶。
[0030]上述取单晶防护装置，通过设置托盘4，使单晶下部四沿落入在托盘4内的L状托槽41内；通过将托架1设置为由八根金属方杆固定围合而成，增加托架1的刚度，通过设置井型结构的横腹杆10和竖腹杆11，进一步增强托架1的刚度性能和稳定性，由于井型结构的横腹杆10和竖腹杆11设置在托盘4下方，能够对托架1的重点承重部位进行加固，使托架在受载荷力作用下不易变形，作业时更加稳固，作业更加安全，使用寿命也得到延长；通过在托架1两端对称固设吊臂2，作业时吊臂2上部通过螺母固定在副炉室炉盖下沿，使得整个防护装置固定在副炉室下方，在副炉室旋转时，使单晶被固定，不会随着副炉室的旋转而晃动；与现有技术相比，本技术降低了单晶因副炉室旋转而晃动掉落的风险，提高了取单晶作业的安全性和稳定性。
[0031]以上所揭露的仅为本技术较佳实施例而已，当然不能以此来限定本技术之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本技术权利要求所作的等同变化，仍属于本技术所涵盖的范围。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种取单晶防护装置，其特征在于，包括：托架，呈长方体状，由八根金属方杆依次固定围合而成；托架两端分别对称固设吊臂；托架中心分别对称固设组成井型结构的两组横腹杆和两组竖腹杆；托架中心顶面固定设置托盘；所述吊臂底端与托架垂直固定连接，所述吊臂上部攻设螺纹，作业时通过螺母固定在副炉室的炉盖下沿；所述托盘无底，所述托盘的盘体横截面呈圆环状；所述盘体内侧沿圆周开...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭仙，林通，
申请(专利权)人：宁夏申和新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：