用于夹持晶棒的粘棒机制造技术

技术编号:39075862 阅读:8 留言:0更新日期:2023-10-12 20:08
本实用新型专利技术提供的用于夹持晶棒的粘棒机,属于硅片制备装置领域,包括晶托固定组件、晶棒夹持组件、可调式滑移组件,所述晶棒夹持组件至少为两个,所述晶棒夹持组件与所述可调式滑移组件连接,所述可调式滑移组件能够沿所述晶托固定组件的轴线方向移动,通过所述晶棒夹持组件与所述可调式滑移组件连接,所述可调式滑移组件能够沿所述晶托固定组件的轴线方向移动,使得两个所述晶棒夹持组件之间的距离可以在所述可调式滑移组件上进行调整,使得对于不同长度的晶棒,均可适用。均可适用。均可适用。

【技术实现步骤摘要】
用于夹持晶棒的粘棒机


[0001]本技术涉及硅片制备装置
,具体涉及一种用于夹持晶棒的粘棒机。

技术介绍

[0002]硅是一种非金属半导体材料,是太阳能电池片的主要原材料,也用于制作半导体器件和集成电路,通常晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的,硅片是通过拉制的硅棒通过多线切割而成。硅片的制作流程是:先将硅棒通过开方机进行开方,使得硅棒整体呈类矩形;开方完毕后,对硅棒进行磨面、滚圆及抛光处理,得到已处理硅棒;最后,再采用多线切片机对已处理硅棒进行切片。在上述硅片制作流程中,在开方前还有一道工序为晶棒粘接,需要用粘棒机将晶棒和晶托粘接在一起,再放入开方机进行开方。
[0003]现有技术中,通常使用如申请号:201510189887 .8的硅棒粘棒机进行硅棒与晶托的粘接,该专利公开了一种硅棒粘棒机工作平台(1),所述工作平台(1)上设置有晶座固定座(2),所述晶座固定座(2)后方设置有前后两个硅棒固定座(3),所述前后两个硅棒固定座(3)之间设置有两个硅棒支撑垫(4),通过工作平台(1)、晶座固定座(2)、硅棒固定座(3)同轴,保证了硅棒与晶座的同轴度,方便了硅棒的粘棒过程,从而提高了最终产品的质量和成材率;但是专利技术的两个硅棒固定座(3)是固定的,则两个硅棒固定座(3)之间的距离是固定的,当晶棒的长度较短时,无法使用。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术提供了一种使适用不同长度晶棒夹持的用于夹持晶棒的粘棒机。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:
>[0006]一种用于夹持晶棒的粘棒机,包括晶托固定组件、晶棒夹持组件、可调式滑移组件,所述晶棒夹持组件至少为两个,所述晶棒夹持组件与所述可调式滑移组件连接,所述可调式滑移组件能够沿所述晶托固定组件的轴线方向移动。
[0007]优选地,所述晶托固定组件包括第一支撑竖板、晶托,所述第一支撑竖板上开孔,所以第一支撑竖板通过开孔与所述晶托连接。
[0008]优选地,所述用于夹持晶棒的粘棒机还包括支撑台,所述第一支撑竖板位于支撑台的一侧且与所述支撑台固定连接,所述可调式滑移组件位于所述支撑台的上方且与所述支撑台连接。
[0009]优选地,所述可调式滑移组件包括导轨、支撑横板,所述支撑横板的下方设置第一滑槽,所述导轨为两条,所述导轨与所述支撑台固定连接,所述导轨的对称轴与所述晶托的轴线位于同一垂直平面上,所述导轨通过所述第一滑槽与所述支撑横板滑动连接,所述支撑横板与所述晶棒夹持组件连接。
[0010]优选地,所述可调式滑移组件还包括第二支撑竖板、丝杠、驱动电机,所述第二支撑竖板与所述支撑横板固定连接,所述第二支撑竖板与所述丝杠的两端转动连接,所述丝
杠的一段与所述驱动电机的输出端连接,所述驱动电机能够驱动所述丝杠转动,所述丝杠能够带动所述晶棒夹持组件靠近或远离。
[0011]优选地,所述丝杠上设置两段反向的螺纹,两端反向螺纹的对称轴与所述晶托的轴线位于同一垂直平面上。
[0012]优选地,所述晶棒夹持组件包括两个移动竖板、夹持板,两个所述移动竖板的对称轴与所述晶托的轴线位于同一垂直平面上,所述移动竖板上设置两个安装槽,位于下面的安装槽在所述第二支撑竖板的上方,所述夹持板安装在所述安装槽内,一个移动竖板上的两个夹持板形成一个凹槽,两个移动竖板上的夹持板相对安装形成一个夹持空腔,所述移动竖板与所述丝杠螺纹连接。
[0013]优选地,所述夹持板的截面为直角梯形,所述夹持板最小的角的角度30
°‑
60
°

[0014]优选地,所述夹持板最小的角的角度45
°

[0015]优选地,所述移动竖板上设置第二滑槽,所述第二支撑竖板上设置滑轨,所述滑轨与所述丝杠平行,所述移动竖板通过所述第二滑槽与所述滑轨滑动连接。
[0016]与现有技术相比,本技术的有益效果在于:
[0017]本技术提供一种用于夹持晶棒的粘棒机中,通过所述晶棒夹持组件与所述可调式滑移组件连接,所述可调式滑移组件能够沿所述晶托固定组件的轴线方向移动,使得两个所述晶棒夹持组件之间的距离可以进行调整,从而对于不同长度的晶棒,均可适用。
附图说明
[0018]图1为用于夹持晶棒的粘棒机的结构示意图。
[0019]图2为用于夹持晶棒的粘棒机的另一角度结构示意图。
[0020]图3为用于夹持晶棒的粘棒机与晶棒粘接完成的结构示意图。
[0021]图4为图3中A的局部放大图。
[0022]图中:用于夹持晶棒的粘棒机10、晶托固定组件100、第一支撑竖板110、晶托120、晶棒夹持组件200、移动竖板210、第二滑槽211、安装槽212、夹持板220、可调式滑移组件300、导轨310、支撑横板320、第一滑槽321、第二支撑竖板330、滑轨331、丝杠340、驱动电机350、支撑台400。
具体实施方式
[0023]以下结合本技术的附图,对本技术实施例的技术方案以及技术效果做进一步的详细阐述。
[0024]请参看图1,一种用于夹持晶棒的粘棒机10,包括晶托固定组件100、晶棒夹持组件200、可调式滑移组件300,所述晶棒夹持组件200至少为两个,所述晶棒夹持组件200与所述可调式滑移组件300连接,所述可调式滑移组件300能够沿所述晶托固定组件100的轴线方向移动。
[0025]与现有技术相比,本技术的有益效果在于:
[0026]本技术提供一种用于夹持晶棒的粘棒机10中,通过所述晶棒夹持组件200与所述可调式滑移组件300连接,所述可调式滑移组件300能够沿所述晶托固定组件100的轴线方向移动,使得两个所述晶棒夹持组件200之间的距离可以进行调整,从而对于不同长度
的晶棒,均可适用。
[0027]进一步的,所述晶托固定组件100包括第一支撑竖板110、晶托120,所述第一支撑竖板110上开孔,所以第一支撑竖板110通过开孔与所述晶托120连接。
[0028]进一步的,所述用于夹持晶棒的粘棒机还包括支撑台400,所述第一支撑竖板110位于支撑台400的一侧且与所述支撑台400固定连接,所述可调式滑移组件300位于所述支撑台400的上方且与所述支撑台400连接。
[0029]请参看图2,进一步的,所述可调式滑移组件300包括导轨310、支撑横板320,所述支撑横板320的下方设置第一滑槽321,所述导轨310为两条,所述导轨310与所述支撑台400固定连接,所述导轨310的对称轴与所述晶托120的轴线位于同一垂直平面上,所述导轨310通过所述第一滑槽321与所述支撑横板320滑动连接,所述支撑横板320与所述晶棒夹持组件200连接。
[0030]进一步的,所述可调式滑移组件300还包括第二支撑竖板330、丝杠340、驱动电机350,所述第二支撑竖板330与所述支撑横板320固定连接,所述第二支撑竖板330与所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于夹持晶棒的粘棒机,其特征在于,包括晶托固定组件、晶棒夹持组件、可调式滑移组件,所述晶棒夹持组件至少为两个,所述晶棒夹持组件与所述可调式滑移组件连接,所述可调式滑移组件能够沿所述晶托固定组件的轴线方向移动。2.根据权利要求1所述的用于夹持晶棒的粘棒机,其特征在于,所述晶托固定组件包括第一支撑竖板、晶托,所述第一支撑竖板上开孔,所以第一支撑竖板通过开孔与所述晶托连接。3.根据权利要求2所述的用于夹持晶棒的粘棒机,其特征在于,所述用于夹持晶棒的粘棒机还包括支撑台,所述第一支撑竖板位于支撑台的一侧且与所述支撑台固定连接,所述可调式滑移组件位于所述支撑台的上方且与所述支撑台连接。4.根据权利要求3所述的用于夹持晶棒的粘棒机,其特征在于,所述可调式滑移组件包括导轨、支撑横板,所述支撑横板的下方设置第一滑槽,所述导轨为两条,所述导轨与所述支撑台固定连接,所述导轨的对称轴与所述晶托的轴线位于同一垂直平面上,所述导轨通过所述第一滑槽与所述支撑横板滑动连接,所述支撑横板与所述晶棒夹持组件连接。5.根据权利要求4所述的用于夹持晶棒的粘棒机,其特征在于,所述可调式滑移组件还包括第二支撑竖板、丝杠、驱动电机,所述第二支撑竖板与所述支撑横板固定连接,所述第二支撑竖板与所述丝杠的两端转动连接,所述丝杠的一段与所述驱动电机...

【专利技术属性】
技术研发人员:王富彪夏斌宋冠军马启福杨利军贺志鹏唐学森
申请(专利权)人:宁夏申和新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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